的设计精度，但是只要控制气缸41的驱动力即可，因此采用本实施方式不会产生这种问题。
[0071]特别是，在使用OHT从上方将承载盒10输送到装载站100并载置在载置台2上时，承载盒10主要向左右方向摇晃，因此，在喷嘴因弹簧力从载置台上突出较大的以往的装载站的构造中，产生有如上所述的问题，难以进行定位。在本实施方式中，利用OHT输送来承载盒10，即使承载盒10左右摇晃，在定位前注入喷嘴5也不会与承载盒10相接触。
[0072]另外，特别是，通过在注入部102(或排出部102’)采用橡胶制的垫圈密封件1022，而使注入喷嘴5与垫圈密封件1022之间的摩擦系数大于活动销7与承载盒10的定位槽101之间的摩擦系数。因而，成为以往注入喷嘴易于勾挂在承载盒的注入部上的状态。顺便说一下，注入喷嘴5是金属制，活动销7是金属或树脂制，承载盒10的主体是树脂制。
[0073]在本实施方式中，如图4所示，待机位置处的注入喷嘴5 (或排出喷嘴5’ )的上端的位置比被定位状态下的承载盒10的注入部102低。因而，当承载盒10被定位在载置台2上时，注入喷嘴5(或排出喷嘴5’)与承载盒10不干涉。由此，能够可靠地使承载盒10位于载置台2上。
[0074]在本实施方式中，升降驱动单元4采用气缸41。采用气缸41，与弹簧力不同，不管多大的行程量都能够获得恒定的驱动力，因此，能够容易地利用期望的力量使注入喷嘴5 (或排出喷嘴5’)与承载盒10的注入部102 (或排出部102’)相接触。另外，与采用电磁式的电动机的其他驱动源相比，气缸41的结构简单，而且，由于是气压进行的驱动，所以控制也简单，因此在轻量性、维护性、耐久性等方面具有优点。
[0075]第2实施方式
[0076]图7是表示与上述相同地应用于装载站的、本发明的第2实施方式的升降驱动单元的剖视图。在该第2实施方式的说明中，对于与上述第I实施方式的装载站100所包含的构件、功能等相同的部分，简化或省略说明，以不同之处为中心进行说明。
[0077]该升降驱动单元54具有用于使注入喷嘴55升降的壳体541。注入喷嘴55设置为其一部分从设置在壳体541的上表面上的开口 541a暴露出。在注入喷嘴55的外周面上形成有凸缘部551。在注入喷嘴55的凸缘部551与形成在壳体541的内壁面上的连接部547之间，连接有用于支承注入喷嘴55的升降移动的圆筒状的波纹管542。利用该波纹管542将壳体541内划分开而形成两个压力室(第I及第2压力室)545及546。在两个压力室545及546中，分别设置有用于向压力室545内导入非活性气体的导入部543和用于排出压力室546内的气体的排气部544。设置在注入喷嘴55内的非活性气体的流路552与压力室545内相连通。
[0078]在这种升降驱动单元54中，非活性气体被导入到压力室545内，且从压力室546排出空气。这样，两个压力室545及546产生压力差。在该情况下，导入部543及排气部544作为压力差产生机构发挥作用。只要将注入喷嘴55内的流路552的流路阻力设定得比较高，就能够使两个压力室545及546产生压力差。
[0079]当在两个压力室545及546中产生压力差时，注入喷嘴55上升，波纹管542伸长而使注入喷嘴55与承载盒10的底部103的注入部102相接触。另外，此时，由于压力室545内的气压升高，因此，处于压力室545内的非活性气体经由注入喷嘴55内的流路552及注入部102被注入承载盒10内。
[0080]如上所述，在本实施方式中，通过使压力室545及546产生压力差，而利用该压力差驱动与波纹管542相连接的注入喷嘴55。由此，注入喷嘴55自身成为气缸的活塞，因此，能够实现升降驱动单元54整体的小型化。
[0081]另外，该升降驱动单元54利用向承载盒10内注入非活性气体的动作来驱动注入喷嘴55，因此，不需要另外的压力传递介质。
[0082]其他实施方式
[0083]本发明的实施方式并不限定于如上所述的实施方式，能实现其他各种实施方式。
[0084]在上述各个实施方式中，说明了向承载盒10内注入非活性气体的方式，但是取代非活性气体，也可以向承载盒10内注入干燥空气(dry air)。
[0085]在上述各个实施方式中，采用气缸41作为升降驱动单元4的驱动源，但是也可以采用滚珠丝杠、带、齿轮齿条副或电磁式线性致动器等作为升降驱动单元。另外，该驱动源(在上述实施方式中为气缸41)的数量并不限于两个，也可以是I个或3个以上。
[0086]在上述各个实施方式中，说明了将气体注入及排出装置应用于装载站100的情况，但也能够将上述气体注入装置应用于预先保管承载盒10的储存器(Stocker)或其他的吹扫站(purge stat1n)等中。
[0087]在上述各个实施方式中，作为收纳在承载盒10中的被收纳体，例举了半导体晶圆基板，但是并不限于此，也可以是用于显示器件、光电转换器件等的玻璃基板。
[0088]在上述第2实施方式中，在使压力室545及546产生压力差的情况下，也可以不从排气部544进行积极的排气而仅向压力室545导入非活性气体。即，压力室546也可以是自然排气的方式。或者，也可以不进行自导入部543导入非活性气体而进行从排气部544排气并利用另外的路径向注入喷嘴55供给非活性气体。另外，上述第2实施方式的升降驱动单元也能够应用于排出气体的排出喷嘴。
【主权项】
1.一种喷嘴驱动单元，该喷嘴驱动单元搭载于气体注入装置，该气体注入装置包括:载置台，该载置台用于载置容器，该容器在底部具有气体注入部， 该喷嘴驱动单元具有: 喷嘴，其用于通过上述注入部向上述容器内注入气体； 缸体，其具有压力室以及供上述喷嘴贯穿的开口，该缸体用于保持上述喷嘴， 压力产生机构，其通过调整上述压力室的压力，从而通过上述开口在待机位置和上述喷嘴与上述容器的上述注入部相接触的接触位置之间对上述喷嘴进行上述驱动。2.根据权利要求1所述的喷嘴驱动单元，其中， 上述压力室由通过利用上述喷嘴将上述缸体内划分而形成的第I压力室和第2压力室构成， 上述压力产生机构利用上述第I压力室和上述第2压力室的压力差在上述待机位置和上述接触位置之间对上述喷嘴进行驱动。3.一种气体注入装置，该气体注入装置对容器注入气体，该容器用于收纳被收纳体，并具有底部、设于上述底部的定位槽以及设于上述底部的气体的注入部， 该气体注入装置具有: 载置台，其具有与上述定位槽卡合的定位销，并用于载置上述容器； 喷嘴驱动单元，其具有用于通过上述容器的注入部向上述容器内注入上述气体的喷嘴，其能够在上述定位销与上述容器的上述定位槽相卡合的状态下驱动上述喷嘴，使得上述喷嘴与上述容器的上述注入部相接触；以及 传感器，其用于检测上述容器是否被定位于期望的位置， 上述喷嘴驱动单元具有: 缸体，其具有压力室以及供上述喷嘴贯穿的开口，该缸体用于保持上述喷嘴， 压力产生机构，其通过调整上述压力室的压力，从而通过上述开口对上述喷嘴进行驱动， 在利用上述传感器检测出上述容器被定位于上述期望的位置的情况下，利用上述压力差产生装置驱动上述喷嘴，使得上述喷嘴与上述注入部接触。4.根据权利要求3所述的气体注入装置， 该气体装置具有用于供给上述气体的配管和开闭阀， 在利用上述压力产生机构驱动上述喷嘴使得上述喷嘴与上述注入部接触，且使上述喷嘴与上述注入部接触之后，打开上述开闭阀开始注入上述气体。5.一种喷嘴驱动单元，该喷嘴驱动单元搭载于气体排出装置，该气体排出装置包括:载置台，该载置台用于载置容器，该容器具有设于底部的气体排出部， 该喷嘴驱动单元具有: 喷嘴，其用于通过上述排出部自上述容器内排出气体； 缸体，其具有压力室以及供上述喷嘴贯穿的开口，该缸体用于保持上述喷嘴， 压力产生机构，其通过调整上述压力室的压力，从而通过上述开口在待机位置和上述喷嘴与上述容器的上述排出部相接触的接触位置之间对上述喷嘴进行上述驱动。
【专利摘要】本发明提供在用于载置容器的载置台上安装有用于向容器内注入气体或从容器中排出气体的喷嘴的装置中也能够将容器可靠地定位在载置台上的气体的注入装置、注入方法以及气体的排出装置、排出方法。在将作为容器的承载盒(10)载置在承载基座(21)上时，活动销(7)与设置在承载盒(10)的底部(103)上的定位槽(101)相卡合而将承载盒(10)定位在载置台(2)上。然后，从该状态利用升降驱动单元(4)使注入喷嘴(5)与承载盒(10)的注入部(102)相接触。因而，在将承载盒(10)定位在载置台(2)上之前，不会产生注入喷嘴(5)勾挂在承载盒(10)的注入部(102)上这样的情况。即，能够将承载盒(10)可靠地定位在载置台(2)上。
【IPC分类】B05B15/06, B05B13/02, H01L21/00, B05B13/04
【公开号】CN105149140
【申请号】CN201510490464
【发明人】夏目光夫, 落合光敏, 溝河巧
【申请人】翔风技术有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2011年3月2日
【公告号】CN102189052A, CN102189052B, US8596312, US20110214778