一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统。
【背景技术】
[0002]硅片切割是电子工业主要原材料一硅片(晶圆)生产的上游关键技术，切割的质量与规模直接影响到整个产业链的后续生产。在电子工业中，对硅片的需求主要表现在太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上。晶体硅片是制作光伏太阳能电池的主要材料，每生产I丽的太阳能电池组件需要17吨左右的原料。Clean Edge预计，全球太阳能发电市场的规模将从2005年的110亿美元猛进增到2015年的510亿美元，以芯片著名的“硅谷”将被“太阳谷”所取代。显然太阳能产业的迅猛发展需要更多的硅原料及切割设备来支撑。
[0003]硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。在整个切割过程中，切割液(PEG)具有重要作用，然而，随着人们对环境保护的重视，如何处理切割液在切割完毕后所产生的废砂浆，日益成为人们研宄的重点。
[0004]晶硅线切割废砂浆是一种灰黑色粘稠固液混合体，含有碳化硅，硅粉，铁，聚乙二醇，水杂质等。略有吸湿性，不易挥发，化学性质稳定，能溶于水，难燃，按危险化学废弃物运输，密封贮存。
[0005]如何利用晶硅线切割废浆料，再生切割液(聚乙二醇)、碳化硅、陶瓷细粉材料，是近年来急需解决的问题。
【实用新型内容】
[0006]为解决上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，用于对废砂浆进行再生预处理，提高废砂浆再生效率。
[0007]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是:
[0008]一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，包括:第一 ~第三压滤机，间隔排布，包括分别设置于压滤机两侧的进料口和滤液出口、设置于压滤机内侧中部的滤饼洗涤喷头以及设置于压滤机底部的滤饼出口 ；第一 ~第三砂浆搅拌罐，内设搅拌机，分别设置于所述第一 ~第三压滤机下方，且进液口分别与第一 ~第三压滤机的滤饼出口相对；第一、第二浆料配制罐，内设搅拌机，通过一浆料输送泵与第一压滤机进料口连通，第一压滤机滤液出口分别与第一、第二浆料配制罐进液口连通；第一 ~第五洗涤水贮罐，间隔排布，出水口分别设置有输送泵，第一洗涤水贮罐出水口与第一压滤机进料口连通，入水口与第二压滤机滤液出口连通；第二洗涤水贮罐出水口分别连接至第一压滤机内侧滤饼洗涤喷头以及第一砂浆搅拌罐进液口，入水口与第二压滤机滤液出口连通；第三洗涤水贮罐出水口与第二砂浆搅拌罐进液口连通，入水口与第三压滤机滤液出口连通；第四洗涤水贮罐出水口分别连接至第二压滤机内侧滤饼洗涤喷头以及第二砂浆搅拌罐进液口连通，入水口与第三压滤机滤液出口连通；第五洗涤水贮罐出水口与第三砂浆搅拌罐进液口连通；一纯净水贮罐，分别与第一、第二浆料配制罐进液口以及第五洗涤水贮罐入水口连通；一初分液收集罐，其进液口与第一压滤机滤液出口连通；一初分液压滤机，其进料口通过一初分液输送泵与初分液收集罐出液口连通，滤液出口与初分液收集罐进液口连通；滤饼收集袋，设置于所述初分液压滤机下方，与初分液压滤机滤饼出口相对；油液收集罐，其进液口与所述初分液压滤机滤液出口连通。
[0009]进一步，还包括一助滤剂混合罐，设置于所述初分液收集罐一侧，其进液口分别与所述初分液收集罐进液口以及所述初分液压滤机滤液出口连通，出液口通过所述初分液输送泵与初分液压滤机进料口连通。
[0010]另，还包括依次连接的锰砂过滤罐及精密过滤器，所述锰砂过滤罐进液口与所述油液收集罐出液口连通，所述精密过滤器出液口连有一精制油收集罐。
[0011]本实用新型有益效果在于:
[0012]设置3台压滤机，配合5个洗涤水贮罐，实现对废砂浆浆料的5次压滤分液处理，明显提升对废砂浆浆料的压滤处理效率，提升废砂浆再生品质，确保从废砂浆中回收合格的切割液及碳化硅。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型实施例所述的晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统结构示意图。
[0014]图2为本实用新型实施例所述的压滤机结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]参见图1和图2，本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，包括:第一 ~第三压滤机11~13，间隔排布，包括分别设置于压滤机11 (以第一压滤机11为例)两侧的进料口 111和滤液出口 112、设置于压滤机11内侧中部的滤饼洗涤喷头113以及设置于压滤机底部的滤饼出口 114 ;第一 ~第三砂浆搅拌罐21~23，内设搅拌机3，分别设置于所述第一 ~第三压滤机11~13下方，且进液口分别与第一~第三压滤机11~13的滤饼出口相对；第一、第二浆料配制罐41、42，内设搅拌机3，通过一浆料输送泵43与第一压滤机11进料口 111连通，第一压滤机11滤液出口 112分别与第一、第二浆料配制罐41、42进液口连通；第一 ~第五洗涤水IC罐51~55，间隔排布，出水口分别设置有输送泵6，第一洗涤水IC罐51出水口与第一压滤机11进料口连通，入水口与第二压滤机12滤液出口连通；第二洗涤水贮罐52出水口分别连接至第一压滤机11内侧滤饼洗涤喷头以及第一砂浆搅拌罐21进液口，入水口与第二压滤机12滤液出口连通；第三洗涤水贮罐53出水口与第二砂浆搅拌罐22进液口连通，入水口与第三压滤机13滤液出口连通；第四洗涤水贮罐54出水口分别连接至第二压滤机12内侧滤饼洗涤喷头以及第二砂浆搅拌罐22进液口连通，入水口与第三压滤机13滤液出口连通；第五洗涤水贮罐55出水口与第三砂浆搅拌罐23进液口连通；一纯净水贮罐7，分别与第一、第二浆料配制罐41、42进液口以及第五洗涤水贮罐55入水口连通；一初分液收集罐8，其进液口与第一压滤机11滤液出口连通；一初分液压滤机9，其进料口通过一初分液输送泵91与初分液收集罐8出液口连通，滤液出口与初分液收集罐8进液口连通；滤饼收集袋10，设置于所述初分液压滤机9下方，与初分液压滤机9滤饼出口相对；油液收集罐101，其进液口与所述初分液压滤机9滤液出口连通。
[0016]进一步