专利名称：涡旋干式真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种涡旋干式真空泵，尤其是针对由于变形不同而对动、 静盘之间的配合间隙进行修正的涡旋干式真空泵。
背景技术：
涡旋干式真空泵是从涡旋式压缩机演化而来属于干式机械真空泵的分支， 按工作方式分属于回转式容积泵，是近年来开发出的一种新型干式真空泵。上
个世纪90年代初，世界上首台涡旋真空泵推出市场，开始作为一种新型真空获 得技术在世界范围内得到推广应用。到目前为止，世界上涡旋干式真空泵的生 产主要集中在德国、美国、曰本的少数厂家，以曰本的岩田(Anest Iwata)、美 国的瓦里安(Var ian)和德国的普熙(Busch)为代表。涡旋干式真空泵在工作过程 中动盘的曲线齿在静盘的曲线齿槽内做平动，曲线齿之间形成月牙压缩腔从而 使气体逐级向中心压缩。压缩过程中，气体放热，磨擦过程中也产生热量，热 量将会传递给动、静盘而引起发热，由于静盘端面有风扇冷却，而动盘在中间， 所以动盘的温度高于静盘，从而动盘的曲线齿变形量大于静盘的变形量，对静 盘的曲线越在外面的曲线变形量越大，而且铝的热膨胀系数也是很大，因此对 动、静盘曲线外端曲线进行修正，解决动、静盘不同变形后之间的配合问题， 降低磨擦优化性能，也使泵在工作时，降低运行噪声。
实用新型内容
为了克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种P争低磨擦、优化性能、 低噪声的涡旋干式真空泵。
为了达到上述目的，本实用新型的涡旋干式真空泵，包括相对设置并分别 由底盘和设置在底盘上的涡旋状曲线齿构成的静盘和动盘，动盘曲线齿在所述 静盘曲线齿槽内平动，其中，所述动盘曲线齿形线与静盘曲线齿形线为相互配合的渐开线，其特征在于，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线和/或动盘曲线齿 外端面齿形渐开线分别至少由两段曲线连接构成，由内向外依次为渐开线段、
渐开线偏移^:。
特别是，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线和/或动盘曲线齿外端面齿形渐 开线还包括渐开线平移段，由内向外依次为渐开线段、渐开线平移段、渐开线 偏移段首尾连接构成。
其中，所述动盘曲线齿外端面齿形渐开线偏移^:由以动盘曲线齿外端面齿 形渐开线为基线向内偏移获得，所述动盘曲线齿外端面齿形渐开线平移段由以 动盘曲线齿外端面齿形渐开线为基线向上偏移获得。
进一步地，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线偏移段由以静盘曲线齿内端 面齿形渐开线为基线向外偏移获得，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线平移段 由以静盘曲线齿内端面齿形渐开线为基线向下偏移获得。
特别是，所述的偏移或平移距离在0. 08-0. 15mm之间。
其中，渐开线偏移段和渐开线平移段共同构成齿形渐开线外段，所述静盘 曲线齿内端面齿形渐开线外段和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线外段所对圓 心角为180度。
上述的结构，由于静盘和/或动盘的曲线齿齿形渐开线得到l'务正，所述的渐 开线平移段和渐开线偏移段共同构成修正段，修正段较渐开线段在此位置的延 长部分产生的变量用于补偿因动静盘曲线齿外段由于具体形状结构和材质以及 自身温度等不同条件导致热变形不一致所需空间，这样。有效降低动静盘曲线 齿面之间的摩擦，同时也降低了真空泵运行过程中的噪音，延长了泵的寿命。
图1为本实用新型具体实施例的结构示意图。
图2为本实用新型具体实施例的动盘曲线齿形结构示意图。图3为图2具体形成参考示意图。 图4为图3中A局部;故大示意图。 图5为图3中B局部;故大示意图。 图6为图3中C局部放大示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
如图l所示，本实用新型的涡旋干式真空泵，包括相对设置并分别由底盘和 设置在底盘上的涡旋状曲线齿构成的静盘和动盘3,动盘曲线齿在所述静盘曲线 齿槽内平动，其中，所述动盘与静盘曲线齿形为相互配合的渐开线，静盘包括 上静盘1、下静盘2，动盘3设置在曲轴4上并随曲轴一起转动，还包括防止动 盘产生自转的防自转机构5,静盘固定在机架的周边上，在静盘的周边上开有吸 气口 6,在动盘和静盘涡旋中心部开有排气口，气体由进气口进入静盘和动盘组 成的月牙腔内，动盘随着曲轴的回转以偏心量R作半径绕静盘中心作^H争运动。 动盘还受防自转机构的约束，不能自转，始终保持着一种固定的姿势，其中心 绕涡旋静盘的中心作半径为R的圆周运动，气体随静盘和动盘形成的月牙腔逐 渐向涡旋中心移动最终通过排气口排出产生真空，所述静盘曲线齿内端面齿形
渐开线和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线分别由两段曲线连接构成，由内向外 依次为渐开线段13和渐开线偏移段。
上述的结构，涡旋千式真空泵在工作过程中动盘的曲线齿在静盘的曲线齿 槽内做平动，曲线齿之间形成月牙压缩腔从而使气体逐级向中心压缩。压缩过 程中，气体放热，磨擦过程中也产生热量，热量将会传递给动、静盘而引起发 热，由于静盘端面有风扇冷却，而动盘在中间，所以动盘的温度高于静盘，从 而动盘的曲线齿变形量大于静盘的变形量，对静盘的曲线越在外面的曲线变形 量越大，而且铝的热膨胀系数也是很大，本实用新型的结构由于静盘和/或动盘 的曲线齿齿形渐开线由内向外分别为渐开线段和渐开线偏移段构成，所述渐开
5线偏移段构成修正段，修正段较渐开线段13在此位置的延长部分产生的变量用 于补偿因动静盘曲线齿外段由于具体形状结构和材质以及自身温度等不同条件 导致热变形不一致所需空间，这样。有效降低动静盘曲线齿面之间的摩擦，同 时也降低了真空泵运行过程中的噪音，延长了泵的寿命。
所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线分 别由三段曲线连接构成(图2为动盘曲线齿形示意图)，由内向外依次为渐开线 段13、渐开线平移段12和渐开线偏移段11首尾连接构成。渐开线平移段12和 渐开线偏移段ll共同构成修正段，此结构动静盘之间摩擦更小，噪音更低，效 果更加显著。
作为本实用新型的优选实施方式，如图3-6所示，所述动盘曲线齿外端面 齿形渐开线偏移段11由以动盘曲线齿外端面齿形渐开线10、 13为基线向内偏 移获得偏移曲线8，所述动盘曲线齿外端面齿形渐开线平移IS: 12由以动盘曲线 齿外端面齿形渐开线IO、 13为基线向上平移获得平移曲线7,偏移曲线8与平 移曲线7相交，平移曲线7与渐开线13相交，去除曲线相交点不需要的曲线， 完成修正，修正后的曲线由基线(渐开线段13)、平移曲线(渐开线平移段12) 和偏移曲线(渐开线偏移段ll)三段组成。
另一种优选实施方式，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线偏移段由以静盘 曲线齿内端面齿形渐开线为基线向外偏移获得，所述静盘曲线齿内端面齿形渐 开线平移段由以静盘曲线齿内端面齿形渐开线为基线向下偏移获得。
经大量试验证明，上述的偏移或平移距离在0. 08-0. 15mm之间效果最佳。 其中，渐开线偏移段和渐开线平移段共同构成齿形渐开线外段，所述静盘曲线 齿内端面齿形渐开线外段和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线外段所对圆心角 为180度。
本实用新型不局限于上述实施方式，不论在其形状或结构上做任何变化， 凡是利用上迷的涡旋干式真空泵都是本实用新型的一种变形，均应认为落在本 实用新型保护范围之内。
权利要求1、一种涡旋干式真空泵，包括相对设置并分别由底盘和设置在底盘上的涡旋状曲线齿构成的静盘和动盘，动盘曲线齿在所述静盘曲线齿槽内平动，其中，所述动盘曲线齿形线与静盘曲线齿形线为相互配合的渐开线，其特征在于，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线分别至少由两段曲线连接构成，由内向外依次为渐开线段、渐开线偏移段。
2、 如权利要求1所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述静盘曲线齿内 端面齿形渐开线和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线还包括渐开线平移段，由内 向外依次为渐开线段、渐开线平移段、渐开线偏移段首尾连接构成。
3、 如权利要求2所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述动盘曲线齿外 端面齿形渐开线偏移段由以动盘曲线齿外端面齿形渐开线为基线向内偏移获 得，所述动盘曲线齿外端面齿形渐开线平移段由以动盘曲线齿外端面齿形渐开 线为基线向上偏移获得。
4、 如权利要去3所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述静盘曲线齿内 端面齿形渐开线偏移段由以静盘曲线齿内端面齿形渐开线为基线向外偏移获 得，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线平移段由以静盘曲线齿内端面齿形渐开 线为基线向下偏移获得。
5、 如权利要求3或4所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述的偏移或 平移距离在0. 08-0. 15mm之间。
6、 如权利要求5所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，渐开线偏移段和渐 开线平移段共同构成齿形渐开线外段，所述静盘曲线齿内端面齿形渐开线外段 和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线外>^所对圆心角为180度。
专利摘要本实用新型公开了一种涡旋干式真空泵，为解决现有技术中噪音大、磨损严重等问题而发明。本实用新型的涡旋干式真空泵包括相对设置并分别由底盘和设置在底盘上的涡旋状曲线齿构成的静盘和动盘，动盘曲线齿在所述静盘曲线齿槽内平动，动盘曲线齿形线与静盘曲线齿形线为相互配合的渐开线，静盘曲线齿内端面和/或动盘曲线齿外端面齿形渐开线分别至少由两段曲线连接构成，由内向外依次为渐开线段和渐开线偏移段。由于静盘和/或动盘的曲线齿齿形渐开线得到修正，偏移段构成修正段，修正段较渐开线段在此位置的延长部分产生的变量用于补偿因动静盘曲线齿外段热变形不一致所需空间，降低动静盘曲线齿面之间摩擦，降低泵运行过程中噪音，延长泵寿命。
文档编号F04C25/02GK201428596SQ20092010678
公开日2010年3月24日 申请日期2009年4月10日 优先权日2009年4月10日
发明者仝太前, 郑荣禧, 林 陈 申请人:川北科技(北京)有限公司