一种单晶炉分体式油过滤除尘器的制作方法

本实用新型涉及多晶硅铸锭生产除尘技术领域，具体涉及一种单晶炉分体式油过滤除尘器。

背景技术：

提拉法单晶硅生长的原理，在真空的炉室内，使用惰性气体(氩气)保护，采用石墨电阻加热器将多晶硅材料熔化，在特定温区内，通过传动机构带动籽晶旋转提拉运动和硅熔液的逆旋转及上升运动，以实现晶体的生长。在晶体生长的过程中，需要使用真空泵对炉室持续不断的抽空，将炉室内石英及石墨热场件在高温状态时所释放的二氧化硅、氧化硅等杂质及炉室各密封部位微量泄漏的空气及时抽出，已保持炉室内的真空度。当这些杂质及废气不断被抽入真空泵，使得真空泵油更换频繁，成本昂贵，同时真空泵的效率和使用寿命会逐渐降低。

目前大多数单晶生长炉，是在单晶炉抽气管道中，真空泵的入口前端，增加除尘过滤装置，均是在一个密闭的罐体内，设置单层或者多层滤网，这种滤网式除尘器，只能过滤颗粒较大的杂质，对细小的杂质颗粒无法过滤，且滤网必须定期及时的清理，同时清理费时费力。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的主要目的是提供一种单晶炉分体式油过滤除尘器。

本实用新型采用的技术方案是：

一种单晶炉分体式油过滤除尘器，包括上腔体、下腔体以及封盖，所述上腔体设有第二注油口、第二放油口和第二观察口，所述下腔体设有第一注油口、第一放油口、第一观察口以及进气口和可移动的支腿，所述封盖上设有出气口和提拉臂，所述上腔体与下腔体采用锁紧装置锁紧，上腔体与封盖采用锁紧装置锁紧。

进一步地，所述下腔体内部还设有第一导气孔、第一导气罩、第一标尺及第一固定杆，所述上腔体内部还设有第二导气孔、第二导气罩、第二标尺、第二固定杆以及滤网，其中第一导气孔与进气口相通，第二导气孔与下腔体相通。

进一步地，所述第二注油口设置在上腔体上端一侧，第二放油口设置在上腔体下端另一侧，所述第二观察口设置在上腔体中部。

进一步地，所述第一注油口设置在下腔体上端一侧，第一放油口设置在下腔体底部，所述第一观察口设置在下腔体中部，所述进气口设置在下腔体底部。

进一步地，所述第一导气孔设置在下腔体的中部，其上端还设置有第一导气罩，该第一导气罩上设置中第一标尺，以及第一导气罩的顶端设置有第一固定杆。

进一步地，所述第二导气孔设置在上腔体中部，第二导气罩设置在上腔体上端，第二导气罩上设置有第二标尺，以及第二导气罩的顶端设置有第二固定杆。

进一步地，所述出气口处设置有滤网。

本实用新型提供了三层过滤结构的除尘器，拥有过滤效果好，使用周期长，维护简单的特点，更好的达到了清洁废气，保护真空泵长期有效运行的目的。

附图说明

以上所述仅是本实用新型专利方案概述，为了更清楚说明本实用新型的技术手段，以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作详细说明。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的结构原理示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。

参照图1至图2，本实用新型具体公开了一种单晶炉分体式油过滤除尘器，包括上腔体6、下腔体2以及封盖10，所述上腔体6设有第二注油口8、第二放油口15和第二观察口7，所述下腔体2设有第一注油口4、第一放油口14、第一观察口3以及进气口1和可移动的支腿13，所述封盖10上设有出气口11和提拉臂12，所述上腔体6与下腔体2采用锁紧装置5锁紧，上腔体6与封盖10采用锁紧装置9锁紧。

所述下腔体2内部还设有第一导气孔16、第一导气罩17、第一标尺24及第一固定杆18，所述上腔体6内部还设有第二导气孔19、第二导气罩20、第二标尺26、第二固定杆21以及滤网22，其中第一导气孔16与进气口1相通，第二导气孔19与下腔体6相通。

所述第二注油口8设置在上腔体6上端一侧，第二放油口15设置在上腔体6下端另一侧，所述第二观察口7设置在上腔体6中部。

所述第一注油口4设置在下腔体2上端一侧，第一放油口14设置在下腔体2底部，所述第一观察口3设置在下腔体2中部，所述进气口1设置在下腔体2底部。

所述第一导气孔16设置在下腔体2的中部，其上端还设置有第一导气罩17，该第一导气罩17上设置中第一标尺24，以及第一导气罩17的顶端设置有第一固定杆18。

所述第二导气孔19设置在上腔体6中部，第二导气罩20设置在上腔体6上端，第二导气罩20上设置有第二标尺26，以及第二导气罩20的顶端设置有第二固定杆21。

所述出气口11处设置有滤网22。

本实用新型上腔体6和下腔体2及与封盖10之间采用的锁紧装置，拥有快速拆卸的特点，封盖10上的提拉臂12安装在上腔体上，在需要维护更换过滤油时，只需手动打开封盖10并旋开提拉臂12，提拉臂12可随带封盖10停靠在上腔体的一侧，此过程本实用新型可实现单人操作，操作简单并安全可靠。

参见图2，混有杂质的废气，从单晶炉室内，被抽至本实用新型的结构内部，气体通过第一导气孔16，流经第一导气罩17与下层过滤油23之间的狭小间隙，进行第一次油过滤，再通过第二导气孔19，流经第二导气罩20与上层过滤油26之间的狭小间隙，进行第二次油过滤，最后通过第二导气罩20上方的过滤网22，进行第三次滤网过滤。本实用新型就是通过上述的三层过滤，以达到清洁混合有高温挥发物杂质的废气的目的，以保护后端真空泵的长期有效运行。

以上对本实用新型实施例所公开的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体实施例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。