一种废气处理设备的制作方法

本发明涉及半导体废气处理领域，具体涉及一种废气处理设备。

背景技术：

1、半导体制造工艺中需要使用多种特殊气体，其中包括工艺气体：硅烷、磷化氢、三氢化砷、氨、三氯化硼、三氟化硼、氯、二氯磺酞、四氯化硅、氢化硫、碘化硫和氯化氢等，这些气体在半导体制造的不同工艺中使用，产生的废气通过排风系统收集并处理，这些废气如果没有经过很好的处理便进行排放，会造成大气污染，影响人们的身体健康，也会成为半导体制造中气态分子污染物的重要来源。

2、目前，针对这种气体排放，一般采用水洗、吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。洗涤器是处理氯化氢、氯气、三氯化硼和氟化氢等的卤素系列水溶性气体的设备。但是现有的处理设备仅将废气排入水中，溶解效率不高。且由于废气中混杂有不可溶的固体颗粒物以及废气与水反应产生不可溶的固体颗粒物存在废水中，造成不饱和废水循环使用困难。现有的处理设备在利用循环废水时需要填充过滤芯，以滤除颗粒物，且需要定期清理以及更换过滤芯，造成使用的不便。

3、因此急需发明一种处理效率高且废水循环利用率高的处理设备。

技术实现思路

1、为了提高废气的处理效率以及降低清洗废气的清洗液用量，本发明提出了一种废气处理设备，包含：

2、清洗箱，用于存储清洗液以及接收废气，其上设置有第一入口和第一出口；

3、泵，其输入端与所述清洗箱的第一出口连接，用于将清洗箱内的清洗液泵出；

4、混合部件，其输入端具有两个接口，其中第一接口连接废气，第二接口与所述泵的输出端连接，其输出端与所述清洗箱的第一入口连接；所述泵将所述清洗液泵入所述混合部件并与通过第一接口进入的废气混合，混合后的清洗液通过第一入口排入所述清洗箱；

5、所述混合部件的输出端处设置有喷嘴，所述喷嘴的底部位于所述清洗箱内的液面之下，其用于将混合有废气的清洗液排入所述清洗箱内的液面之下，并形成泡沫状清洗液。

6、优选地，所述清洗箱内竖向设置有隔板，所述隔板顶部设有连通口，所述隔板将清洗箱内部分割为第一子箱和第二子箱，所述第一子箱和第二子箱通过隔板顶部的连通口连通；

7、所述第一出口设置在第一子箱底部；

8、所述混合部件的喷嘴设置于所述第二子箱上方，可使得喷嘴排出的清洗液进入所述第二子箱内的液面之下，当第二子箱清洗液高度大于所述连通口高度时，第二子箱内的清洗液能够通过连通口进入第一子箱。

9、优选地，所述第一子箱侧壁设置有液位计，所述泵的输出端还与排液管连接，当所述液位计读数大于第一预设值时，关闭所述泵与所述混合部件之间的管路，开启所述泵与排液管之间的管路，并将第一子箱内的混合有废气的清洗液通过所述第一出口泵入排液管。

10、优选地，所述第一子箱侧壁设置有第二入口，所述第二入口与清洗液提供设备连接，可通过第二入口向第一子箱内注入清洗液。

11、优选地，清洗液提供设备向所述清洗箱内注入清洗液时，当所述液位计读数达到第二预设值，则停止通过第二入口向第一子箱内注入清洗液，所述第二预设值小于第一预设值。

12、优选地，在排放所述清洗箱的清洗液时，当所述液位计读数低于第三预设值时，停止将清洗箱内的清洗液排入所述排液管，所述第三预设值小于第二预设值。

13、优选地，所述清洗箱的顶部设置有排气口，用于排出经过清洗液清洗后的气体。

14、优选地，所述排气口依次连接水气分离装置和酸排管组件。

15、优选地，还包括用于容纳所述清洗箱、所述泵、所述混合部件、所述水气分离装置、所述酸排管组件以及与泵连接的管路的柜体，所述柜体顶部设置有排气组件，所述排气组件与所述酸排管组件连接，用于向外部排放经过清洗液清洗后的气体。

16、优选地，所述废气包含载气，所述载气的流量是废气流量的10至100倍，所述载气通过所述第一接口与所述废气混合后进入所述混合部件；所述载气还与所述酸排管组件连接，与清洗后的气体混合后排出。

17、优选地，所述载气是氮气，所述清洗液是水。

18、本发明具有以下有益效果：

19、1.将箱体分割为两部分，减少了沉积物进入泵，提到了清洗液的循环使用率；

20、2.混合部件能够产生大量泡沫状清洗液，加快了废气清理效率；

21、3.用氮气作为载气，减少了颗粒物在管路中沉积，降低了设备故障率，以及增加了泡沫量，进一步加快了废气清理效率。

技术特征：

1.一种废气处理设备，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，所述清洗箱(1)内竖向设置有隔板(13)，所述隔板(13)的顶部设有连通口(14)，所述隔板(13)将所述清洗箱(1)内部分割为第一子箱(11)和第二子箱(12)，所述第一子箱(11)和第二子箱(12)通过隔板(13)顶部的连通口(14)连通；

3.如权利要求2所述的废气处理设备，其特征在于，所述第一子箱(11)的侧壁设置有液位计(15)，所述泵(4)的输出端还与排液管(16)连接，当所述液位计(15)的读数大于第一预设值时，关闭所述泵(4)与所述混合部件(5)之间的管路，开启所述泵(4)与所述排液管(16)之间的管路，并将第一子箱(11)内的混合有废气的清洗液通过所述第一出口(3)泵入所述排液管(16)。

4.如权利要求3所述的废气处理设备，其特征在于，所述第一子箱(11)侧壁设置有第二入口(17)，所述第二入口(17)与清洗液提供设备连接，可通过第二入口(17)向第一子箱(11)内注入清洗液。

5.如权利要求4所述的废气处理设备，其特征在于，当所述液位计(15)的读数达到第二预设值，停止通过第二入口(17)向第一子箱(11)内注入清洗液，所述第二预设值小于第一预设值。

6.如权利要求5所述的废气处理设备，其特征在于，当所述液位计(15)的读数低于第三预设值，停止将清洗箱(1)内的清洗液排入所述排液管(16)，所述第三预设值小于第二预设值。

7.如权利要求1至6任一项所述的废气处理设备，其特征在于，所述清洗箱(1)的顶部设置有排气口(18)，用于排出经过清洗液清洗后的气体。

8.如权利要求7所述的废气处理设备，其特征在于，所述排气口(18)依次连接水气分离装置(21)和酸排管组件(22)。

9.如权利要求8所述的废气处理设备，其特征在于，还包括用于容纳所述清洗箱(1)、所述泵(4)、所述混合部件(5)、所述水气分离装置(21)、所述酸排管组件(22)以及与泵(4)连接的管路的柜体(9)，所述柜体(9)的顶部设置有排气组件(23)，所述排气组件(23)与所述酸排管组件(22)连接，用于向外部排放经过清洗液清洗后的气体。

10.如权利要求7所述的废气处理设备，其特征在于，所述废气包含载气，所述载气的流量是废气流量的10至100倍，所述载气通过所述第一接口(6)与所述废气混合后进入所述混合部件(5)；所述载气还与所述酸排管组件(22)连接，与清洗后的气体混合。

技术总结
本发明涉及一种废气处理设备，包含：清洗箱，用于存储清洗液以及接收废气，其上设置有第一入口和第一出口；泵，其输入端与所述清洗箱的第一出口连接，用于将清洗箱内的清洗液泵出；混合部件，其输入端具有两个接口，其中第一接口连接废气，第二接口与所述泵的输出端连接，其输出端与所述清洗箱的第一入口连接；所述泵将所述清洗液泵入所述混合部件并与通过第一接口进入的废气混合，混合后的清洗液通过第一入口排入所述清洗箱；所述混合部件的输出端处设置有喷嘴，所述喷嘴的底部位于所述清洗箱内的液面之下。本发明提高了废气清理效率，降低了设备故障率。

技术研发人员：吴伟力,顾文豪,吴叶凡
受保护的技术使用者：浙江亚笙半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4