真空干燥装置及去除残余溶剂的方法与流程

本发明涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置及去除残余溶剂的方法。

背景技术：

随着显示行业的飞速发展，人们对制程的了解和工艺探究更加成熟。在制备显示面板及显示装置时，无论是液晶显示装置(liquidcrystaldisplay,lcd)、有机发光二极管(organiclight-emittingdiode,oled)显示装置还是量子点发光二极管(quantumdotlightemittingdiodes,qled)显示装置都需要用到真空干燥装置来使膜层均一铺展效果良好。

在成膜过程中，真空干燥装置的腔室内往往会有大量的溶剂残留，无法经过单一的制程设置抽走，长期累积会出现各个制程溶剂间的污染，而开腔擦拭去除残留在腔室内的溶剂，不仅会影响机台的稼动率，还会影响真空腔室的密闭性。

综上所述，现有真空干燥装置存在腔室内的残余溶剂难以清除的问题。故，有必要提供一种真空干燥装置及去除残余溶剂的方法来改善这一缺陷。

技术实现要素：

本揭示实施例提供一种真空干燥装置及去除残余溶剂的方法，用于解决现有真空干燥装置存在腔室内的残余溶剂难以清除的问题。

本揭示实施例提供一种真空干燥装置，包括：

腔室，所述腔室上设有管道入口和管道出口；

气体管道，所述气体管道包括进气部分、抽气部分和循环部分，所述进气部分通过所述管道入口与所述腔室密封连接，所述抽气部分通过所述管道出口与所述腔室密封连接，所述循环部分连接所述进气部分和所述抽气部分；

多个气体阀门，所述多个气体阀门分别设置于所述进气部分和所述抽气部分，用于控制所述气体管道的开启和闭合；

过滤吸附器，用于吸附所述腔室内的残余溶剂；

抽气泵，用于提供循环气体；以及

溶剂浓度感应装置，所述溶剂浓度感应装置用于检测所述腔室内所述残余溶剂的浓度。

根据本揭示一实施例，所述管道入口设置于所述腔室一侧，所述管道出口相对设置于所述腔室上远离所述管道入口一侧。

根据本揭示一实施例，所述腔室还包括相对设置的第一冷板和第二冷板，所述进气部分的一端设置于所述第一冷板和所述第二冷板之间，所述抽气部分的一端也设置于所述第一冷板和所述第二冷板之间。

根据本揭示一实施例，所述过滤吸附器设置于所述循环部分上靠近所述进气部分一侧，所述溶剂浓度感应装置设置于所述循环部分上靠近所述抽气部分一侧，所述抽气泵设置于所述循环部分上，且位于所述过滤吸附器和所述溶剂浓度感应装置之间。

根据本揭示一实施例，所述气体阀门为电磁阀门。

根据本揭示一实施例，所述电磁阀门的材质包括不锈钢、铝合金或高分子复合材料。

根据本揭示一实施例，所述过滤吸附器为活性炭、氧化铝、硅胶和分子筛中的一种或几种混合组成的吸附剂容器。

根据本揭示一实施例，所述气体管道的材质包括不锈钢或者铜合金。

根据本揭示一实施例，所述循环气体包括氮气、空气或者稀有气体。

本揭示实施例还提供一种去除残余溶剂的方法，包括：

步骤s10：对腔室进行真空干燥制程后，对所述腔室内充气至常压，取出基板，关闭所述腔室；

步骤s20：开启气体阀门和抽气泵，通过气体管道对所述腔室进行循环抽气；

步骤s30：对所述腔室循环抽气一定时间后，开启溶剂浓度感应装置，检测所述腔室内残余溶剂浓度；以及

步骤s40：当所述腔室内所述残余溶剂浓度低于指定浓度范围，关闭所述气体阀门和所述抽气泵。

本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例在真空干燥装置上设置气体管道，并在气体管道上设置过滤吸附器和抽气泵，通过抽气泵提供循环气体将真空干燥装置腔室内的残余溶剂跟随循环气体排出腔室，并被过滤吸附器吸收，再通过溶剂浓度感应装置监测腔室内的残余溶剂浓度，检测残余溶剂是否被清除干净，确保腔室内的洁净度，同时，通过设置在气体管道上的气体阀门控制管道的开启和闭合，无需开腔便可以达到去除残余溶剂的效果，也保证了真空干燥装置的密闭性。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是揭示的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本揭示实施例提供的真空干燥装置的结构示意图；以及

图2为本揭示实施例提供的去除残余溶剂的方法的流程示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本揭示可用以实施的特定实施例。本揭示所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

下面结合附图和具体实施例对本揭示做进一步的说明：

本揭示实施例提供一种真空干燥装置，下面结合图1进行详细说明。

如图1所示，图1为本揭示实施例提供的真空干燥装置的结构示意图。所述真空干燥装置100包括；腔室110、气体管道120、多个气体阀门130、过滤吸附器140、抽气泵150和溶剂浓度感应装置160。

其中，所述腔室110用于使显示面板各膜层均一铺展，所述腔室110上设有管道入口111和管道出口112。

所述气体管道120包括三个部分，分别为进气部分121，用于向腔室110内输送循环气体；抽气部分122，用于排出腔室110内的循环气体以及跟随循环气体一起排出的残余溶剂；以及所述循环部分123。

优选的，所述气体管道的材质包括不锈钢或者铜合金。

具体地，所述进气部分121的一端通过所述管道入口111进入腔室110，并与所述腔室110密封连接，所述抽气部分122的一端通过所述管道出口112进入腔室110，并与所述腔室110密封连接。所述循环部分123设置于所述腔室110外侧，并分别与所述进气部分121和所述抽气部分122的另一端相连接，形成气体循环管道。

所述真空干燥装置100还包括多个气体阀门130，所述多个气体阀门130分别设置于所述进气部分121和所述抽气部分122，用于控制所述气体管道的开启和闭合。

具体地，所述气体阀门130分别设置于所述进气部分121和抽气部分122位于所述腔室110外侧的一端。

优选的，所述气体阀门130为电磁阀门，所述电磁阀门可以通过计算机远程控制开启和关闭，从而保证真空干燥装置100腔室110的密闭性和操作的便捷性。

优选的，所述气体阀门130的材质包括不锈钢、铝合金或高分子复合材料。同时，所述气体阀门130的直径范围为2～25mm，在实际成产应用中，为了保证腔室110的密闭性和安全性，所述气体阀门130的优选直径为10～15mm。

所述真空干燥装置100还包括过滤吸附器140，所述过滤吸附器140用于吸附所述腔室110内的残余溶剂。

在本实施例中，所述过滤吸附器140为可拆卸结构，当所述过滤吸附器140中的吸附剂达到吸收饱和时以便更换新的吸附剂。在一些实施例中，所述过滤吸附器140也可以是可再生吸附装置。

优选的，所述过滤吸附器140为活性炭、氧化铝、硅胶和分子筛中的一种或几种混合组成的吸附剂容器。

所述真空干燥装置100还包括抽气泵150，用于提供循环气体。

在本实施例中，为了防止循环气体与残余溶剂发生反应产生新的残留物质，所述循环气体应选用包括氮气、空气或者稀有气体等气体。

优选的，为了取得更好地去除残余溶剂的效果，循环气体应选用干燥的氮气、干燥的空气或者干燥的稀有气体，其中干燥的空气效果最好，同时也便于获取，降低实际生产成本。

所述真空干燥装置100还包括溶剂浓度感应装置160，所述溶剂浓度感应装置160用于检测所述腔室100内残余溶剂的浓度。

在本实施例中，所述管道入口111设置于所述腔室110一侧，所述管道出口112相对设置于腔室110上远离所述管道入口111一侧。

具体地，如图1所示，管道入口111设置于所述腔室110水平放置时的左侧腔壁上，所述管道出口112设置于所述腔室110水平放置时的右侧腔壁上。所述管道入口111与所述管道出口112的位置也可以相互调换。在一些实施例中，所述管道入口111和所述管道出口112也可以分别设置于所述腔室110的腔壁的上侧和下侧，两个的位置同样可以相互调换。

在本实施例中，所述腔室110还包括相对设置的第一冷板113和第二冷板114，所述进气部分121的一端设置于所述第一冷板113和所述第二冷板114之间，所述抽气部分122的一端也设置于所述第一冷板113和所述第二冷板114之间。

在本实施例中，所述过滤吸附器140设置于所述循环部分123上靠近所述进气部分一侧121，所述溶剂浓度感应装置160设置于所述循环部分123上靠近所述抽气部分122一侧，所述抽气泵150设置于所述循环部分123上，且位于所述过滤吸附器140和所述溶剂浓度感应装置160之间。

本揭示实施例在真空干燥装置100上设置气体管道120，并在气体管道120上设置过滤吸附器140和抽气泵150，通过抽气泵150提供循环气体将真空干燥装置100腔室110内的残余溶剂跟随循环气体排出腔室110，并被过滤吸附器140吸收，再通过溶剂浓度感应装置160监测腔室110内的残余溶剂浓度，检测残余溶剂是否被清除干净，确保腔室110内的洁净度，同时，通过设置在气体管道120上的气体阀门130控制管道的开启和闭合，无需开腔便可以达到去除残余溶剂的效果，也保证了真空干燥装置100的密闭性。

本揭示实施例还提供一种去除残余溶剂的方法，所述方法采用的装置为上述实施例所提供的真空干燥装置，下面结合图1和图2进行详细说明。

如图2所示，图2为本揭示实施例提供的去除残余溶剂方法的流程示意图，所述方法包括：

步骤s10：对腔室进行真空干燥制程后，对所述腔室110内充气至常压，取出基板，关闭所述腔室110；

步骤s20：开启气体阀门130和抽气泵150，通过气体管道120对所述腔室110进行循环抽气；

步骤s30：对所述腔室循环抽气一定时间后，开启溶剂浓度感应装置160，检测所述腔室110内残余溶剂浓度；以及

步骤s40：当所述腔室110内所述残余溶剂浓度低于指定浓度范围，关闭所述气体阀门130和所述抽气泵150。

具体地，所述步骤s30中，循环抽气2分钟后，开启溶剂浓度感应装置160，检测所述腔室110内残余溶剂浓度。此时，所述抽气泵仍然保持开启状态继续提供循环气体，持续对气体管道120内进行循环抽气。

具体地，所述步骤s40中，当所述腔室110内残余溶剂浓度在所述指定浓度范围之外时，则继续保持抽气泵和气体阀门的开启状态，对所述腔室110继续进行循环抽气，直到检测出腔室110内的残余溶剂浓度低于指定浓度范围，即可准备后续真空干燥制程。

在本实施例中，为了防止循环气体与残余溶剂发生反应产生新的残留物质，所述循环气体应选用包括氮气、空气或者稀有气体等气体。

优选的，为了取得更好地去除残余溶剂的效果，循环气体应选用干燥的氮气、干燥的空气或者干燥的稀有气体，其中干燥的空气效果最好，同时也便于获取，降低实际生产成本。

本揭示实施例通过抽气泵150提供循环气体将真空干燥装置100腔室110内的残余溶剂跟随循环气体排出腔室110，并被过滤吸附器140吸收，再通过溶剂浓度感应装置160监测腔室110内的残余溶剂浓度，检测残余溶剂是否被清除干净，确保腔室110内的洁净度，同时，通过设置在气体管道120上的气体阀门130控制管道的开启和闭合，无需开腔便可以达到去除残余溶剂的效果，也保证了真空干燥装置100的密闭性。

综上所述，虽然本揭示以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本揭示，本领域的普通技术人员，在不脱离本揭示的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本揭示的保护范围以权利要求界定的范围为基准。