一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统。
【背景技术】
[0002]硅片切割是电子工业主要原材料一硅片(晶圆)生产的上游关键技术，切割的质量与规模直接影响到整个产业链的后续生产。在电子工业中，对硅片的需求主要表现在太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上。晶体硅片是制作光伏太阳能电池的主要材料，每生产I丽的太阳能电池组件需要17吨左右的原料。Clean Edge预计，全球太阳能发电市场的规模将从2005年的110亿美元猛进增到2015年的510亿美元，以芯片著名的“硅谷”将被“太阳谷”所取代。显然太阳能产业的迅猛发展需要更多的硅原料及切割设备来支撑。
[0003]硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。在整个切割过程中，切割液(PEG)具有重要作用，然而，随着人们对环境保护的重视，如何处理切割液在切割完毕后所产生的废砂浆，日益成为人们研宄的重点。
[0004]晶硅线切割废砂浆是一种灰黑色粘稠固液混合体，含有碳化硅，硅粉，铁，聚乙二醇，水杂质等。略有吸湿性，不易挥发，化学性质稳定，能溶于水，难燃，按危险化学废弃物运输，密封贮存。
[0005]如何利用晶硅线切割废浆料，再生切割液(聚乙二醇)、碳化硅、陶瓷细粉材料，是近年来急需解决的问题。
【实用新型内容】
[0006]为解决上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，用于对废砂浆中的碳化硅及硅粉进行再生处理，提高再生效率。
[0007]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:
[0008]一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，包括:若干碱洗桶，内部分别设有搅拌机，所述碱洗桶进料口分别通过管道接入碳化硅及硅粉浆料，且进料管道上分别设置有控制阀；一碱液桶，其出液口分别与所述碱洗桶进料口连接；一碱洗带式过滤机，其进料口通过至少一个碱洗液输送泵与所述碱洗桶出料口连接，碱洗桶出料口出料管道上分别设有碱洗液控制阀；一碱洗接料桶，其进料口与所述碱洗带式过滤机出料口连接；若干酸洗桶，对应所述碱洗桶，间隔排布，内部分别设有搅拌机，所述酸洗桶进料口通过一输液泵分别与所述碱洗接料桶出料口连接，酸洗桶进料管道上分别设有酸洗液控制阀；酸洗桶出料口通过至少一个酸洗液输送泵与一酸洗带式过滤机进液口连接，酸洗桶出料管道上分别设有酸洗液控制阀；一酸液桶，其出液口分别与所述酸洗桶进料口连接。
[0009]进一步，所述碱洗桶数量为5个，对应地，所述酸洗桶数量为5个。
[0010]另，所述碱洗桶上分别设有流量计。
[0011]另有，所述碱洗液输送泵数量为2个。
[0012]再，所述酸洗液输送泵数量为2个。
[0013]本实用新型的有益效果在于:
[0014]采用若干碱洗桶和若干酸洗桶进行洗涤，洗涤效率高，利于提升碳化硅及硅粉的再生效铝及再生量。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型实施例所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]参见图1，本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，包括:若干碱洗桶1，内部分别设有搅拌机2，所述碱洗桶I进料口分别通过管道接入碳化硅及硅粉浆料，且进料管道上分别设置有控制阀3 碱液桶4，其出液口分别与所述碱洗桶I进料口连接；一碱洗带式过滤机5，其进料口通过至少一个碱洗液输送泵6与所述碱洗桶出料口连接，碱洗桶I出料口出料管道上分别设有碱洗液控制阀11 ;一碱洗接料桶7，其进料口与所述碱洗带式过滤机5出料口连接；若干酸洗桶8，对应所述碱洗桶1，间隔排布，内部分别设有搅拌机2，所述酸洗桶进料口通过一输液泵71分别与所述碱洗接料桶7出料口连接，酸洗桶8进料管道上分别设有酸洗液控制阀81 ;酸洗桶8出料口通过至少一个酸洗液输送泵82与一酸洗带式过滤机9进液口连接，酸洗桶8出料管道上分别设有酸洗液控制阀81 酸液桶10，其出液口分别与所述酸洗桶8进料口连接。
[0017]进一步，所述碱洗桶I数量为5个，对应地，所述酸洗桶8数量为5个。
[0018]另，所述碱洗桶I上分别设有流量计12。
[0019]另有，所述碱洗液输送泵6数量为2个。
[0020]再，所述酸洗液输送泵82数量为2个。
[0021]本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统工作流程如下:
[0022]碱洗工序:
[0023]将旋流洗涤后的底流浆料，用泵分别输送至碱洗桶I。启动搅拌机2，打开流量计12，开启碱液桶4，将液碱徐徐加入碱洗桶I。洗涤物料5hr。洗涤完成后，将物料通过碱洗液输送泵6送至碱洗带式过滤机5进行漂洗。在碱洗带式过滤机5出料口取样检测，通过控制碱洗带式过滤机5传送速度，控制洗涤后样品Ph值在7?8之间。
[0024]碱洗带式过滤机5滤饼，用水配置成浆料，通过输液泵71送至酸洗工序。
[0025]碱洗带式过滤机5滤液，采用压滤机浓缩收集，返回碱洗带式过滤机5进行脱水。滤后水，作为废水排放至泵房内的污水预处理罐。
[0026]酸洗工序
[0027]将碱洗后的浆料，用输液泵71输送至酸洗桶8。启动搅拌机2，开启酸液桶10，将硫酸徐徐加入酸洗桶8。洗涤物料5hr。洗涤完成后，将物料通过酸洗液输送泵82泵送至酸洗带式过滤机9进行漂洗。在酸洗带式过滤机9出料口取样检测，通过控制酸洗带式过滤机9传送速度，控制洗涤后样品Ph值在6?7之间。
[0028]酸洗带式过滤机9滤饼，平板离心机进行脱水干燥，干燥后的碳化硅，用传送带送至闪蒸干燥机给料口。
[0029]洗酸带式过滤机滤液，采用压滤机浓缩收集，返回洗酸带式过滤机进行脱水。滤后水，作为废水排放至泵房内的污水预处理罐。
[0030]需要说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制。尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。
【主权项】
1.一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，其特征在于，包括: 若干碱洗桶，内部分别设有搅拌机，所述碱洗桶进料口分别通过管道接入碳化硅及硅粉浆料，且进料管道上分别设置有控制阀； 一碱液桶，其出液口分别与所述碱洗桶进料口连接； 一碱洗带式过滤机，其进料口通过至少一个碱洗液输送泵与所述碱洗桶出料口连接，碱洗桶出料口出料管道上分别设有碱洗液控制阀； 一碱洗接料桶，其进料口与所述碱洗带式过滤机出料口连接； 若干酸洗桶，对应所述碱洗桶，间隔排布，内部分别设有搅拌机，所述酸洗桶进料口通过一输液泵分别与所述碱洗接料桶出料口连接，酸洗桶进料管道上分别设有酸洗液控制阀；酸洗桶出料口通过至少一个酸洗液输送泵与一酸洗带式过滤机进液口连接，酸洗桶出料管道上分别设有酸洗液控制阀； 一酸液桶，其出液口分别与所述酸洗桶进料口连接。
2.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，其特征在于，所述碱洗桶数量为5个，对应地，所述酸洗桶数量为5个。
3.根据权利要求1或2所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，其特征在于，所述碱洗桶上分别设有流量计。
4.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，其特征在于，所述碱洗液输送泵数量为2个。
5.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，其特征在于，所述酸洗液输送泵数量为2个。
【专利摘要】一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗及酸洗系统，包括：若干碱洗桶，进料口通过接入碳化硅及硅粉浆料，进料管道上设控制阀；碱液桶，出液口与碱洗桶进料口连接；碱洗带式过滤机，进料口通过碱洗液输送泵与碱洗桶出料口连接，碱洗桶出料管道上设碱洗液控制阀；碱洗接料桶，进料口与碱洗带式过滤机出料口连接；酸洗桶，进料口通过输液泵与碱洗接料桶出料口连接，酸洗桶进料管道上设酸洗液控制阀；酸洗桶出料口通过酸洗液输送泵与酸洗带式过滤机连接，酸洗桶出料管道上设酸洗液控制阀；酸液桶，出液口与酸洗桶进料口连接。所述碱洗及酸洗系统采用若干碱洗桶和若干酸洗桶进行洗涤，洗涤效率高，利于提升碳化硅及硅粉的再生效铝及再生量。
【IPC分类】C01B31-36, C01B33-037
【公开号】CN204454605
【申请号】CN201520105725
【发明人】唐彦文, 黄志斌
【申请人】徐州吉兴新材料有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年2月13日