特氟龙衬里耐腐蚀蒸发室的制作方法

文档序号:16224599发布日期:2018-12-11 20:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.特氟龙衬里耐腐蚀蒸发室,包括一蒸发室罐体,其特征在于,所述蒸发室罐体的内壁固定有一玄武岩纤维网,所述玄武岩纤维网的内侧覆盖有一特氟龙衬里;

所述特氟龙衬里与所述蒸发室罐体的内壁通过穿过所述玄武岩纤维网的环氧树脂胶相连;

所述特氟龙衬里的厚度从上至下逐渐递减。

2.根据权利要求1所述的特氟龙衬里耐腐蚀蒸发室,其特征在于:所述蒸发室罐体包括外壳以及内胆,所述外壳位于所述内胆的外围,且所述外壳与所述内胆之间设有一真空夹层;

所述真空夹层内安装有一气压传感器,所述外壳上设有用于气压传感器的引出线伸出的通孔,所述通孔与引出线之间通过密封机构密封;

所述玄武岩纤维网焊接在所述内胆远离所述外壳的一侧。

3.根据权利要求2所述的特氟龙衬里耐腐蚀蒸发室,其特征在于:所述外壳是不锈钢制成的外壳,所述内胆是特氟龙制成的内胆。

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