一种针对涂布膜层的加热台的制作方法

文档序号:16412600发布日期:2018-12-25 20:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于,包括:

加热平台,其内部设有加热管,所述加热平台的上表面具备吸附孔,所述加热平台的上表面供摆放基材,所述吸附孔吸附住基材的下表面;

罩体,罩住加热平台的上表面,所述罩体连接有降压管路,所述基材处在罩体与加热平台之间的密闭空间中,所述降压管路对密闭空间进行降压。

2.根据权利要求1所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述加热管呈平行棒状或绕S布置,且始终平行于加热平台的上表面。

3.根据权利要求2所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述吸附孔具备若干个,并在加热平台的上表面上矩形阵列布置,所述吸附孔的孔径小于0.5mm。

4.根据权利要求1所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述罩体上具备一层保温层。

5.根据权利要求4所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述保温层材质为岩棉。

6.根据权利要求1所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述罩体在自身底部往上至少基材厚度的地方设有水平方向的位移传感器,所述位移传感器朝向罩体内部。

7.根据权利要求1所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述罩体上设有温度传感器,所述温度传感器朝向罩体内部。

8.根据权利要求1所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:从罩体引出的降压管路依次连接有测压控压模块、真空泵。

9.根据权利要求8所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述罩体上设有降压孔,所述降压孔连接降压管路,所述降压孔延伸至罩体底部边沿,所述降压管路在罩体的内侧构成一层隔热层。

10.根据权利要求8所述的一种针对涂布膜层的加热台,其特征在于:所述罩体上设有降压孔,所述降压孔连接降压管路,所述降压孔为若干个,且矩形阵列于罩体的顶部,所述罩体与测压控压模块之间的降压管路数量逐渐减少。

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