一种针对涂布膜层的加热台的制作方法

文档序号:16412600发布日期:2018-12-25 20:55阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种针对涂布膜层的加热台,包括加热平台,其内部设有加热管,加热平台的上表面具备吸附孔,加热平台的上表面供摆放基材,吸附孔吸附住基材的下表面;罩体,罩住加热平台的上表面,罩体连接有降压管路,基材处在罩体与加热平台之间的密闭空间中,降压管路对密闭空间进行降压。从罩体引出的降压管路依次连接有测压控压模块、真空泵。采用此实用新型通过提高对密闭加热空间内气压的控制,从而控制膜层表面溶剂挥发速度。在温度与气压共同作用下,以获取优质膜面结构。

技术研发人员:冯宗宝;欧阳俊波;张海銮;程园园;崔阳阳;林传兴;章婷;刘德昂;曲亚东;钱磊;张德龙
受保护的技术使用者:苏州威格尔纳米科技有限公司
技术研发日:2018.04.24
技术公布日:2018.12.25

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