液态的膜材料的吐出装置的制造方法
【专利说明】液态的膜材料的吐出装置
[0001]本申请主张基于2014年3月11日申请的日本专利申请第2014-047141号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
技术领域
[0002]本发明涉及一种将液态的膜材料从喷嘴孔吐出的吐出装置。
【背景技术】
[0003]已知有从喷嘴头吐出膜材料的液滴，从而在基板表面形成具有规定的图案的膜的技术(例如专利文献I)。应形成膜的基板例如为印刷基板、厚铜基板等。在印刷基板上形成的膜例如为阻焊膜，在厚铜基板上形成的膜例如为配置在厚铜图案之间的绝缘膜。
[0004]液态的膜材料通过材料供给用配管从循环装置供给至喷嘴头，多余的膜材料通过材料回收用配管回收到循环装置中。为了从喷嘴头稳定地吐出液滴，优选加热膜材料来使膜材料的粘度降低。下述的专利文献2中公开有通过加热从储存膜材料的罐体至喷嘴头的配管，从而防止膜材料的粘度降低的基板制造装置。
[0005]专利文献1:日本特开2004-104104号公报
[0006]专利文献2:国际公开第2013/015093号
[0007]即使利用从罐体至喷嘴头的配管加热液态的膜材料，若膜材料长时间停留在喷嘴头，则也会造成膜材料的温度降低。为了缩短在喷嘴头内的停留时间，优选使膜材料的流量增多。但是，若流量增多，则在配管内的流速变快，膜材料在配管内被加热的时间缩短。为了确保充分的加热时间需要加长配管。
【发明内容】
[0008]本发明的目的在于提供一种无需加长配管就能够充分加热膜材料的吐出装置。
[0009]根据本发明的一种观点，提供一种吐出装置，其具有:
[0010]第I罐，构成为若液面超出一定高度，则使内部的液态的膜材料溢出；
[0011]加热器，配置在所述第I罐中，通过所述第I罐的侧面和所述加热器划定加热流路；
[0012]第I路径，从所述加热流路的下端向所述加热流路供给液态的膜材料；
[0013]喷嘴头，设有吐出液态的所述膜材料的多个喷嘴孔；及
[0014]第2路径，将从所述第I罐溢出的所述膜材料输送至所述喷嘴头。
[0015]通过在第I罐内配置加热器而划定加热流路，能够在第I罐内加热膜材料。因此，无需加长配管就能够进行充分加热。
【附图说明】
[0016]图1是实施例的吐出装置的示意图。
[0017]图2是实施例的吐出装置的膜材料的循环路径的示意图。
[0018]图3是供给罐的俯视剖视图。
[0019]图4是图3的单点划线4-4处的剖视图。
[0020]图5是图3的单点划线5-5处的剖视图。
[0021]图6是另一实施例的吐出装置的膜材料的循环路径的示意图。
[0022]图7是又一实施例的吐出装置的膜材料的循环路径的示意图。
[0023]图中:10-基台，11-移动机构，13-载物台，15-基板，16-控制装置，20-喷嘴头，21-支承板，22-喷嘴孔，23-第I路径，24-第2路径，25-第3路径，26-回流泵，27-溢流泵，28-隔热罩，29-喷出口，30-供给罐，31-第I罐，32-第2罐，33-第3罐，34-加热器，35-空气阀，36-加热流路，37-传热块，37A-中心部件，37B-散热片，38-发热体，40-回收侧缓冲罐，42-补给罐，43-三通阀，50-外侧容器，51-中间容器，52-内侧容器，53-盖，55-管路部件，57-排出口，58-流入口，59-排出口，60-输入口，70-第I压力传感器，71-第2压力传感器，72-供给泵，73-供给侧缓冲罐，75-控制装置。
【具体实施方式】
[0024]图1中示出实施例的吐出装置的示意图。在基台10上通过移动机构11支承有载物台13。定义将xy面设为水平面，并将铅直上方设为z轴的正方向的xyz直角坐标系。载物台13能够沿X方向及I方向移动。在载物台13上保持作为膜的形成对象物的基板15。基板15例如为阻焊膜的形成对象的印刷基板、成为用于形成厚铜基板的基底的支承基板等。基板15吸附在载物台13上。
[0025]喷嘴头20通过支承板21支承在载物台13的上方。喷嘴头20将液态的膜材料液滴化后向保持在载物台13上的基板15吐出。膜材料例如使用光固化性的树脂。图1中虽未示出，但支承板21上安装有用于使膜材料固化的固化用光源。当膜材料使用紫外线固化性的树脂时，固化用光源向基板15放射紫外光。
[0026]控制装置16存储定义应形成膜的图案的图像数据。控制装置16根据该图像数据控制基于移动机构11的基板15的移动、及来自喷嘴头20的膜材料的吐出时刻。由此，在基板15上形成具有以图像数据定义的图案的膜。
[0027]形成经由第I路径23、供给罐30、第2路径24、喷嘴头20、第3路径25及回收侧缓冲罐40而返回至第I路径23的循环路径。液态的膜材料通过第I路径23供给至供给罐30。
[0028]供给罐30包括第I罐31、第2罐32及第3罐33。供给至供给罐30的膜材料从第I罐31的下端导入至第I罐31内。在第I罐31内，膜材料在向上方输送的期间被加热。从第I罐31溢出的膜材料流入第2罐32。第2罐32内的膜材料通过第2路径24供给至喷嘴头20。从第2罐32溢出的膜材料流入第3罐33。
[0029]在供给罐30安装有空气阀35。若打开空气阀35，则供给罐30内部成为大气压状态。若关闭空气阀35，则供给罐30内部成为密闭状态。由此，能够对供给罐30内部进行加减压。
[0030]未从喷嘴头20吐出的膜材料通过第3路径25回收至回收侧缓冲罐40。第I路径23使回收侧缓冲罐40内的膜材料返回至供给罐30。在第I路径23上，从回收侧缓冲罐40朝向供给罐30依次插入有回流泵26、第3罐33及溢流泵27。回收侧缓冲罐40划定容纳膜材料的密闭空间，从而在密闭空间内暂时储存膜材料。由此，回收侧缓冲罐40防止由回流泵26引起的脉动传递至喷嘴头20。
[0031]从补给罐42经由三通阀43向第I路径23补给膜材料。三通阀43通常切断从补给罐42向第I路径23补给膜材料的路径。在补给膜材料时，打开从补给罐42向第I路径23补给膜材料的路径。
[0032]图2中示出膜材料的循环路径的示意图。通过第I路径23供给至供给罐30的膜材料通过供给罐30内的第I路经23输送至供给罐30的底部后，从第I罐31的下端导入至第I罐31内。在第I罐31内容纳有加热器34。在第I罐31的侧面与加热器34之间划定有加热流路36。若第I罐31内的膜材料的液面超出一定高度，则膜材料从第I罐31溢出。
[0033]导入至第I罐31内的膜材料从下方向上方流过加热流路36期间，被加热器34加热。被加热后，从第I罐31溢出的膜材料流入第2罐32。
[0034]在第2罐32的底面连接有第2路径24的上游端。第2罐32内的膜材料通过第2路径24供给至喷嘴头20。第2路径24被隔热罩28覆盖。因此，能够抑制膜材料从第2罐32输送至喷嘴头20期间温度下降。另外，除了隔热罩28之外，或代替隔热罩28，也可以配置加热器。
[0035]若第2罐32内的膜材料的液面超出一定高度(流出高度)，则膜材料从第2罐32溢出。从第2罐32溢出的膜材料流入第3罐33。
[0036]在供给罐30的上表面安装有空气阀35。在打开空气阀35的状态下，第I罐31、第2罐32及第3罐33内的膜材料的液面上施加有大气压力。若关闭空气阀35，则供给罐30内部成为密闭状态。因此，供给罐30的内压根据溢流泵27与回流泵26的流量而变。本实施例中，空气阀35处于打开状态，第I罐31、第2罐32及第3罐33内的膜材料的液面上施加有大气压力。
[0037]在喷嘴头20的底面设有多个喷嘴孔22。膜材料被液滴化后从喷嘴孔22吐出。
[0038]控制溢流泵27及回流泵26的流量，以使从第I路径23供给至第I罐31的膜材料的流量大于从第2罐32供给至喷嘴头20的膜材料的流量。因此，膜材料始终从第2罐32溢出到第3罐33，第2罐32内的膜材料的液面的高度维持恒定。由于第2罐32内的膜材料的液面上施加有大气压力，因此在喷嘴孔22的位置施加有依赖于从喷嘴孔22至第2罐32内的膜材料的液面的高低差h的水头压力。通过调节高低差h，能够调节喷嘴孔22的位置处的膜材料的压力。
[0039]图3中示出供给罐30的俯视剖视图。外侧容器50内容纳有中间容器51，中间容器51内容纳有内侧容器52。外侧容器50的内侧表面与中间容器51的外侧表面之间确保有空间。该空间相当于第3罐33。中间容器51的侧面的内侧表面与内侧容器52的侧面的外侧表面之间确保有空间。该空间相当于第2罐32。内侧容器52内的空间相当于第I罐31(图 2)。
[0040]内侧容器52内容纳有加热器34及管路部件55。管路部件55内设有构成第I路径23 (图2)的一部分的流路。加热器34包括传热块37及发热体38。传热块37包括中心部件37A、及从中心部件37A向侧方延伸的多个散热片37B。在中心部件37A上形成有多个发热体容纳部例如凹部，在该凹部分别插入有发热体38。
[0041]散热片37B的前端与内侧容器52的侧面接触。以彼此相邻的散热片37B、中心部件37A及内侧容器52的侧面围成的空间相当于加热流路36(图2)。
[0042]图4中示出图3的单点划线4-4处的剖视图。外侧容器50内容纳有中间容器51，中间容器51内容纳有内侧容器52。