本发明涉及在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的电镀锌装置以及电镀锌方法的技术。
背景技术
以往，与进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜或镀锌合金覆膜的处理的电镀锌装置以及电镀锌方法有关的技术是公知的(参照专利文献1)。
所述电镀锌装置具备前处理部和镀敷处理部。
在所述电镀锌装置中，前处理部进行通过碱液脱脂等来去除被镀敷品的表面的油脂的处理(脱脂处理)、以及通过使用盐酸等的酸洗或电解脱脂等来去除被镀敷品的表面的氧化物的处理(基底调整)等。
此外，在所述电镀锌装置中，镀敷处理部例如由筒式电镀锌装置构成，在将实施脱脂处理以及基底调整后的被镀敷品容纳在筒内的状态下，使用电镀液来对该被镀敷品的表面进行镀敷处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-4080号公报
发明所要解决的问题
然而，在所述电镀锌装置中，在前处理部，在脱脂处置、基底调整等之后，分别需要对被镀敷品进行水洗处理。
这样，在所述电镀锌装置中存在如下的问题：当在前处理部进行去除被镀敷品的表面的油脂或氧化物等的处理时，需要大量的清洗被镀敷品的水，会产生大量的(例如，每小时数百升)排水。
技术实现要素：
本发明是鉴于如上情况而完成的，其目的在于提供一种能够大幅度减少被镀敷品的水洗中所使用的水的排水量的电镀锌装置。
用于解决问题的方案
本发明所要解决的问题如上所述，接着对用于解决该问题的方案进行说明。
即，在方案1中，电镀锌装置进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理，其具备：前处理部，进行所述被镀敷品的表面的脱脂处理和基底调整；以及镀敷处理部，使用电镀液对实施所述脱脂处理以及所述基底调整后的被镀敷品的表面进行镀敷处理，所述前处理部通过向所述被镀敷品的表面喷射研磨剂来进行所述被镀敷品的表面的基底调整。
在方案2中，所述前处理部使用规定的溶剂来进行所述被镀敷品的表面的脱脂处理。
在方案3中，所述前处理部通过使用有机溶剂溶解所述被镀敷品的表面的油脂来进行脱脂处理。
在方案4中，具备：水处理部，使在所述镀敷处理部使用于被镀敷品的清洗后的水分离为水和废弃物，并将该分离出的水作为用于所述被镀敷品的清洗的水供给至所述镀敷处理部。
在方案5中，电镀锌方法进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理，其具备：进行所述被镀敷品的表面的脱脂处理的工序；进行所述被镀敷品的表面的基底调整的工序；以及使用电镀液对实施所述脱脂处理以及所述基底调整后的被镀敷品的表面进行镀敷处理的工序，在进行所述被镀敷品的表面的基底调整的工序中，通过向实施所述脱脂处理后的被镀敷品的表面喷射研磨剂来进行所述被镀敷品的表面的基底调整。
在方案6中，在进行所述被镀敷品的表面的脱脂处理的工序中，使用规定的溶剂来进行所述被镀敷品的表面的脱脂处理。
发明效果
作为本发明的效果，实现了以下所示的效果。
即，根据本发明，能够大幅度减少被镀敷品的水洗中所使用的水的排水量。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式的电镀锌装置的框图。
图2是表示本发明的实施方式的电镀锌装置的动作的流程图。
图3是表示本发明的实施方式的电镀锌装置的框图。
图4是表示本发明的实施方式的电镀锌装置的框图。
附图标记说明：
1电镀锌装置
2前处理部
3镀敷处理部
4后处理部
5水处理部
6中间槽
7脱脂处理部
8基底调整部
10上游槽
11镀敷槽
12回收槽
13水洗槽
30回收水箱
31蒸馏装置
32再生水箱
33过滤器
具体实施方式
接着，使用图1至图4，对本发明的实施方式的电镀锌装置1以及电镀锌方法进行说明。
电镀锌装置1(电镀锌方法)进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理。在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，作为在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理，并不限定于通过锌来在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理，还包括通过锌合金来在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜(镀锌合金覆膜)的处理。
被镀敷品是由包含铁的金属材料构成的规定的构件。通过电镀锌装置1来形成镀锌覆膜的被镀敷品中有建筑用金属器件(例如，建筑用的金属制螺钉或建筑用的金属制接合构件等)。
如图1所示，电镀锌装置1具备：前处理部2、镀敷处理部3、后处理部4、水处理部5、以及中间槽(pit)6。
前处理部2进行去除被镀敷品的表面的油脂以及氧化物等的脱脂处理和基底调整。
在前处理部2中实施处理前的被镀敷品(例如，刚进货到镀敷工场的被镀敷品)的表面，形成有氧化物(氧化膜)，还附着有锈等。此外，在前处理部2中实施处理前的被镀敷品的表面，涂布有用于润滑、防锈的油脂。
前处理部2具备脱脂处理部7和基底调整部8。
前处理部2的脱脂处理部7使用规定的溶剂来进行去除被镀敷品的表面的油脂的处理(脱脂处理)。脱脂处理部7为非水系脱脂装置，通过使用有机溶剂溶解被镀敷品表面的油脂溶解来进行脱脂处理。在脱脂处理部7所使用的有机溶剂中，例如有二氯甲烷、三氯乙烯或四氯乙烯等氯系溶剂，或其他公知的烃类、酯类、醇类、氟类、或者溴类溶剂等。
前处理部2的基底调整部8进行实施脱脂处理后的被镀敷品的表面的基底调整。基底调整部8为喷射装置(例如，喷砂装置或喷丸装置等)，喷射由二氧化硅、氧化铝、钢球或钢制砂砾(grid)等构成的研磨剂来去除被镀敷品的表面的氧化物或锈等，由此进行被镀敷品的表面的基底调整。
镀敷处理部3使用电镀液对在前处理部2中实施脱脂处理以及基底调整后的被镀敷品的表面进行镀敷处理。
电镀液包含例如添加有光泽剂、氯化铵、氯化钾、以及氯化锌等的电镀液。
镀敷处理部3是筒式(barreltype)电镀锌装置，具备上游槽10、镀敷槽11、回收槽12、以及水洗槽13。每经过规定的时间，镀敷处理部3按照上游槽10、镀敷槽11、回收槽12、水洗槽13的顺序，使容纳有被镀敷品的筒(barrel)从上游侧向下游侧移动，在各槽内进行各种处理。
镀敷处理部3的上游槽10使用水来清洗附着于被镀敷品(在前处理部2去除了油脂以及氧化物等的被镀敷品)的表面的尘埃。上游槽10由贮有水的多连(二连)槽构成。
当筒从上游侧向下游侧移动过来而位于各上游槽10的上方时，会向下方移动而配置于上游槽10内。然后，筒在配置于上游槽10内的状态下旋转，由此通过水来清洗筒内的被镀敷品。
需要说明的是，上游槽10也可以由一个槽构成。
此外，上游槽10也可以采用使用稀盐酸或稀硝酸等表面活性剂来对被镀敷品的表面进行处理的构成，来代替使用水来清洗被镀敷品的构成。
此外，上游槽10也可以采用在使用水来清洗被镀敷品后使用表面活性剂来对被镀敷品的表面进行处理的构成。
镀敷处理部3的镀敷槽11对在上游槽10进行清洗后的被镀敷品实施镀敷处理。镀敷槽11由贮存电镀液的多连(10连)槽构成。
当筒从上游侧向下游侧移动过来而位于各镀敷槽11的上方时，会向下方移动而配置于镀敷槽11内。然后，筒在配置于镀敷槽11内的状态下旋转，由此对筒内的被镀敷品实施镀敷处理。
镀敷处理部3的回收槽12回收附着于在镀敷槽11实施镀敷处理后的被镀敷品的电镀液。当筒从上游侧向下游侧移动过来而位于回收槽12的上方时，会向下方移动而配置于回收槽12内。然后，在筒配置于回收槽12内的状态下，使筒的轴心处于倾斜规定的角度(例如，40度)的状态，来回收附着于被镀敷品的电镀液。
所回收的电镀液经由回流管20返回至镀敷槽11。回流管20连结于回收槽12和镀敷槽11。
需要说明的是，回收槽12也可以采用通过利用抽吸装置进行抽吸或使筒旋转等来回收附着于被镀敷品的电镀液的构成。
镀敷处理部3的水洗槽13清洗未被回收槽12回收而附着于被镀敷品的电镀液。水洗槽13由贮有水的多连(例如三连)槽(对流多级水洗)构成。
当筒从上游侧向下游侧移动过来而位于各水洗槽13的上方时，会向下方移动而配置于水洗槽13内。然后，筒在配置于水洗槽13内的状态下旋转，由此使用水来清洗筒内的被镀敷品。
需要说明的是，水洗槽13的最下游侧的槽也可以为了在水洗槽13的下游侧增强被镀敷品的清洗效果并且缩短干燥时间而采用贮存热水的构成。
后处理部4从筒中取出在镀敷处理部3结束了镀敷处理的被镀敷品，进行用于提高该被镀敷品的锌金属表面的耐腐蚀性的处理(例如，铬酸处理)和用于提高之后进行的涂覆工序中的该被镀敷品的涂膜粘合性的处理(例如，磷酸处理)等。
中间槽6形成于配置电镀锌装置1的平台下。
中间槽6回收并暂时储存在镀敷处理部3的上游槽10以及水洗槽13贮存的水(使用于被镀敷品的清洗的水)。此外，中间槽6回收并暂时储存贮存于在后处理部4进行铬酸处理后用于清洗的水洗槽的水或贮存于进行磷酸处理后用于清洗的水洗槽的水(被镀敷品的清洗中所使用的水)。
在镀敷处理部3的上游槽10以及水洗槽13所贮存的水经由回收管21被回收至中间槽6。回收管21连结于镀敷处理部3的上游槽10以及水洗槽13、中间槽6。
贮存于在后处理部4进行铬酸处理后用于清洗的水洗槽的水、或贮存于进行磷酸处理后用于清洗的水洗槽的水经由回收管22被回收至中间槽6。回收管22连结于在后处理部4进行铬酸处理后用于清洗的水洗槽或磷酸处理后用于清洗的水洗槽、中间槽6。
水处理部5进行贮存于中间槽6的水(被镀敷品的清洗中所使用的水)的处理。水处理部5具备：回收水箱30、蒸馏装置31(减压脱水处理装置)、以及再生水箱32。
贮存于中间槽6的水经由回收管23被回收至水处理部5的回收水箱30。回收管23连结于中间槽6和水处理部5。
水处理部5在蒸馏装置31以进行真空减压来降低沸点的状态对回收水箱30内的水(被镀敷品的清洗中所使用的水)进行蒸馏，分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物。在水处理部5，在蒸馏装置31分离出的水被储存至再生水箱32，脱水后的固体废弃物被废弃。
在水处理部5的再生水箱32所贮存的水经由供给管24被供给至镀敷处理部3的上游槽10或水洗槽13。供给管24连结于镀敷处理部3的上游槽10或水洗槽13、水处理部5的再生水箱32。
此外，在水处理部5的再生水箱32所贮存的水作为用于被镀敷品的清洗的水，经由供给管24被供给至后处理部4的铬酸处理后用于清洗的水洗槽、或磷酸处理后用于清洗的水洗槽。供给管24连结于后处理部4的铬酸处理后用于清洗的水洗槽、或磷酸处理后用于清洗的水洗槽。
在供给管24具备过滤器33(例如，活性炭过滤器)，贮存于中间槽6的水通过过滤器33过滤掉杂质后进行流通。
接着，对电镀锌装置1的在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理的一系列动作进行说明。
如图2所示，在电镀锌装置1中，在前处理部2的脱脂处理部7进行去除被镀敷品表面的油脂的处理(脱脂处理)(步骤s1)。
此时，在前处理部2的脱脂处理部7使用规定的溶剂来进行被镀敷品的表面的脱脂处理。例如，在前处理部2的脱脂处理部7，使用有机溶剂来溶解被镀敷品的表面的油脂，由此进行脱脂处理。
进行在前处理部2的脱脂处理部7去除被镀敷品的表面的油脂的工序后，进入步骤s2。
接着，在电镀锌装置1中，在前处理部2的基底调整部8进行实施脱脂处理后的被镀敷品的表面的基底调整(步骤s2)。
此时，在基底调整部8，喷射研磨剂来去除被镀敷品的表面的氧化物、锈等，由此进行被镀敷品的表面的基底调整。
进行在前处理部2的基底调整部8实施被镀敷品的表面的基底调整的工序后，进入步骤s3。
接着，在电镀锌装置1中，在镀敷处理部3使用电镀液对被镀敷品的表面进行镀敷处理(步骤s3)。
进行在镀敷处理部3使用电镀液对被镀敷品的表面进行镀敷处理的工序后，进入步骤s4。
接着，在电镀锌装置1中，在后处理部4进行用于提高被镀敷品的锌金属表面的耐腐蚀性的处理、以及用于提高之后进行的涂覆工序中的被镀敷品的涂膜粘合性的处理等(步骤s4)。
在电镀锌装置1中，进行在后处理部4实施用于提高被镀敷品的锌金属表面的耐腐蚀性的处理、以及用于提高之后进行的涂覆工序中的被镀敷品的涂膜粘合性的处理等的工序后，结束此动作。
这样，在电镀锌装置1中进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理。
如上所述，在前处理部2(前处理部2的脱脂处理部7)使用规定的溶剂来进行被镀敷品的表面的脱脂处理的电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在前处理部2不需要分别进行碱液脱脂后的水洗以及电解脱脂后的水洗，无排水地进行去除被镀敷品的表面的油脂的处理。因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理时，能够大幅度减少被镀敷品的水洗中所使用的水的排水量(从每小时数百升减少至数十升)。
此外，因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，不需要碱液脱脂后的水洗中所使用的水的排水设备以及电解脱脂后的水洗中所使用的水的排水设备等，能够将排水设备设为廉价的构成。
如上所述，在前处理部2(前处理部2的脱脂处理部7)通过使用有机溶剂溶解被镀敷品的表面的油脂来进行脱脂处理的电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在前处理部2不需要分别进行碱液脱脂后的水洗以及电解脱脂后的水洗，无排水地进行去除被镀敷品的表面的油脂的处理。
因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理时，能够大幅度减少被镀敷品的水洗中所使用的水的排水量(从每小时数百升减少至数十升)。
此外，因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，不需要碱液脱脂后的水洗中所使用的水的排水设备以及电解脱脂后的水洗中所使用的水的排水设备等，能够将排水设备设为廉价的构成。
如上所述，在前处理部2(前处理部2的基底调整部8)通过向实施脱脂处理后的被镀敷品的表面喷射研磨剂来进行被镀敷品的表面的基底调整的电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在前处理部2不需要进行使用盐酸等的酸洗后的水洗，无排水地进行去除被镀敷品的表面的氧化物的处理。
因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理时，能够大幅度减少被镀敷品的水洗中所使用的水的排水量(从每小时数百升减少至数十升)。
此外，因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，不需要使用盐酸等的酸洗后的水洗中所使用的水的排水设备，能够将排水设备设为廉价的构成。
如上所述，在前处理部2(前处理部2的脱脂处理部7以及基底调整部8)通过使用有机溶剂溶解被镀敷品的表面的油脂来进行脱脂处理、并通过向实施脱脂处理后的被镀敷品的表面喷射研磨剂来进行被镀敷品的表面的基底调整的电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在前处理部2不需要分别进行碱液脱脂后的水洗、使用盐酸等的酸洗后的水洗、以及电解脱脂后的水洗，无排水地进行去除被镀敷品的表面的油脂以及氧化物等的处理。
因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，在进行在被镀敷品的表面形成镀锌覆膜的处理时，能够大幅度减少被镀敷品的水洗中所使用的水的排水量(从每小时数百升减少至数十升)。
此外，因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，不需要碱液脱脂后的水洗中所使用的水的排水设备、电解脱脂后的水洗中所使用的水的排水设备、以及使用盐酸等的酸洗后的水洗中所使用的水的排水设备等，能够将排水设备设为廉价的构成。
此外，因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，除了大幅度减少整体的排水量以外，无需进行含有碱液脱脂剂、乳化的油脂成分、以及酸洗中所使用的盐酸等和被它们溶解的金属的水的处理，因此，能够将水处理部5设为小型。
此外，如上所述，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，由于前处理部2(前处理部的基底调整部8)是通过向实施脱脂处理后的被镀敷品的表面喷射研磨剂来进行被镀敷品的表面的基底调整，而不进行酸洗，所以能够使镀敷处理部3的镀敷槽11(镀敷槽11或镀敷槽11内的电镀液)处于未被铁离子等污染的状态。就是说，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，由于在前处理部2(前处理部的基底调整部8)不进行酸洗，所以不需要投入ph调整剂(氨、过氧化氢等)来从镀敷槽11的电镀液中去除铁离子。
此外，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，由于在前处理部2(前处理部的基底调整部8)不进行酸洗，所以能够减少在作业环境产生臭气的情况从而改善作业环境，此外，能够防止设备、建筑物等被酸腐蚀。
此外，如上所述，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，前处理部2(前处理部的脱脂处理部7)通过使用有机溶剂溶解被镀敷品的表面的油脂来进行脱脂处理，而不进行电解脱脂，因此，能够降低在实施镀敷处理后的被镀敷品产生氢蚀脆性的风险。
此外，如上所述，在水处理部5对在镀敷处理部3使用于被镀敷品的清洗后的水进行蒸馏，使水(再生水)和固体废弃物分离，并将该分离出的水(再生水)作为用于被镀敷品的清洗的水供给至镀敷处理部3的上游槽10或水洗槽13的电镀锌装置1(电镀锌方法)中，对在镀敷处理部3使用于被镀敷品的清洗后的水进行再利用，不需要进行该被镀敷品的清洗中所使用的水的处理以排放(排水)。
因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，无需为了满足预计将会逐渐变严格的被镀敷品的清洗中所使用的水的排水标准而导入高价的排水处理设备。
此外，如上所述，在水处理部5对在后处理部4使用于被镀敷品的清洗后的水进行蒸馏，使水(再生水)和固体废弃物分离，并将该分离出的水(再生水)作为用于被镀敷品的清洗的水供给至后处理部4的铬酸处理后用于清洗的水洗槽、或磷酸处理后用于清洗的水洗槽的电镀锌装置1(电镀锌方法)中，对在后处理部4使用于被镀敷品的清洗后的水进行再利用，不需要进行该被镀敷品的清洗中所使用的水的处理以排放(排水)。
因此，在电镀锌装置1(电镀锌方法)中，无需为了满足预计将会逐渐变严格的被镀敷品的清洗中所使用的水的排水标准而导入高价的排水处理设备。
如图3所示，电镀锌装置1也可以采用具备前处理部2、镀敷处理部3、后处理部4、以及水处理部5，而不具备中间槽6的构成。
水处理部5与贮存所回收的水的槽(所回收的水的量)对应地具备多个回收水箱30。水处理部5按贮存所回收的水的槽(所回收的水的量)具备回收水箱30。水处理部5具备：回收贮存于镀敷处理部3的上游槽10的水的回收水箱30a、回收贮存于镀敷处理部3的水洗槽13的水的回收水箱30b、以及回收贮存于后处理部4的水洗槽的水的回收水箱30c。
贮存于镀敷处理部3的上游槽10的水经由回收管25被回收至水处理部5的回收水箱30a。回收管25连结于镀敷处理部3的上游槽10、水处理部5的回收水箱30a。
贮存于镀敷处理部3的水洗槽13的水经由回收管26被回收至水处理部5的回收水箱30b。回收管26连结于镀敷处理部3的水洗槽13、水处理部5的回收水箱30b。
贮存于后处理部4的铬酸处理后用于清洗的水洗槽的水、或贮存于磷酸处理后用于清洗的水洗槽的水经由回收管27被回收至水处理部的回收水箱30c。回收管27连结于后处理部4的进行铬酸处理后用于清洗的水洗槽或进行磷酸处理后用于清洗的水洗槽、水处理部5的回收水箱30c。
这样，水处理部5按贮存所回收的水的槽(所回收的水的成分)具备回收水箱30(回收水箱30a、30b、30c)，因此，与从多个槽将水回收至一个回收水箱30来进行处理相比，能够容易且可靠地进行在蒸馏装置31以进行真空减压来降低沸点的状态对回收水箱30内的水(被镀敷品的清洗中所使用的水)进行蒸馏而分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物的处理。
电镀锌装置1的水处理部5也可以采用如下构成：不利用共同的蒸馏装置31、再生水箱32或过滤器33等分别对在镀敷处理部3使用并回收的水和在后处理部4使用并回收的水进行处理，而是分别单独地进行得到再生水的处理。
如图4所示，水处理部5具备：回收水箱30a、30b、30c；蒸馏装置31a、31c；再生水箱32a、32c；以及过滤器33a、33c。
贮存于镀敷处理部3的上游槽10的水被回收至水处理部5的回收水箱30a，贮存于镀敷处理部3的水洗槽13的水被回收至水处理部5的回收水箱30b，贮存于后处理部4的铬酸处理后用于清洗的水洗槽的水、或贮存于磷酸处理后用于清洗的水洗槽的水被回收至水处理部的回收水箱30c。
水处理部5在蒸馏装置31a中使回收水箱30a、30b内的水(使用于被镀敷品的清洗后的水)分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物。在水处理部5，在蒸馏装置31a分离出的水被储存至再生水箱32a，并通过过滤器33a来过滤掉杂质，供给至镀敷处理部3的上游槽10或水洗槽13、后处理部4的铬酸处理后用于清洗的水洗槽或磷酸处理后用于清洗的水洗槽。
此外，水处理部5在蒸馏装置31c中使回收水箱30c内的水(使用于被镀敷品的清洗后的水)分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物。在水处理部5，在蒸馏装置31c分离出的水被储存至再生水箱32c，并通过过滤器33c来过滤掉杂质，供给至镀敷处理部3的上游槽10或水洗槽13、后处理部4的铬酸处理后用于清洗的水洗槽或磷酸处理后用于清洗的水洗槽。
这样，水处理部5在不同的蒸馏装置31a、31c分别对在镀敷处理部3使用的水和在后处理部4使用的水进行蒸馏而分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物，并将该蒸馏出的水分别储存于不同的再生水箱32a、32c中，并在不同的过滤器33a、33c中过滤掉杂质，供给至镀敷处理部3或后处理部4等，因此，与利用一个蒸馏装置31对在镀敷处理部3使用的水和在后处理部4使用的水进行蒸馏，并将该蒸馏出的水储存于一个再生水箱32，在一个过滤器33中过滤掉杂质的装置相比，能够容易且可靠地进行得到再生水的处理。
需要说明的是，水处理部5也可以采用在共同的蒸馏装置31(例如，蒸馏装置31a)中使回收水箱30a、30c内的水分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物的构成。此时，水处理部5采用在其他蒸馏装置31(例如，蒸馏装置31c)中使回收水箱30b内的水分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物的构成。
此外，水处理部5也可以采用在共同的蒸馏装置31(例如，蒸馏装置31a)中使回收水箱30b、30c内的水分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物的构成。此时，水处理部5采用在其他蒸馏装置31(例如，蒸馏装置31c)中使回收水箱30a内的水分离为水(再生水)和脱水后的固体废弃物的构成，或采用不经由蒸馏装置31(蒸馏装置31c)而直接使回收水箱30a内的水在过滤器33(过滤器33c)中流通的构成。
通过这样构成，与利用一个蒸馏装置31对在镀敷处理部3的上游槽10使用的水、在镀敷处理部3的水洗槽13使用的水、以及在后处理部4的水洗槽使用的水进行蒸馏，并将该蒸馏出的水储存于一个再生水箱32，在一个过滤器33中过滤掉杂质的装置相比，能够容易且可靠地进行得到再生水的处理。