专利名称：稀散金属氯化铟/氯化1－甲基－3－乙基咪唑体系电镀液的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电镀液，尤其是一种稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
背景技术：
铟是一种稀散金属，在地壳中的丰度很低，大约为0.1μg·g-1。从铟的用途看，主要集中在半导体、透明导电涂层(ITO)、电子器件、有机金属化合物等方面，而这些材料的生产和加工均离不开高纯金属铟；如电子器件、有机金属化合物中要求产品杂质含量不超过10μg·g-1，铟作为IIIA族化合物半导体材料，在成品元件中大约1019个IIIA族化合物原子中出现一个异质原子，这就要求纯铟材料中的杂质含量要小于0.01μg·g-1。这些材料需要高纯度的铟作为原料，一般要求铟的纯度达99.999％，甚至要求达99.9999％以上。而我国目前生产的精铟还只是99.99％。因此，高纯金属铟的研制和开发是一个急需解决的问题。高纯铟的生产，在国内主要是用电解精炼法进行生产。镀铟溶液有氰化物型、硫酸盐型、氟硼酸型、氨磺酸型等，在电解中可能出现析氢效应、水解效应和乳化现象等，因此，须严格控制电解液的成分及电解条件。
发明内容
针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液，铟纯度可达到99.999％。以下将氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑简写为InCl3/EMIC。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方金属铟(In)60～120无水氯化铟InCl3340～540
氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)150～350糊精60～80氰化钾(KCN)40～60氯化钠(NaCl)30～50利用稀散金属室温离子液体研制的镀铟溶液，具有一些独特的性能，如较低的熔点、可调节的Lewis酸度、良好的导电性、可以忽略的蒸汽压、较宽的使用温度及特殊的溶解性等。此镀铟溶液不存在水化、水解、析氢等问题，具有不腐蚀、污染小等绿色溶剂应具备的性质。
用此电镀液电镀铟，精铟质量大幅度提高，铟的纯度达到99.999％。
具体实施例方式使用原料高纯无水氯化铟(InCl3)(柳州铟泰科技公司，纯度99.99％)，保存在有P2O5的干燥器中，使用前未进一步提纯。氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)(Aldrich公司，纯度98％)，使用前未进一步提纯。铟(In)(纯度99.99％)。糊精，氰化钾(KCN)，氯化钠(NaCl)。
实施例1金属铟(In)90克无水氯化铟InCl3500克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)280克糊精60克氰化钾(KCN)40克氯化钠(NaCl)30克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例2金属铟(In)60克无水氯化铟InCl3530克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)260克糊精70克氰化钾(KCN)50克氯化钠(NaCl)30克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例3金属铟(In)100克无水氯化铟InCl3400克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)330克糊精80克氰化钾(KCN)50克氯化钠(NaCl)40克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例4金属铟(In)115克无水氯化铟InCl3385克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)340克糊精70克氰化钾(KCN)55克氯化钠(NaCl)35克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例5金属铟(In)120克无水氯化铟InCl3380克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)345克糊精65克氰化钾(KCN)45克氯化钠(NaCl)45克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例6金属铟(In)120克无水氯化铟InCl3340克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)350克糊精80克氰化钾(KCN)60克氯化钠(NaCl)50克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例7金属铟(In)70克无水氯化铟InCl3540克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)240克糊精75克氰化钾(KCN)40克氯化钠(NaCl)35克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例8金属铟(In)120克无水氯化铟InCl3540克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)150克糊精80克氰化钾(KCN)60克氯化钠(NaCl)50克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例9金属铟(In)80克无水氯化铟InCl3520克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)250克糊精70克氰化钾(KCN)45克氯化钠(NaCl)35克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例10金属铟(In)115克无水氯化铟InCl3525克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)180克糊精80克氰化钾(KCN)55克氯化钠(NaCl)45克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
实施例11金属铟(In)110克无水氯化铟InCl3510克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)200克糊精75克氰化钾(KCN)60克氯化钠(NaCl)45克取上述组分，混合成1000克的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液。
用本发明电镀时，要求溶液pH2.0～2.5，溶液温度(℃)40～60，电流密度(A/dm2)2.0～8.0。
权利要求
1.稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)60～120无水氯化铟InCl3340～540氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)150～350糊精60～80氰化钾(KCN)40～60氯化钠(NaCl)30～50。
2.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)90克无水氯化铟InCl3500克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)280克糊精60克氰化钾(KCN)40克氯化钠(NaCl)30克。
3.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)100克无水氯化铟InCl3400克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)330克糊精80克氰化钾(KCN)50克氯化钠(NaCl)40克。
4.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)115克无水氯化铟InCl3385克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)340克糊精70克氰化钾(KCN)55克氯化钠(NaCl)35克。
5.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)120克无水氯化铟InCl3380克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)345克糊精65克氰化钾(KCN)45克氯化钠(NaCl)45克。
6.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)120克无水氯化铟InCl3340克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)350克糊精80克氰化钾(KCN)60克氯化钠(NaCl)50克。
7.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)70克无水氯化铟InCl3540克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)240克糊精75克氰化钾(KCN)40克氯化钠(NaCl)35克。
8.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)120克无水氯化铟InCl3540克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)150克糊精80克氰化钾(KCN)60克氯化钠(NaCl)50克。
9.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)80克无水氯化铟InCl3520克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)250克糊精70克氰化钾(KCN)45克氯化钠(NaCl)35克。
10.如权利要求1所述的稀散金属氯化铟/氯化1-甲基-3-乙基咪唑体系电镀液，其特征在于稀散金属InCl3/EMIC体系电镀液(g·kg-1)的配方由以下组成金属铟(In)115克无水氯化铟InCl3525克氯化1-甲基-3-乙基咪唑(EMIC)180克糊精80克氰化钾(KCN)55克氯化钠(NaCl)45克。
全文摘要
稀散金属氯化铟/氯化1－甲基－3－乙基咪唑体系电镀液(g·kg
文档编号C25D3/54GK1766172SQ20051004740
公开日2006年5月3日 申请日期2005年10月14日 优先权日2005年10月14日
发明者田鹏, 黄涛, 张囝囡, 刘奂昕 申请人:田鹏