图案形成方法、电子配线基板、光学元件及图案形成装置的制造方法_5

文档序号:8343871阅读:来源:国知局
,但并无限定。优选的粒径为Inm~100nm,更优选为Inm~50nm。
[0161] [2]油墨
[0162] 可将上述金属氧化物或者金属氢氧化物的微粒子的分散液直接用作油墨。当仅利 用上述金属氧化物或者金属氢氧化物的微粒子的分散液时,即便进行能量照射也难以产生 对金属的还原反应的情况下,可添加还原剂。
[0163] 金属氧化物或者金属氢氧化物的微粒子的还原中使用的还原剂可为无机还原剂, 也可为有机还原剂。无机还原剂可列举=NaBH 4、肼或者羟基胺等。另外,有机还原剂可列举: (i)含有肼基的肼系化合物类(例如苯基肼等);(ii)对亚苯基二胺、乙二胺、对氨基苯酚 等胺类;(iii)在氮原子上取代有酰基或者烷氧基羰基等的羟基胺系化合物类;(iv) 2-二 甲基氨基乙醇、2-二乙基氨基乙醇、2-氨基乙醇、二乙醇胺、2-氨基-2-甲基-1-丙醇等氨 基醇类;(V)对苯二酷(hydroquinone)、邻苯二酷(catechol)、l,4_ 丁二醇、乙二醇等二醇 类;或者(vi)由通式:X-(A = B)n-Y (其中,A及B分别表示碳原子或者氮原子,X及Y分别 表示具有未共用电子对(unshared electron pair)的原子键结于A或者B上的原子团,η 表示0~3)所表示的有机还原剂或者其互变异构体(tautomer)、或者以热的方式生成它们 的化合物类等。
[0164] 这些还原剂可单独使用,也可将多种组合使用,由于对金属氧化物或者金属氢氧 化物的还原作用具有选择性,故而优选为适当组合。此外,视需要可将还原剂用作有机溶 剂。
[0165] 由通式:X-(A = B)n-Y表示的上述(vi)的化合物中的具有未共用电子对的原子优 选为氧原子、氮原子、硫原子、磷原子等,更优选为氧原子、氮原子。包含这些原子的原子团X 以及Y优选为ARpNR1Ry SR1、以及PR1R2 (其中,&及R2分别表示氢原子或者取代基)。上 述取代基优选为可经取代的碳数1~10的烷基、或者可经取代的碳数1~10的酰基。
[0166] η优选为0~3,更优选为0~2,最优选为0~1。η为2以上时每个A及B的重 复单元可不同。另外,A与Β、Χ与Α、或者Y与B可相互键结而形成环结构。在形成环结构 的情况下,优选为5元环或者6元环,进而这些环可缩环。在缩环的情况下,优选为5元环~ 6元环。
[0167] 本发明中,理想为还原反应后导电率(electrical conductivity)小的还原剂,具 体而言优选为不残留金属离子的有机还原剂、肼或者羟基胺。若还原后残留大量残渣,则对 配线的导电性造成不良影响,因此优选为残渣少者,优选为还原后具有挥发性(升华性)或 者进行分解而成为挥发性的性质者。
[0168] 就同样的观点而言,还原剂优选为能够以少量来将金属氧化物或者金属氢氧化物 的微粒子还原,即低分子量。因此,还原剂的分子量优选为500以下,更优选为300以下,最 优选为200以下。
[0169] 以下,例示金属氧化物或者金属氢氧化物的微粒子的还原中可使用的还原剂的具 体例,但本发明并不限定于这些例子。
[0170] [化 1]
[0171]
【主权项】
1. 一种图案形成方法,其是利用喷墨法将油墨滴注于基材上的图案形成方法,所述图 案形成方法的特征在于: 所述油墨为具有挥发特性的第1油墨、与具有硬化特性的第2油墨的至少2种油墨, 所述基材包括表面能量不同的第1区域与第2区域, 所述第1油墨与所述第1区域为亲液性,所述第2油墨与所述第2区域为亲液性,并且 包括滴注工序,所述滴注工序使用多遍方式,将所述第1油墨滴注于所述第1区域,同 时将所述第2油墨滴注于所述第2区域。
2. 根据权利要求1所述的图案形成方法,其中所述第1油墨为含有金属微粒子的油墨。
3. 根据权利要求1或2所述的图案形成方法,其中所述第2油墨为紫外线硬化性油墨 或者热硬化性油墨。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成方法,其中所述第1油墨与所述第2 油墨相互排斥。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的图案形成方法,其中当将利用由所述第1油墨 形成的第1膜与由所述第2油墨形成的第2膜来形成的图案的最窄部的宽度设为p(m),将 所述第1油墨的表面张力设为0 i(N/m),将所述第1油墨的膜厚设为S i(m),且将由所述基 材与所述第1油墨决定的汉马克常数设为3hi (J)时,所述第1油墨满足0 1> 0. 153p i 9"x sr3'84x|aHir22。
6. 根据权利要求1至4中任一项所述的图案形成方法,其中当将利用由所述第1油墨 形成的第1膜与由所述第2油墨形成的第2膜来形成的图案的最窄部的宽度设为p(m),将 所述第2油墨的表面张力设为〇2(N/m),将所述第2油墨的膜厚设为S2(m),且将由所述基 材与所述第2油墨所决定的汉马克常数设为aH2(J)时,所述第2油墨满足0 2> 0. 15化 7X 5 2-3.84 X |3监|1'°22。
7. 根据权利要求1至6中任一项所述的图案形成方法,其中所述滴注工序中,对在1遍 结束之前喷出的所述第2油墨滴进行硬化处理,使所述第2油墨滴硬化。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的图案形成方法,其中所述滴注工序中,相对于所 述第1油墨的滴注的直径成为滴注间隔的滴注量,而滴注5倍W上的所述第1油墨。
9. 根据权利要求1至8中任一项所述的图案形成方法,其中由所述第1油墨而得的第 1膜的高度为4ym W上。
10. 根据权利要求1至9中任一项所述的图案形成方法,其中所述第1油墨形成导电 膜,且所述第2油墨形成绝缘膜。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的图案形成方法,其进而包括:在所述第1油 墨W及所述第2油墨的整个面滴注所述第2油墨而形成膜的工序。
12. 根据权利要求1至11中任一项所述的图案形成方法,其中所述第1区域至少包括: 第1直线组群,其包含沿着第1方向而相互平行地延伸存在的多个第1直线;W及第2直线 组群,其包括沿着第2方向而相互平行地延伸存在的多个第2直线;并且由所述第1直线组 群、与所述第2直线组群形成格子形状。
13. 根据权利要求12所述的图案形成方法,其进而包括第3直线组群,所述第3直线组 群包含自所述第1直线向所述第2直线延伸存在,且成为所述格子形状的对角线位置的多 个第3直线。
14. 根据权利要求13所述的图案形成方法,其进而包括第4直线组群,所述第4直线组 群包含在与所述第3直线不同的对角线位置延伸存在的多个第4直线。
15. 根据权利要求12至14中任一项所述的图案形成方法,其中所述第1直线组群W及 所述第2直线组群分别具有通过所述第1直线、所述第2直线在同一轴线上排列多个而形 成的第1分裂线、第2分裂线,并且 形成所述第1分裂线的所述第1直线彼此的间隙、与形成所述第2分裂线的所述第2 直线彼此的间隙一致。
16. 根据权利要求12至15中任一项所述的图案形成方法,其中所述第1直线组群或 者所述第2直线组群的至少任一个形成相互平行地延伸存在的所述第1直线或者所述第2 直线集中的集合体,并且 形成所述集合体的所述第1直线或者所述第2直线彼此的疏离距离为通过所述第1油 墨的滴注而得的点径W下,且邻接的所述集合体彼此W超过通过所述第1油墨的滴注而得 的点径的距离而疏离。
17. -种电子配线基板,其特征在于:使用根据权利要求1至16中任一项所述的图案 形成方法来形成配线。
18. -种光学元件,其特征在于:使用根据权利要求1至16中任一项所述的图案形成 方法来形成。
19. 一种图案形成装置,其是利用喷墨法将油墨滴注于基材上而形成图案的图案形成 装置,所述图案形成装置的特征在于: 包括喷出部,所述喷出部可同时滴注具有挥发特性的第1油墨、及具有硬化特性的第2 油墨的至少2种油墨, 所述基材包括表面能量不同的第1区域与第2区域, 所述第1油墨与所述第1区域为亲液性,所述第2油墨与所述第2区域为亲液性,并且 使用多遍方式,一边扫描一边相对于所述基材自所述喷出部将所述第1油墨滴注于所 述第1区域,同时将所述第2油墨滴注于所述第2区域。
20. 根据权利要求19所述的图案形成装置,其中所述喷出部相对于其扫描方向而配置 有喷出所述第1油墨的第1喷嘴W及喷出所述第2油墨的第2喷嘴,且对第2油墨滴实施 硬化处理的硬化部与所述第2喷嘴邻接而设置。
【专利摘要】本发明的图案形成方法是利用喷墨法将油墨滴注于基材上。基材(Z)包括表面能量不同的第1区域(42)与第2区域(44)。油墨中使用具有挥发特性的第1油墨(52a)与具有硬化特性的第2油墨(54a)的至少2种油墨。第1油墨(52a)与第1区域(42)为亲液性,第2油墨(54a)与第2区域(44)为亲液性。图案形成方法包括如下滴注工序:以多遍方式,将第1油墨(52a)滴注于第1区域(42),同时将第2油墨(54a)滴注于第2区域(44)。
【IPC分类】B05D1-26, H05K3-10, B05D7-00, B05D3-06
【公开号】CN104661762
【申请号】CN201380049991
【发明人】龙田岳一
【申请人】富士胶片株式会社
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年7月8日
【公告号】EP2902115A1, US20150201491, WO2014050252A1
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