专利名称：一种电沉积装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电沉积装置，属于电共相沉积法生产微晶金属技术领域。
背景技术：
现有的一种用于电共相沉积的装置，包括阴极和阳极，阴极上工件的沉积厚度随时间变化不断增加，从而改变阴极与阳极之间的距离，改变电阻，也改变阴极上工件的沉积速度。从而在生产上，只能依经验公式在一个大致稳定的盐溶液环境和电场环境下通过时间和电流密度控制工件沉积速度和厚度。因为是定性判断，往往很难准确判断工件所需的厚度，且难以控制。
发明内容为克服现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种可以准确控制工件沉积厚度的电沉积装置。所采用的技术方案为一种电沉积装置，包括阴极、阳极、位置传感器、工控机和高频电源，所述位置传感器与工控机连接，所述工控机与高频电源连接，所述高频电源分别与阴极和阳极连接。所述位置传感器为非接触式位置传感器。采用上述方案后，工作时，在阴极和阳极之间为盐溶液，工件上的阴极随时间沉积金属层，厚度慢慢增加，从而使阴极的高度发生变化，非接触式位置传感器感应到阴极位置的变化，转化成信号传送给工控机，工控机根据阴极上厚度的变化适时调整高频电源的输出电流来达到控制工件生产厚度的目的。
图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型做进一步的阐述。参见图1，一种电沉积装置，包括阴极、阳极、位置传感器、工控机和高频电源，位置传感器与工控机连接，工控机与高频电源连接。阳极为阳极组，高频电源分别与阴极、阳极连接，位置传感器可为接触式位置传感器，一端与工件连接，另一端与工控机连接，本实用新型优选为非接触式位置传感器，置于阴极旁，便于在生产中使用。工控机有一操作界面，包括控制按钮，用于控制高频电源。工作时，在阴极和阳极之间为盐溶液，与高频电源构成回路。工件上的阴极随时间沉积金属层，厚度慢慢增加，从而使阴极的高度发生变化，非接触式位置传感器感应到阴极位置的变化，转化成信号传送给工控机，工控机根据阴极上厚度的变化适时调整高频电源的输出电流，如当达到需要的高度在工控机时，就断掉电源，取出工件，从而达到控制工件生产厚度的目的 。
权利要求1.一种电沉积装置，包括阴极与阳极，其特征在于还包括位置传感器、工控机和高频电源，所述位置传感器与工控机连接，所述工控机与高频电源连接，所述高频电源分别与阴极和阳极连接。
2.如权利要求I所述的一种电沉积装置，其特征在于所述位置传感器为非接触式位置传感器。
专利摘要本实用新型公开了一种电沉积装置，包括阴极、阳极、非接触式位置传感器、工控机和高频电源，所述位置传感器与工控机连接，所述工控机与高频电源连接，所述高频电源分别与阴极和阳极连接。本实用新型可以准确控制工件的沉积厚度。
文档编号C25D21/12GK202465935SQ20112051995
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月14日 优先权日2011年12月14日
发明者黄林崎 申请人:福建通途金属结构有限公司