喷嘴驱动单元和气体注入装置的制造方法
【专利说明】喷嘴驱动单元和气体注入装置
[0001]本申请是申请日为2011年3月2日、申请号为201110050824.6、发明名称为“气体注入装置、注入方法以及气体排出装置、排出方法”的申请的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及在制造半导体器件、采用玻璃基板的器件等时用于向收纳半导体晶圆基板或玻璃基板的承载器(carrier cassette)等容器内注入气体的气体注入装置，以及喷嘴驱动单元。
【背景技术】
[0003]在制造半导体器件时，为了在制造装置之间移送半导体晶圆，采用收纳多个晶圆的承载器。承载器也有被称作FOUP(Front Opening Unified Pod)的密闭型的承载器，这样的承载起为了防止晶圆表面氧化而构成为填充有非活性气体。
[0004]在专利文献I中，公开有向设置在装载站(load port)处的FOUP等容器内注入非活性气体的技术。在该技术中，在装载站处设有门及用于开闭该门的门开闭机构，门用于保持容器的盖，在利用门开闭机构打开门时，盖被从容器主体上卸下，从露出的容器开口供给非活性气体(例如参照专利文献I的说明书第
[0018]、
[0020]、
[0024]段)。
[0005]近年来，伴随着配线图案的细微化，为了提高容器内的非活性气体的浓度，也开始采用在容器底部设置非活性气体的注入部(注入口)并经由该注入部从喷出非活性气体的喷嘴向容器内注入非活性气体这样的技术。
[0006]专利文献1:日本特开2009-38074号公报
[0007]在采用这种非活性气体的注入技术的装置中，在装载站处的、容器的载置台上设置喷嘴。将容器载置在载置台上，喷嘴与注入部相抵接后向容器内注入非活性气体。为了将容器载置在载置台的规定位置处，在载置台上设置定位销，通过将定位销嵌入设置在容器底部的槽内来定位容器。另外，为了提高注入非活性气体时喷嘴相对于容器注入部的贴紧性，将喷嘴设置为从载置台突出，而且，利用弹簧将喷嘴弹性地设置在载置台上。具体来说，在将容器载置在载置台上时，容器的注入部与喷嘴相抵接，喷嘴抵抗弹簧的弹力地被容器的自重向下压。
[0008]但是，存在这样的问题:在将容器载置在载置台上时，在用定位销对容器进行定位之前，喷嘴就勾挂在注入部或注入部周边，导致不能将容器定位在期望的位置。
[0009]另外，由于喷嘴利用弹簧力与容器的注入部贴紧，因此，当弹簧力过强时，可能不能高精度地进行容器上下方向的定位。
【发明内容】
[0010]鉴于如上所述的情况，本发明的目的在于提供在用于载置容器的载置台上安装有用于向容器内注入气体或从容器中排出气体的喷嘴的装置中也能够将容器可靠地定位在载置台上的气体的注入装置、注入方法以及气体的排出装置、排出方法。
[0011]为了达到上述目的，本发明的一技术方案的气体注入装置是具有底部、设置在上述底部上的定位槽和设置在上述底部上的气体的注入部的、用于向收纳被收纳体的容器内注入气体的装置。气体注入装置包括载置台、定位销、喷嘴和驱动部。
[0012]上述载置台用于载置上述容器。
[0013]上述定位销设置为从上述载置台突出，能够与上述容器的上述定位槽相卡合。
[0014]上述喷嘴通过上述容器的上述注入部向上述容器内注入上述气体。
[0015]上述驱动部能够在上述定位销与上述容器的上述定位槽相卡合的状态下驱动上述喷嘴，使得上述喷嘴与上述容器的上述注入部相接触。
[0016]在本发明中，当将容器载置在载置台上时，定位销与设置在容器的底部上的定位槽相卡合而将容器定位在载置台上，在该状态下利用驱动部使喷嘴与容器的注入部相接触。因而，在容器被定位在载置台上之前，不会产生喷嘴勾挂在注入部上这样的情况。即，采用本发明，能够将容器可靠地定位在载置台上。
[0017]另外，例如在利用弹簧将喷嘴弹性设置在载置台上、弹簧的弹力过强的情况下，通过适当地控制驱动部的驱动力，在载置台上沿上下方向也能够定位容器。另一方面，假使当弹簧的弹力过弱时，如上所述容器的注入部与喷嘴的贴紧力不足。即，在喷嘴上设置弹簧的情况，关于弹簧力需要较高的设计精度，但是采用本发明，由于不需要弹簧，因此也不会产生弹簧的设计问题。另外，即使使用弹簧，也不需要这样高的设计精度。
[0018]上述驱动部在待机位置和上述喷嘴与上述容器的上述注入部相接触的接触位置之间驱动上述喷嘴。在该情况下，上述喷嘴也可以在上述定位销与上述容器的上述定位槽相卡合而将上述容器载置在上述载置台上的状态下、以上述喷嘴的上端位于比上述容器的上述注入部的位置低的位置的方式在上述待机位置待机。
[0019]在本发明中，因为待机位置处的喷嘴的上端的位置低于被定位状态下的容器的底部，所以在容器被定位在载置台上时，喷嘴与容器不干涉。因而，能够将容器可靠地定位在载置台上。
[0020]本发明的气体排出装置是具有底部、设置在上述底部上的定位槽和设置在上述底部上的气体的排出部的、用于从收纳被收纳体的容器排出气体的装置。上述气体排出装置具有载置台、定位销、喷嘴、驱动部。
[0021]上述载置台用于载置上述容器。
[0022]上述定位销设置为从上述载置台突出，能够与上述容器的上述定位槽相卡合。
[0023]上述喷嘴通过上述容器的上述排出部排出上述容器内的气体。
[0024]上述驱动部能够在上述定位销与上述容器的上述定位槽相卡合的状态下驱动上述喷嘴，使得上述喷嘴与上述容器的上述排出部相接触。
[0025]在本发明中，当将容器载置在载置台上时，在定位销与设置在容器的底部上的定位槽相卡合而将容器定位在载置台上后，喷嘴与容器的排出部相接触。因而，在容器被定位在载置台上之前，不会产生喷嘴勾挂在排出部上这样的情况。即，采用本发明，能够将容器可靠地定位在载置台上。
[0026]另外，例如，在利用弹簧将喷嘴弹性地设置在载置台上、弹簧的弹力过弱的情况下，会发生容器的排出部与喷嘴的贴紧力不足这样的情况，因此关于弹簧力需要较高的设计精度，但是，采用本发明，由于不需要弹簧，因此也不会产生弹簧的设计问题。另外，即使使用弹簧，也不需要这样高的设计精度。
[0027]本发明的气体注入方法为了将用于收纳被收纳体的容器载置在载置台上而使设置为从上述载置台突出的定位销与设置在上述容器的底部上的定位槽相卡合。
[0028]在上述定位销与上述容器的上述定位槽相卡合的状态下，使用于喷出上述气体的喷嘴与设置在上述容器的上述底部上的注入部相接触。
[0029]通过上述注入部向上述容器内注入上述气体。
[0030]在本发明中，当将容器载置在载置台上时，在定位销与设置在容器的底部上的定位槽相卡合而将容器定位在载置台上后，喷嘴与容器的注入部相接触。因而，在容器被定位在载置台上之前，不会产生喷嘴勾挂在注入部上这样的情况。即，采用本发明，能够将容器可靠地定位在载置台上。而且，如上所述，不需要高精度的弹簧设计。
[0031]本发明的气体排出方法为了将用于收纳被收纳体的容器载置在载置台上而使设置为从上述载置台突出的定位销与设置在上述容器的底部上的定位槽相卡合。
[0032]在上述定位销与上述容器的上述定位槽相卡合的状态下，使用于喷出上述气体的喷嘴与设置在上述容器的上述底部上的排出部相接触。
[0033]通过上述排出部从上述喷嘴排出上述容器内的气体。
[0034]在本发明中，当将容器载置在载置台上时，在定位销与设置在容器的底部上的定位槽相卡合而将容器定位在载置台上后，喷嘴与容器的排出部相接触。因而，在容器被定位在载置台上之前，不会产生喷嘴勾挂在排出部上这样的情况。即，采用本发明，能够将容器可靠地定位在载置台上。而且，如上所述，不需要高精度的弹簧设计。
[0035]以上，采用本发明，即使在用于载置容器的载置台上安装有用于向容器内注入气体或从容器中排出气体的喷嘴的装置中，也能够将容器可靠地定位在载置台上。
【附图说明】
[0036]图1是表示作为本发明的第I实施方式的气体注入装置的装载站的立体图。
[0037]图2是表示该装载站的俯视图。
[0038]图3是表示从侧面看到的载置台的主要部分的示意性剖视图。
[0039]图4是放大表示设置在装载站的前方侧的注入喷嘴附近的剖视图。
[0040]图5是表不承载盒的底部的图。
[0041]图6是表示利用升降驱动单元的驱动使注入喷嘴上升而注入喷嘴的上端与注入部的垫圈(grommer)相接触的状态的图。
[0042]图7是表示应用于装载站的、本发明的第2实施方式的升降驱动单元的剖视图。
【具体实施方式】
[0043]以下，参照【附图说明】本发明的实施方式。
[0044]第I实施方式
[0045]图1是表示作为本发明的第I实施方式的气体注入装置的装载站的立体图。图2是表示该装载站100的俯视图。
[0046]装载站100具有在半导体器件的各种制造工序中使用的制造装置之间的接口(interface)的功能。
[0047]装载站100具有载置台2，该载置台