用于测试分选机的拾取与放置装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了用于测试分选机的拾取与放置装置。该装置包括主体；X轴向导轨；设置在X轴方向上的拾取器模块，每个拾取器模块具有在Y轴方向上彼此间隔开的拾取器；调节拾取器模块之间的距离的X轴向距离调节设备；以及调节设置在每个拾取器模块中位于Y轴方向上的拾取器之间的距离的Y轴向距离调节设备。每个拾取器模块包括能够沿X轴向导轨移动的第一导引件；设置在第一导引件处的Y轴向导轨；以及能够沿Y轴向导轨移动并连接至Y轴向距离调节设备的Y轴向移动导引件的第二导引件，以使得Y轴向移动导引件可与第二导引件一起移动。
【专利说明】用于测试分选机的拾取与放置装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及用于测试分选机的拾取与放置装置。
【背景技术】
[0002]为了测试电子器件(特别是半导体器件)，需要一种用于测试电子零件的测试器和包括用于电连接电子器件至该测试器的设备的测试分选机。
[0003]测试分选机包括测试托盘，其上装载有矩阵形式的多个半导体器件并同时传送所有这些半导体器件。
[0004]在半导体器件装载到测试托盘(也被称为“承载板”)上之后，半导体器件电连接至测试器的测试插座。因此，装载在测试托盘上的半导体器件之间的距离必须对应于测试器的测试插座之间的距离。
[0005]另一方面，在提供给测试分选机之前，待测试的半导体器件被装载在用户托盘上。用户托盘的预期目的是装载和存储半导体器件。因此，为了增大用户托盘的装载能力，装载在用户托盘上的半导体器件之间的距离可小于装载在测试托盘上的半导体器件之间的距离。
[0006]测试分选机设有拾取与放置装置，其将待测试的半导体器件从用户托盘传输至测试托盘，或将已在测试托盘上测试的半导体器件传输至用户托盘。另外，因为装载在用户托盘上的半导体器件之间的距离不同于装载在测试托盘上的半导体器件之间的距离，所以测试分选机必须设有当在用户托盘与测试托盘之间传输半导体器件时可调节半导体器件之间的距离的结构。
[0007]图1是示出根据传统技术的测试分选机的结构的示意性平面图。
[0008]参照图1，根据传统技术的测试分选机TH包括测试托盘TT、装载拾取与放置装置LH、两个分类台STa和STb、分类拾取与放置装置SH、以及卸载拾取与放置装置UH。
[0009]测试托盘TT在循环路径C中循环，该循环路径C始于装载位置LP并经过测试位置TP和卸载位置UP延伸至装载位置LP。
[0010]装载拾取与放置装置LH (也被称为装载器)用于将已装载在用户托盘CTl上的半导体器件装载至设置在装载位置LP处的承载板CB。为了增大处理速度，可设有多个装载拾取与放置装置LH。在附图中，示出了设有两个装载拾取与放置装置LH。
[0011]每个分类台STa和STb可相对于前向-后向方向(Y轴方向，其他与上述相同)进行步骤往复操作，并以矩阵形式将多个半导体器件装载在其上。
[0012]被称为分类机的分类拾取与放置装置SH将半导体器件传输到分类台STa和STb上，其中该半导体器件已在卸载位置UP处装载在测试托盘TT上并已被测试。分类拾取与放置装置SH通常配置成仅能够在X轴方向上移动，以使得其可减小重量以提高其移动性或可防止与卸载拾取与放置装置UH的操作干涉。为了更有效地实现上述目的，分类台STa和STb可配置成可相对于前向-后向方向进行步骤往复操作。
[0013]卸载拾取与放置装置UH也被称为卸载机，并且用于将已装载在分类台STa和STb上的半导体器件传送至具体的用户托盘CT2。
[0014]在上述测试分选机TH中，为了保证卸载操作的速度，卸载侧部分被再分成分类拾取与放置装置SH、分类台STa和STb以及卸载拾取与放置装置UH。卸载侧部分的元件可更快速地通过分工进行卸载操作。
[0015]另一方面，装载在测试托盘上的半导体器件之间的间隔由测试器的测试插座之间的距离确定。例如，如图2所示,半导体器件可以a, b, a, b, a, b...(b>a)的图案的恒定的X轴向间隔t和Y轴向间隔设置在测试托盘TT上。另一方面，如图3所示，半导体器件可以恒定的X轴向间隔s (s〈t)和恒定的Y轴向间隔u (2u=a)设置在分类台STa或STb上。
[0016]因此，因为装载在测试托盘TT上的半导体器件的间隔不同于位于分类台STa或STb上的半导体器件的间隔，所以优选的是将半导体器件从测试托盘TT传输至分类台STa或STb的分类拾取与放置装置SH配置成使得拾取器之间的距离(每个拾取器可抓取一个半导体器件)可相对于X轴方向和Y轴方向进行调节。
[0017]关于此，在第10-2010-0079945号韩国待审专利公开(专利文件I)中提出了配置成可在X轴方向和Y轴方向上调节拾取器之间的距离的拾取与放置装置。
[0018]在专利文件I中介绍的拾取与放置装置使用凸轮板在X轴方向和Y轴方向上移动拾取器。在这种情况下，存在装置的整体尺寸增大并且装置的机械构造复杂的问题。
[0019]此外，因为不能单独控制X轴向移动和Y轴向移动，所以难以将该装置使用在各种情况中。
[0020]另一方面，在第10-2011-0059086号韩国待审专利公开(专利文件2)中提出了配置成可在X轴方向和Y轴方向上调节拾取器之间的距离的另一拾取与放置装置。
[0021]在专利文件2中介绍的拾取与放置装置可单独控制拾取器的X轴向移动和Y轴向移动。然而，因为也以与专利文件I相同的方式使用凸轮板，所以仍然存在装置的整体尺寸相对较大和机械构造复杂的问题。
[0022]此外，虽然可单独控制拾取器的X轴向移动和Y轴向移动，但位移不可调节。因此，专利文件2的拾取与放置装置以与专利文件I的拾取与放置装置相同的方式不可使用在各种情况中。
[0023][现有技术文件]
[0024][专利文件]
[0025](专利文件I)--第10-2010-0079945号韩国待审专利公开(
【公开日】:2010年7月8
曰)
[0026](专利文件2):第10-2011-0059086号韩国待审专利公开(
【公开日】:2011年6月2
曰)
【发明内容】
[0027]因此，本发明的一个目的在于提供一种用于测试分选机并具有较小尺寸和简单结构的拾取与放置装置。
[0028]本发明的另一目的在于提供一种用于测试分选机的拾取与放置装置，其配置成不但可调节拾取器之间的X轴向距离和Y轴向距离，并且可调节拾取器的X轴向位移和Y轴向位移。[0029]根据本发明的优选实施方式，提供了一种用于测试分选机的拾取与放置装置，其将半导体器件从第一位置提供至第二位置，设有设置在X轴方向上的多个拾取器模块并包括:主体；设置在主体处的X轴向导轨；设置在主体处并设置在X轴方向上的多个拾取器模块，每个拾取器模块包括相对于Y轴方向彼此间隔开的多个拾取器；调节该多个拾取器模块之间的距离的X轴向距离调节设备；调节设置在每个所述拾取器模块中并位于Y轴方向上的所述拾取器之间的距离的Y轴向距离调节设备，其中每个拾取器模块包括设置成能够沿所述X轴向导轨移动的第一导引件；设置在第一导引件处并在Y轴方向上延伸预定长度的Y轴向导轨；设置成能够沿所述Y轴向导轨移动的第二导引件，其连接至所述Y轴向距离调节设备的Y轴向移动导引件，以使得所述Y轴向移动导引件可与所述第二导引件一起移动。
[0030]Y轴向移动导引件处可设有辅助导轨，该辅助导轨在X轴方向上延伸，并且第二导引件上可设有辅助导轨连接件，该辅助导轨连接件连接至辅助导轨。
[0031]X轴向距离调节设备可包括:从第一马达接收能量的至少一个驱动轮；连接至至少一个驱动轮的至少一个带；以及通过至少一个带与驱动轮互锁的至少一个从动轮。Y轴向距离调节设备可包括:通过从第二马达传输的功率旋转并在Y轴方向上延伸的滚珠丝杠；联接至滚珠丝杠并在Y轴方向上进行移动的滚珠螺母。Y轴向移动导引件可联接至滚珠螺母。Y轴向移动导引件可与滚珠螺母一起在Y轴方向上移动。所有拾取器模块或除拾取器模块中任一个之外的剩余拾取器模块可分别连接至至少一个带中对应的一个带并与X轴向导轨在X轴方向上一起移动。设置在每个拾取器模块中拾取器中至少之一可连接至Y轴向移动导引件并与滚珠螺母在Y轴方向上一起移动。
[0032]驱动轮可包括多个驱动动轮，并且该多个驱动轮可具有彼此不同的直径。
[0033]不连接至带的拾取器模块可紧固至主体。
[0034]驱动轮可包括两个驱动轮，带可包括两个带，并且从动轮可包括两个从动轮。两个驱动轮的直径的比率可以是1:2。拾取器模块可包括:紧固至主体并被防止在X轴方向上移动的第二拾取器模块；第一拾取器模块，设置在所述第二拾取器模块的一侧并连接至连接有具有较小直径的驱动轮的带的一侧；第三拾取器模块，设置在第二拾取器模块的另一侧并连接至连接有具有较小直径的驱动轮的带的另一侧；第四拾取器模块，设置在第二拾取器模块的另一侧并连接至连接有具有较大直径的驱动轮的带的一侧；
[0035]如上所述，本发明可提供用于测试分选机的拾取与放置装置，其具有较小且简单的结构并配置成可调节拾取器之间的X轴向距离和Y轴向距离。
[0036]此外，在本发明中，可容易地调节拾取器的X轴向位移和Y轴向位移，因此使该拾取与放置装置可用于各种工作。
【专利附图】
【附图说明】
[0037]通过结合附图参照优选实施方式的以下描述，本发明的以上及其他目的和特征将是显而易见的，在附图中:
[0038]图1是示出根据传统技术的测试分选机的构造的平面示意图；
[0039]图2和图3是示出图1的测试分选机的操作的参考图；
[0040]图4是示出根据本发明的测试分选机的拾取与放置装置的立体图；[0041]图5是已经移除马达和侧壁的图4的拾取与放置装置的立体图；
[0042]图6是图4的拾取与放置装置的主体的立体图；
[0043]图7是图6的拾取与放置装置的主体的仰视立体图；
[0044]图8示出了连接至导轨的图4的拾取器模块；
[0045]图9是图8的分解立体图；
[0046]图10是图9的第一拾取器模块的分解立体图；
[0047]图11是图9的Y轴向距离调节设备的分解立体图；
[0048]图12示出了图4的拾取与放置装置的X轴向距离调节操作；以及
[0049]图13和图14示出了图4的拾取与放置装置的Y轴向距离调节操作。
【具体实施方式】
[0050]下文中，将参照附图详细描述本发明的优选实施方式，以使其可由本领域技术人员容易地实施。
[0051]如果在说明书中已知功能或配置的详细描述不必要地模糊本发明的主旨，则将省略该详细描述。
[0052]图4是根据本发明的测试分选机的拾取与放置装置10的立体图。图5是已经移除马达和侧面的图4的拾取与放置装置10的立体图。图6是图4的拾取与放置装置10的主体100的立体图。图7是图6的主体100的仰视立体图。
[0053]参照图4至图7，根据本发明的一个实施方式的测试分选机的拾取与放置装置10包括多个拾取器模块PM，该多个拾取器模块PM设置在X轴方向上且设置成彼此平行。拾取器模块将半导体器件保持在第一位置处，将半导体器件传输至第二位置，以及在第二位置释放这些半导体器件。详细地，拾取与放置装置10包括主体100、拾取器模块PM、X轴向距离调节设备200、以及Y轴向距离调节设备300。拾取器模块PM设置在主体100处以便能够在X轴方向上移动，并且拾取器模块PM具有多个拾取器Pl至P8。X轴向距离调节设备200调节拾取器模块PM之间的距离。Y轴向距离调节设备300调节分别设置在拾取器模块600、700、800和900中的多个拾取器之间的距离。
[0054]拾取与放置装置10安装在测试分选机(未示出)中。根据使用目的，拾取与放置装置10设置成可在预定方向上移动。如附图所示，拾取与放置装置10可配置成仅具有一个主体100，或者可替代地，其可以配置成多个主体100彼此集成并一起移动。
[0055]主体100包括基部110、第一侧壁120和第二侧壁130、前板140、以及X轴向导轨112和114。第一侧壁120和第二侧壁130安装在基部110上。前板140安装在基部110的前端和第一侧壁120及第二侧壁130的前端上。X轴向导轨112和114安装在基部110上以引导拾取器模块PM的移动。
[0056]基部110为中央部分具有孔116的板。X轴向导轨112和114安装在基部110的下表面下方并在X轴方向上延伸预定长度。在本发明中，基部110设有至少一个X轴向导轨112或114。在该实施方式中，虽然两个X轴向导轨示为设置成彼此平行并设置位于基部110相对侧的以预定距离彼此隔开的位置处，但是本发明的精神并不限于此。
[0057]基部110具有拾取器模块紧固部115，其位于X轴向导轨112和114周围，并且第二拾取器模块700通过拾取器模块紧固部115紧固至基部110。[0058]拾取器模块PM中的一些拾取器模块600、800及900设置成能够沿主体100的X轴向导轨112和114在X轴方向上移动，而另一拾取器模块700牢固地紧固至主体100。例如，第二拾取器模块700可紧固至基部110。但是，该结构仅是示例性的，所有拾取器模块PM都可设置成能够在X轴方向上移动。
[0059]此外，在该实施方式中，虽然四个拾取器模块600，700,800和900被示为安装在主体100中，但是本发明并不限于该实施方式。这里，沿X轴方向，拾取器模块分别被称为第一拾取器模块600，第二拾取器模块700，第三拾取器模块800以及第四拾取器模块900。
[0060]这些拾取器模块PM分别包括一对拾取器Pl和P5、一对拾取器P2和P6、一对拾取器P3和P7、以及一对拾取器P4和P8。通过Y轴向距离调节设备300可调节每对拾取器之间的距离。详细地，第一拾取器Pl和第五拾取器P5连接至第一拾取器模块600。第二拾取器P2和第六拾取器P6连接至第二拾取器模块700。第三拾取器P3和第七拾取器P7连接至第三拾取器模块800。第四拾取器P4和第八拾取器P8连接至第四拾取器模块900。拾取器P1、P2、P3、P4与拾取器P5、P6、P7、P8之间的距离可通过Y轴向距离调节设备300进行调节，其中，拾取器P1、P2、P3、P4设置在第一拾取器Pl的一侧，拾取器P5、P6、P7、P8设置在第五拾取器P5的一侧。
[0061]在该实施方式中，虽然拾取与放置装置已示为配置成使得相对于Y轴方向彼此间隔开的两个拾取器安装在拾取器模块PM中，但本发明的精神并不限于该实施方式。例如，可设置三个或更多个拾取器。
[0062]通过与外部功率源(未示出)相连，拾取器Pl至P8使用吸力来保持半导体器件或排气以释放半导体器件。例如，每个拾取器的上端连接至功率源。在该实施方式中，虽然拾取与放置装置10已示为通过每个拾取器模块中安装有两个拾取器的方式来设有总共八个拾取器，但是安装在每个拾取器模块中的拾取器的数目或总数可以进行多种改变。本发明的精神不应由拾取器的数目所限制。
[0063]X轴向距离调节设备200包括产生驱动力的第一马达Ml、连接至第一马达Ml的第一驱动轮211、通过第一带BI从第一驱动轮211接收能量的第一从动轮212、以及连接至第一从动轮212的第一轴SI。X轴向距离调节设备200还包括联接至第一轴SI并通过第一轴SI旋转的第二驱动轮213和第三驱动轮214、通过第二带B2从第二驱动轮213接收能量的第二从动轮215、通过第三带B3从第三驱动轮214接收能量的第三从动轮216、以及联接至第二从动轮215和第三从动轮216的第二轴S2。
[0064]第一马达Ml通过第一支承架122紧固至主体100。详细地，第一支承架122联接至第一侧壁120的大体中央部分，以使得第一马达Ml设置在主体100之上。
[0065]第一马达Ml提供能量以调节拾取器模块PM之间的距离。为此，第一马达Ml使用第一驱动轮211、第一带BI和第一从动轮212来旋转第一轴SI。第一驱动轮211、第一带BI和第一从动轮212设置在主体100的外侧。
[0066]第二驱动轮213和第三驱动轮214通过第一轴SI的旋转而一起旋转。第二驱动轮213和第三驱动轮214具有不同的直径。例如，第二驱动轮213的直径可以是第三驱动轮214的直径的两倍。因此，通过第二驱动轮213和第三驱动轮214的旋转而改变的拾取器模块PM之间距离可彼此相等。
[0067]第二从动轮215和第三从动轮216与对应的第二驱动轮213和第三驱动轮214具有相同的直径，因此第二带B2和第三带B3的悬在轮之间的部分可平行于基部110(更详细地，导轨112和114)进行移动。
[0068]当旋转第二驱动轮213和第三驱动轮214时，第二带B2和第三带B3通过第二驱动轮213和第三驱动轮214在第二驱动轮213和第三驱动轮214旋转的方向上移动。从而，联接至第二带B2和第三带B3的带连接件650、850和950可在X轴方向上与第二 B2和第三带B3 —起移动。第一拾取器模块600的带连接件650和第三拾取器模块800的带连接件850连接至第三带B3，并与第三带B3 —起移动。第四拾取器模块900的带连接件950连接至第二带B2，并与第二带B2 —起移动。下文将参照附图描述相关细节。
[0069]第一轴SI穿过第一侧壁120并延伸到主体100的内部空间中。第二驱动轮213、第三驱动轮214、第二带B2、第三带B3、第二从动轮215及第三从动轮216设置在主体100的内部空间中，也就是设置在第一侧壁120与第二侧壁130之间的空间中。轴承217和218分别设置在第一轴SI上和第二轴S2上，以使第一轴SI和第二轴S2通过轴承217和218可旋转地联接至第一侧壁120和第二侧壁130。
[0070]虽然该实施方式示为配置成使第二驱动轮213和第三驱动轮214独立地联接至第一轴SI，并且第二从动轮215和第三从动轮216独立地联接至第二轴S2，但本发明的精神并不限于这种结构。例如，第二驱动轮213和第三驱动轮214可设置成彼此集成以具有单轮结构，该单轮结构具有两个带座。可替代地，第二驱动轮213和第三驱动轮214可具有不同的旋转轴，该不同的旋转轴通过功率传输部件(如齿轮等)彼此互连并因此同时旋转。
[0071]Y轴向距离调节设备300包括产生驱动力的第二马达M2、连接至第二马达M2的第四驱动轮311、以及通过第四带B4从第四驱动轮311接收能量的第四从动轮312。该Y轴向距离调节设备300还包括连接至第四从动轮312的滚珠丝杠320、设置在滚珠丝杠320周围并通过滚珠丝杠320移动的滚珠螺母330、以及在主体100上支承滚珠丝杠320的滚珠丝杠支承件340。另外，该Y轴向距离调节设备300还包括联接至滚珠螺母330并与滚珠螺母300 —起移动的托架350、连接至托架350的Y轴向移动导引件360、以及连接至Y轴向移动导引件360的辅助导轨370。
[0072]通过与第一马达Ml相同的方式，将第二马达M2通过第二支承架124紧固至第一侧壁120。第二马达M2设置成平行于第一马达Ml。
[0073]第二马达M2提供能量以调节拾取器之间的Y轴向距离。第二马达M2利用第四驱动轮311、第四带B4以及第四从动轮312使滚珠丝杠320旋转。第四驱动轮311、第四带B4以及第四从动轮312设置在主体100的外侧。
[0074]滚珠丝杠320和滚珠螺母330将第四从动轮312的旋转运动转换为线性运动。滚珠丝杠320在Y轴方向上延伸预定长度，以使Y轴向移动导引件360可在Y轴方向上移动。
[0075]在该实施方式中，虽然滚珠丝杠支承件340示为联接至基部110以支承滚珠丝杠320，但是本发明的精神并不限于这种结构。例如，滚珠丝杠支承件340可紧固至前板140。
[0076]Y轴向移动导引件360通过滚珠螺母330的移动而线性地移动，其中通过滚珠丝杠320的旋转导致了滚珠螺母330的移动。Y轴向移动导引件360联接至拾取器模块PM的第二导引件620。通过Y轴向移动导引件360，第二导引件620在Y轴方向上移动，以便可以调节拾取器之间的Y轴向距离。下文将参照附图描述相关细节。
[0077]图8示出了连接至导轨112和114的图4的拾取器模块PM。图9是图8的分解立体图。图10是图9的拾取器模块600的分解立体图。图11是图9的Y轴向距离调节设备的分解立体图。
[0078]参照图8至图11，拾取器模块PM装配在安装在基部110上的X轴向导轨112和114之上。为了便于解释，图8示出了在基部110之上设置的结构及基部110已被移除的图4的拾取与放置装置。
[0079]第一拾取器模块600、第三拾取器模块800和第四拾取器模块900可移动地连接至X轴向导轨112和114。第二拾取器模块700也连接至X轴向导轨112和114但是固定至基部110，因此其不能在X轴方向上移动。
[0080]第一拾取器模块600包括在Y轴方向上延伸并在X轴方向上沿X轴向导轨112和114移动的第一导引件610、将第一导引件610连接至X轴向导轨112和114的一对X轴向导轨连接件612和614、固定至第一导引件610并设有第一拾取器Pl的第一臂642、以及安装在第一导引件610上并在Y轴方向上延伸的Y轴向导轨630。第一拾取器模块600还包括设置成能够在Y轴方向上沿Y轴向导轨630移动的第二导引件620、固定至第二导引件620并设有第五拾取器P5的第二臂644、将第二导引件620连接至Y轴向导轨630的Y轴向导轨连接件622、以及将第二导引件620连接至辅助导轨370的辅助导轨连接件624。
[0081]第一导引件610的一端向下弯曲并向下延伸。第一臂642联接至第一导引件610的向下延伸的部分。第一臂642和第二臂644设置成彼此面对。第一臂642和第二臂644分别将第一拾取器Pl和第五拾取器P5接纳在其内部。
[0082]X轴向导轨连接件612和614联接至第一导引件610，并且根据需要其可与第一导引件610—体地设置。X轴向导轨连接件612和614用于导引第一导引件610的X轴向移动并使第一导引件610可以从X轴向导轨112和114悬置。为此，彼此对应的凸起和凹槽分别形成在X轴向导轨112、114与X轴向导轨连接件612、614中。以这种方法，第一导引件610通过X轴向导轨连接件612、614可移动地安装在主体100上。从而，第一拾取器模块600可连接至主体100。
[0083]Y轴向导轨630联接至第一导引件610的下表面并导引第二导引件620的Y轴向移动。考虑到Y轴向距离的调节，Y轴向导轨630具有适当的长度，并且Y轴向导轨630朝向第一导引件610的另一端延伸,该另一端与第一导引件610的弯曲的一端相反。
[0084]设置成与第一导引件610的弯曲一端相反的第二导引件620—端向下弯曲并延伸预定长度。第二臂644联接至第二导引件620的向下延伸的一端。
[0085]Y轴向导轨连接件622联接至第二导引件620的上部，并且如果需要可一体地联接至第二导引件620。此外，辅助导轨连接件624联接至第二导引件620的下部，并且如果需要可与第二导引件620 —体地设置。
[0086]Y轴向导轨连接件622用于导引第二导引件620的Y轴向移动并使第二导弓I件620可挂在Y轴向导轨630上。为此，彼此对应的凸起和凹槽分别形成在Y轴向导轨630与Y轴向导轨连接件622中。
[0087]辅助导轨连接件624配置成使Y轴向距离调节设备300的辅助导轨370可插设在辅助导轨连接件624中。辅助导轨连接件624用于将Y轴向移动导引件360的移动传输至第二导引件620。详细地，如果Y轴向移动导引件360在Y轴方向上移动，辅助导轨与Y轴向移动导引件360 —起移动。当辅助导轨370移动时，辅助导轨连接件624与辅助导轨370一起移动。因此，第二导引件620也在Y轴方向上移动。
[0088]X轴向导轨连接件612、614与辅助导轨连接件624具有凹槽，这些凹槽配置成在相同方向上导引对应的导轨。Y轴向导轨连接件622具有凹槽，该凹槽垂直于连接件612、连接件614以及连接件624的凹槽。
[0089]带连接件650联接至第一导引件610,以使得第三带B3通过带连接件650连接至第一拾取器模块600。带连接件650固定至第三带B3的预定部分，以使得带连接件650可与第三带B3 —起移动。第一导引件610通过带连接件650的移动而移动，因此第一拾取器模块600可在X轴方向上移动。
[0090]第一导引件610的带连接件650包括连接臂651和覆盖件652。连接臂651从第一导引件610延伸至第三带B3上部的下表面，以及覆盖件652设置在第三带B3上部的上表面上并联接至连接臂651以将连接臂651紧固至第三带B3。连接臂651从第一导引件610穿过基部110的孔116延伸至第三带B3。考虑到第三带B3和第一导引件610的位置以及与周围零件的干涉，连接臂651具有适当的几何形状。
[0091]与第三带B3形状对应的凹槽分别形成在连接臂651的上端部分和覆盖件652的下部中，以使得第三带B3处于凹槽中。第三带B3与带连接件650之间的联接可通过组装、结合、螺栓连接等提供的联接力而实现。
[0092]第二拾取器模块700、第三拾取器模块800和第四拾取器模块900中每个的总体构造与第一拾取器模块600的构造相同。下文中，为了便于解释，将省略与第一拾取器模块600的元件相同的第二、第三、第四拾取器模块700、800、900的元件的附图标记和详细描述，而仅描述与第一拾取器模块600不同的元件。对于与第一拾取器模块600的元件对应的第二、第三、第四拾取器模块700、800、900的元件的附图标记，仅是将三位数的百位数字改成与每个拾取器模块对应的数字。也就是说，第二拾取器模块700的第一导引件由附图标记710表不,第三拾取器模块800的第一导引件由附图标记810表不,而第四拾取器模块的第一导引件由附图标记910表不。
[0093]第二拾取器模块700的第一导引件710装配在X轴向导轨112和114之上并在预定位置处固定至基部110。X轴向导轨连接件712和714设置在第一导引件710上。与基部110的各拾取器模块紧固部115对应的联接孔716分别形成在X轴向导轨连接件712和714中。联接孔716和拾取器模块紧固部115可通过诸如螺栓的紧固构件(未示出)彼此紧固。从而，第二拾取器模块700可固定至基部110，并且不在X轴方向上移动。虽然该实施方式已示为设有X轴向导轨连接件712、714，并且第一导引件710通过X轴向导轨连接件712,714联接至X轴向导轨112和114，但是第二拾取器模块700可设置成没有X轴向导轨连接件712和714，这是因为第二拾取器模块700不需要在X轴方向上移动。
[0094]此外，因为第二拾取器模块700的第二导引件720不需要在X轴方向上移动，所以还可省略第二拾取器模块700中与第一拾取器模块600的辅助导轨连接件624对应的元件。相反地，为了使第二导引件720在Y轴方向上移动，第二导引件720的下部直接联接至Y轴向移动导引件360。为此，第二拾取器模块紧固部364设置在Y轴向移动导引件360上与第二拾取器模块700的第二导引件720对应的位置处。
[0095]除带连接件850或950之外，第三拾取器模块800或第四拾取器模块900的总体构造与第一拾取器模块600相同。[0096]第三拾取器模块800的带连接件850以预定形状延伸，以使得其可连接至第三带B3的下部。第一拾取器模块600的带连接件650和第三拾取器模块800的带连接件850连接至相同的第三带B3。带连接件650和带连接件850分别连接至第三带B3的上部和下部。因此，当旋转第三带B3时，带连接件650和带连接件850在相反的方向上移动。这里，第一拾取器模块600的移动距离与第三拾取器模块800的移动距离相同。
[0097]第四拾取器模块900的带连接件950以预定形状延伸，以使得其可连接至第二带B3的下部。因为使第二带B2移动的第二驱动轮213的直径不同于使第三带B3移动的第三驱动轮214的直径，所以第四拾取器模块900的移动量不同于第一拾取器模块600或第三拾取器模块700的移动量。在该实施方式中，第二驱动轮213直径为第三驱动轮214直径的两倍，所以第四拾取器模块900移动量也是第一拾取器模块600或第三拾取器模块700移动量的两倍。
[0098]另一方面，Y轴向距离调节设备300的滚珠丝杠支承件340固定至基部110，以使得滚珠丝杠320可以可靠地旋转。
[0099]滚珠螺母330装配在滚珠丝杠320之上，以能够在Y轴方向上移动。滚珠螺母330设有与托架350连接的凸缘。
[0100]托架350联接至滚珠螺母330并与滚珠螺母330 —起移动。Y轴向移动导引件360联接至托架350。紧固孔362形成在Y轴向移动导引件360中，以使得Y轴向移动导引件360通过诸如螺栓等的紧固构件(未示出)通过紧固孔362固定至托架350。Y轴向移动导引件360包括第二拾取器模块紧固部364，第二拾取器模块紧固部364紧固至第二拾取器模块700的第二导引件720。例如，第二拾取器模块紧固部364包括联接孔，螺栓等拧紧到该联接孔中。由于上述结构，当Y轴向移动导引件360在Y轴方向上移动时，第二拾取器模块700的第二导引件720也可在Y轴方向上移动。
[0101]辅助导轨370固定在Y轴向移动导引件360上部上并在X轴向导轨112、114延伸的X轴方向上延伸。辅助导轨370连接至第一拾取器模块600的辅助导轨连接件624、第三拾取器模块800的辅助导轨连接件824以及第四拾取器模块900的辅助导轨连接件924。因此，当Y轴向移动导引件360在Y轴方向上移动时,第一拾取器模块600的第二导引件620、第三拾取器模块800的第二导引件820以及第四拾取器模块900的第二导引件920与Y轴向移动导引件360 —起在Y轴方向上移动。
[0102]在该实施方式中，虽然第二拾取器模块700示为直接连接至Y轴向移动导引件360而不连接至辅助导轨370，但本发明的精神并不限于这种结构。第二拾取器模块700还可设有辅助导轨连接件，第二拾取器模块700通过该辅助导轨连接件连接至辅助导轨370。
[0103]下文中，将参照附图描述根据本发明实施方式的具有上述结构的拾取与放置装置100的操作。
[0104]图12示出了图4的拾取与放置装置的X轴向距离的调节操作。
[0105]参照图12，当第一马达Ml从功率供应装置(未示出)接收功率并旋转其输出轴时，驱动力从第一驱动轮211经过第一带BI传输至第一从动轮212。因而，连接至第一从动轮212的第一轴SI旋转。
[0106]当旋转第一轴SI时，连接至第一轴SI的第三驱动轮214和第二驱动轮213以相同角速度旋转。然后，分别连接至第二驱动轮213和第三驱动轮214的第二从动轮215和第三从动轮216也通过第二带B2和第三带B3进行旋转。第二带B2和第三带B3在与第一轴SI旋转的方向(即第一马达Ml的正常/反向旋转的方向)对应的方向上移动。这里，因为第二驱动轮213直径为第三驱动轮214直径的两倍，所以第二带B2移动量也是第三带B3移动量的两倍。
[0107]此外，因为第一轴SI与第二轴S2设置在同一水平面上并且第二从动轮215和第三从动轮216分别具有与相应驱动轮相同的直径，所以当第二带B2和第三带B3移动时第二带B2和第三带B3的中间部分可保持水平。
[0108]当第二带B2移动时，第四拾取器模块400的固定至第二带B2的带连接件950通过第二带B2移动，因此第四拾取器模块400在X轴方向上移动。此外，当第三带B3移动时，都固定至第三带B3的第一拾取器模块600的带连接件650和第三拾取器模块800的带连接件850通过第三带B3移动。因此，第一拾取器模块600和第三拾取器模块800在X轴方向上移动。
[0109]第一拾取器模块600、第三拾取器模块800和第四拾取器模块900的移动通过X轴向导轨112和114以及辅助导轨370导引。
[0110]如图12所示，当第一轴SI在顺时针方向上旋转时，连接至第三带B3上部的第一拾取器模块600在X轴的正向方向上(朝图12的右方)移动。连接至第三带B3下部的第三拾取器模块800和连接至第二带B2下部的第四拾取器模块900在X轴的负向方向上(朝图12的左方)移动。当第一轴SI在逆时针方向上旋转时,第一拾取器模块600、第三拾取器模块800以及第四拾取器模块900的移动方向改变。
[0111]在上述过程中，因为第二拾取器模块700固定至基部110，所以第二拾取器模块700不移动。由于带连接件650、850、950的上述设置，第一拾取器模块600、第三拾取器模块800和第四拾取器模块900可基于第二拾取器模块700靠拢或分散。
[0112]在拾取器模块之间的距离设为a的初始状态，如果第三带B3通过第一轴SI的顺时针旋转移动山则第一拾取器模块600在X轴的正向方向上移动d，第三拾取器模块800在X轴的负向方向上移动d，以及第四拾取器模块900在X轴的负向方向上移动2d。因此，相邻拾取器模块之间的距离都变为相同的a-d。
[0113]另一方面，在该实施方式中，虽然已示出了设有四个拾取器模块，但本发明的精神并不限于这种结构。如果需要，可增加或减少拾取器模块的数目。在这种情况下，驱动轮和带的数目也对应于拾取器模块的数目而改变，以便可以调节所有拾取器模块之间的距离。
[0114]此外，在该实施方式中，虽然已示出了第二拾取器模块700固定至基部110，但本发明的精神并不限于这种结构。例如，第二拾取器模块700可配置成连接至带并且可被移动。在这种情况下，第一拾取器模块600和第四拾取器模块900连接至具有更大转向半径的第二带B2。第二拾取器模块700和第三拾取器模块800连接至具有更小转向半径的第三带B3。此外，通过对装置进行设置，使得拾取器模块之间的距离可保持彼此相等，这样第二驱动轮213直径为第三驱动轮214直径的三倍。
[0115]本发明的精神是制造这样的装置，在该装置中拾取器模块选择性地连接至通过驱动轮移动的带，因此可调节拾取器模块之间的X轴向距离。本领域技术人员可使用简单的数学公式轻易地实现上述修改，如改变拾取器模块的数目或是否固定拾取器模块等。并且这种修改也落入本发明的范围中。[0116]图13和图14示出了图4的拾取与放置装置的Y轴向距离的调节操作。
[0117]参照图13和图14，当第二马达M2从功率供应装置(未示出)接收功率并使其输出轴旋转时，驱动力从第四驱动轮311经过第四带B4传输至第四从动轮312。从而，旋转与第四从动轮312连接的滚珠丝杠320。
[0118]当旋转滚珠丝杠320时，滚珠螺母330在Y轴方向上移动。然后，与滚珠螺母330连接的辅助导轨370、Y轴向移动导引件360和托架350 —起在Y轴方向上移动。
[0119]因为第一拾取器模块600、第三拾取器模块800和第四拾取器模块900通过辅助导轨连接件624、824以及924连接至辅助导轨370，所以它们可以通过滚珠螺母330的Y轴向移动与辅助导轨370 —起移动。因为第二导引件720固定至Y轴向移动导引件360，所以第二拾取器模块700通过滚珠螺母330的Y轴向移动与Y轴向移动导引件360 —起在Y轴方向上移动。最终，所有拾取器模块PM通过滚珠螺母330的Y轴向移动而在Y轴方向上移动。
[0120]随着Y轴向移动导引件360和辅助导轨370，拾取器模块的第二导引件620、720、820,920通过在第一导引件610、710、810、910上的Y轴向导轨630、730、830、930的导引而
在Y轴方向上移动。
[0121]在该实施方式中，虽然该装置已示为配置成每个拾取器模块设有第一导引件和第二导引件并且一对拾取器分别连接至第一导引件和第二导引件，但是本发明并不限于此。例如，每个拾取器模块可包括依次设置在Y轴方向上的三个或更多拾取器，并且拾取器可分级地彼此相连并紧固至可在Y轴方向上移动的导引件。在这种情况下，导引件连接至Y轴向距离调节设备，以使得拾取器之间的Y轴向距离可通过导引件的移动而被调节。
[0122]如上所述，根据本发明实施方式的拾取与放置装置10可以可靠地实施调节拾取器之间的X轴向距离和Y轴向距离的功能，并且与传统技术相比，该拾取与放置装置10具有较小且简单的整体结构。
[0123]此外，可容易地调节拾取器的X轴向位移和Y轴向位移。因此，本发明的拾取与放置装置10可用于各种工作，例如装载、分类、卸载等。
[0124]虽然已示出并参照优选实施方式描述了根据本发明实施方式的拾取与放置装置，但本领域技术人员应理解，在不背离如所附权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下，可对本发明进行多种改变和修改。
【权利要求】
1.一种用于测试分选机的拾取与放置装置，所述拾取与放置装置将半导体器件从第一位置传输至第二位置，并且所述拾取与放置装置设有在X轴方向上设置的多个拾取器模块，所述拾取与放置装置包括: 主体； X轴向导轨，设置在所述主体处； 多个拾取器模块，设置在所述主体处并设置在X轴方向上，每个所述拾取器模块包括相对于Y轴方向彼此间隔开的多个拾取器； X轴向距离调节设备，调节所述多个拾取器模块之间的距离；以及Y轴向距离调节设备，调节在Y轴方向上设置在每个所述拾取器模块中的所述多个拾取器之间的距离， 其中，每个所述拾取器模块包括: 第一导引件，设置成能够沿所述X轴向导轨移动； Y轴向导轨，设置在所述第一导引件处并在Y轴方向上延伸预定长度；以及第二导引件，设置成能够沿所述Y轴向导轨移动，所述第二导引件连接至所述Y轴向距离调节设备的Y轴向移动导引件，以使所述Y轴向移动导引件可与所述第二导引件一起移动。
2.根据权利要求1所述的拾取与放置装置，其中 所述Y轴向移动导引件处设有辅助导轨，所述辅助导轨在X轴方向上延伸，以及 所述第二导引件上设有辅助导轨连接件，所述辅助导轨连接件连接至所述辅助导轨。
3.根据权利要求1所述的拾取与放置装置，其中， 所述X轴向距离调节设备包括: 至少一个驱动轮，从第一马达接收功率； 至少一个带，连接至所述至少一个驱动轮；以及 至少一个从动轮，通过所述至少一个带与所述驱动轮互锁，所述Y轴向距离调节设备包括: 滚珠丝杠，通过从第二马达传输的能量进行旋转，所述滚珠丝杠在Y轴方向上延伸；以及 滚珠螺母，联接至所述滚珠丝杠，所述滚珠螺母在Y轴方向上移动， 其中，所述Y轴向移动导引件联接至所述滚珠螺母，所述Y轴向移动导引件在Y轴方向上与所述滚珠螺母一起移动， 所有的所述拾取器模块或者除所述拾取器模块中任一个之外的其余拾取器模块分别连接至所述至少一个带中对应的一个带，并且与所述X轴向导轨在X轴方向上一起移动，以及 设置在每个所述拾取器模块中的所述多个拾取器的至少一个连接至所述Y轴向移动导引件并与所述滚珠螺母在Y轴方向上一起移动。
4.根据权利要求3所述的拾取与放置装置，其中，所述驱动轮包括多个驱动轮，并且所述多个驱动轮具有彼此不同的直径。
5.根据权利要求3所述的拾取与放置装置，其中，不与所述带连接的所述拾取器模块紧固至所述主体。
6.根据权利要求3所述的拾取与放置装置，其中，所述至少一个驱动轮包括两个驱动轮，所述至少一个带包括两个带，以及所述至少一个从动轮包括两个从动轮， 其中，所述两个驱动轮的直径比率为1:2，以及 所述多个拾取器模块包括: 第二拾取器模块，紧固至所述主体并被阻止在X轴方向上移动； 第一拾取器模块，设置在所述第二拾取器模块的一侧并且连接至所述带的一侧，所述带的所述一侧连接至具有较小直径的驱动轮； 第三拾取器模块，设置在所述第二拾取器模块的另一侧并且连接至所述带的另一侧，所述带的所述另一侧连接至具有所述较小直径的驱动轮；以及 第四拾取器模块，设置在所述第二拾取器模块的另一侧并连接至所述带的连接具有较大直径的驱动轮的一侧。
【文档编号】B07C5/38GK103831254SQ201310573224
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年11月15日 优先权日:2012年11月21日
【发明者】成耆炷 申请人:泰克元有限公司