专利名称：铝制真空泵腔体改进结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空泵，尤其是铝制真空泵腔体改进结构。
背景技术：
现有的涡旋干式真空泵，为了保证动、静盘接触表面的耐磨性以及硬度， 并使齿形具有一定韧性，在泵动盘与静盘之间旋转运动磨擦时不会掉粉末，需 要对动、静盘表面进行工艺处理，普遍对动静盘相对的表面进行阳极氧化铝处 理形成硬质氧化铝层，以增加表面硬度、优化摩擦面的耐磨性，但是硬质氧化 铝层表面存在微小孔，较粗糙，达不到光洁度要求，动静表面对着进行磨擦时， 会产生很大的热量，微小孔增大泵腔体内的气体泄漏，直接影响了泵能达到的 真空度，并且在高速的磨擦时会产生很大的热量，会造成泵体的温度上升，所 以单一增加硬度是还不够的，还需要在表面处理完具有一定润滑效能，来减小
表面工作时磨擦造成的热量，控制泵体工作的温度，现有技术一般采用在动静 盘硬质阳极氧化铝层表面设置一层聚四氟乙烯层作为润滑剂降低摩擦表面的温 度，但是聚四氟乙烯层作为摩擦接触面硬度无法达到使用要求，在泵动盘与静 盘之间旋转运动磨擦时同样会掉粉末，污染真空环境。
实用新型内容
为了克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种真空度高、环境清洁 的铝制真空泵腔体改进结构。
为了达到上述目的，本实用新型的铝制真空泵腔体改进结构，包括铝制泵 腔，所述铝制泵腔的内表面层为硬质阳极氧化铝层和填充设置在所述硬质阳极 氧化铝层表面的聚四氟乙烯层，所述硬质阳极氧化铝层表面有多个微孔，其中 所述聚四氟乙烯层密封填充设置在所述^f敬孔内。
3其中，所述聚四氟乙烯层呈分离状。
特别是，所述硬质阳极氧化铝层与聚四氟乙烯层的厚度偏差小于或等于
0. 008mm
上述的结构，由于泵腔的内表面层由硬质阳极氧化铝层和聚四氟乙烯层共 同构成，硬质阳极氧化铝层较硬，耐磨性好；密封填充设置在阳极氧化铝层微 孔内的聚四氟乙烯层，防止气体通过微孔泄露，增强泵腔的密封效果，真空度 得到提高，并且起到固体润滑剂的作用，降低摩擦表面的温度，既满足了硬度 要求又满足了润滑要求。
图1为本实用新型具体实施例的结构示意图。 图2为本实用新型具体实施例的局部剖面结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
如图1、图2所示，本实用新型的铝制真空泵腔体改进结构，包括相对设置 并分别由底盘和设置在底盘上的涡旋状曲线齿构成的静盘和动盘3,动盘曲线齿 设置在所述静盘曲线齿槽内，静盘包括上静盘l、下静盘2，动盘3设置在曲轴 4上并随曲轴一起转动，还包括防止动盘产生自转的防自转机构5，静盘固定在 机架的周边上，在静盘的周边上开有吸气口 6，在动盘和静盘涡旋中心部开有排 气口，动盘和静盘相对面形成气体压缩腔(由铝制成)，气体由进气口进入所述 压缩腔内，动盘随着曲轴的回转以偏心量R作半径绕静盘中心作公转运动。动 盘还受防自转机构的约束，不能自转，始终保持着一种固定的姿势，其中心绕 涡旋静盘的中心作半径为R的圆周运动，气体随静盘和动盘形成的月牙腔逐渐 向涡旋中心移动最终通过排气口排出产生真空，所述动盘和静盘形成气体压缩 腔的表面层为硬质阳极氧化铝层10和填充设置在所述硬质阳极氧化铝层表面的 聚四氟乙烯层20,所述硬质阳极氧化铝层表面有多个微孔，其中所述聚四氟乙
4烯层密封填充设置在所述微孔内。
上述的结构，由于构成气体压缩腔(泵腔)的动静盘接触表面由硬质阳极
氧化铝层和聚四氟乙烯层共同构成，硬质阳极氧化铝层较硬，耐磨性好；密封 填充设置在阳极氧化铝层微孔内的聚四氟乙烯层，防止气体通过微孔泄露，增 强泵腔的密封效果，真空度得到提高，并且起到固体润滑剂的作用，降低摩擦 表面的温度，既满足了硬度要求又满足了润滑要求。用聚四氟乙烯通过封闭的 方法来填充动盘和静盘表面存在的微小孔，表面的光洁度大大地提高，聚四氟 乙烯本身具有高润滑(摩擦系数极小)、密封性能好，起着润滑和密封的效果， 从而解决了泵体内两磨擦面在工作时的温度及密封性能，硬质阳极氧化铝的硬 度较高，在工作时表面不会掉粉末，能产生洁净的真空。即耐磨，又降低磨擦 系数，密封性能也得到提高，减小泵的工作温度，提高泵的使用寿命。
其中，所述聚四氟乙烯层20呈分离状。本文的分离状是指由若干独立且彼 此分离的聚四氟乙烯颗粒按照动盘或静盘的表面形状分散排列，并且同一区域 内的颗粒上表面在一个面上(当然根据阳极氧化铝层表面的微孔的不同分布， 构成所述的聚四氟乙烯层的聚四氟乙烯颗粒还可以为相互连接在一起的网状整 体)，不同于现有技术中聚四氟乙烯层为一密封层，整个附着在阳极氧化铝层表 面，直接作为摩擦面，耐磨性较差，容易在摩擦作用下产生聚四氟乙烯粉末， 造成真空污染；此结构的聚四氟乙烯层由于独立填充在阳极氧化铝层表面的微 孔内，并且，表面高度与所述的阳极氧化铝层表面高度一致，所以从剖面图看 来呈分离状，部分摩擦面为聚乙烯层，部分摩擦面为阳极氧化铝层。
进一步地，所述硬质阳极氧化铝层与聚四氟乙烯层的厚度偏差小于或等于 0. 008mm。理论上光洁度越高，密封效果越好，石更质阳极氧化铝层摩擦力越小， 聚四氟乙烯层的润滑效果越好。但是现有的设备和工艺条件有限，硬质阳极氧 化铝层与聚四氟乙烯层共同处在一个绝对光滑面上还有难度，现实中成本较高， 得不偿失，所以将其厚度偏差控制在一个范围内较为合理，经试验证明在极限 偏差不大于0. 008mm的情况下密封性能、摩擦力状况以及润滑效果和温度控制
5均能达到良好状态，现有的制造设备和工艺条件又不难实现，性价比较高。
当然，本实用新型适用范围较广，不仅仅适用于干式真空泵(图1所示为 涡旋干式真空泵)，也适用于其他结构形式的真空泵。
本实用新型不局限于上述实施方式，不论在其形状或结构上做任何变化， 凡是利用上述的铝制真空泵腔体改进结构都是本实用新型的一种变形，均应认 为落在本实用新型保护范围之内。
权利要求1、一种铝制真空泵腔体改进结构，其特征在于，包括铝制泵腔，所述铝制泵腔的内表面层为硬质阳极氧化铝层和填充设置在所述硬质阳极氧化铝层表面的聚四氟乙烯层，所述硬质阳极氧化铝层表面有多个微孔，其中所述聚四氟乙烯层密封填充设置在所述微孔内。
2、 如权利要求1所述的铝制真空泵腔体改进结构，其特征在于，所述聚四氟乙烯层呈分离状。
3、 如权利要求1或2所述的铝制真空泵腔体改进结构，其特征在于，所述硬质阳极氧化铝层与聚四氟乙烯层的表面厚度偏差小于或等于0. 00Smm。
专利摘要本实用新型公开了一种铝制真空泵腔体改进结构，为解决现有技术中真空环境污染、运行温度高等问题而发明。包括铝制泵腔，所述铝制泵腔的内表面层为硬质阳极氧化铝层和填充设置在所述硬质阳极氧化铝层表面的聚四氟乙烯层，所述硬质阳极氧化铝层表面有多个微孔，其中所述聚四氟乙烯层密封填充设置在所述微孔内。用聚四氟乙烯填充泵腔内表面存在的微孔，泵腔内表面的光洁度大大提高，聚四氟乙烯润滑好(摩擦系数极小)、密封性能好，解决了泵体内两摩擦面在工作时温升及泄露，硬质阳极氧化铝的硬度较高，在摩擦时表面不会掉粉末，产生洁净真空。既耐磨，摩擦系数又低，密封性能也高，降低泵工作温度，提高真空泵的使用寿命。
文档编号F04C18/02GK201428601SQ20092010678
公开日2010年3月24日 申请日期2009年4月10日 优先权日2009年4月10日
发明者仝太前, 郑荣禧, 林 陈 申请人:川北科技(北京)有限公司