一种用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置的制作方法

文档序号:19301241发布日期:2019-12-03 18:22阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,包括一机台、及设置于机台上的若干废气吸收机构,其特征在于,所述废气吸收机构包括设置于机台上的一气液混合槽、一上酸雾吸收室、堆叠设置上酸雾吸收室下端的一下酸雾吸收室、连接于气液混合槽与上酸雾吸收室之间的一液体上流通管、连接于气液混合槽的一水泵、及连接于上酸雾吸收室与下酸雾吸收室之间的一液体下流通管。

2.根据权利要求1所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述上酸雾吸收室与下酸雾吸收室结构相同,分别包括一喷淋腔、设置于喷淋腔内上部的一喷淋机构、及设置于喷淋腔内且位于喷淋机构下方的若干支撑机构。

3.根据权利要求2所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述喷淋机构包括一喷淋盘体、均匀设置于喷淋盘体下端面边缘的若干实心圆锥喷嘴,其中,在该喷淋盘体内设置有一液体容置腔,该若干实心圆锥喷嘴与液体容置腔相连通。

4.根据权利要求2所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述支撑机构包括为一支撑框体、及设置于支撑框体内底部的一倾斜板,且该支撑框体与倾斜板均为网状结构。

5.根据权利要求4所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述支撑框体底部向上凹设有一凹槽,使该支撑框体底部与喷淋腔内底部之间形成一流动缝隙。

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