专利名称：双级混合式罗茨真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种双级混合式罗茨真空泵，属于泵技术领域。
背景技术：
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式真空泵，罗茨泵的泵腔中，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为I的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。罗茨泵在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，需要有一台前级真空泵与之串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨泵允许入口压力时，罗茨泵才能开始工作。但由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，压差小，大约在200(T5000Pa，因此需要配功率大的前级真空泵，能耗很大。除上述外，为了提高泵的极限真空度，通常选择将多台罗茨泵串联使用，但这样既会占用较大空间，又容易出现管路的连接 泄露点，因此罗茨泵的利用效率低、成本高。
实用新型内容根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构紧凑、占用空间小、成本低且能耗低的双级混合式罗茨真空泵。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是所述的双级混合式罗茨真空泵，包括电机、联轴器、前盖、后盖和泵体，其特征在于泵体中设置中间隔板和一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴，电机通过联轴器与主动转子轴相连，主动转子轴通过同步齿轮与从动转子轴连接，泵体由中间隔板分隔成前、后两个腔室，中间隔板上设有连接通道，每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上，后腔室上设有冷气进口，后腔室的排气口连接换热器的进口，换热器的出口通过返气管路与后腔室的冷气进口连通。本真空泵中，前腔室相当于一级普通罗茨真空泵，后腔室连接换热器形成气冷罗茨真空泵，通过将一级罗茨真空泵与气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，且结构紧凑、占用空间小；两腔室之间内部连接，减少了两泵之间连接管路的泄漏量，提高了机组的性能指标，并有利于机组的制作与维护，大大降低了使用成本；后腔室连接换热器，能够带走大量的压缩热，对真空泵起到很好的冷却效果，使压差大大增大，通常能够达到2000(T80000Pa，因此只需配备功率小、充气量小的前级泵，能耗小，从而达到良好的节能效果。在本实用新型中，由于前腔室和后腔室中会存在压差，因此采用如下优选方案在前腔室排气口在前腔室排气口与后腔室进气口间气路上的任意位置与前腔室的进气口之间设置压差阀。通过压差阀将部分气体返回大前腔室中，直至前、后腔室的压力保持平衡。本实用新型所具有的有益效果是本真空泵将一级罗茨真空泵与气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，结构紧凑、占用空间小，既提高了泵的极限真空度，又使泵体的内部结构得以优化，減少了两泵之 间连接管路的泄漏量，提高了机组的性能指标和工作效率，降低了功耗，同时有利于机组的制作与维护，降低了生产使用成本；通过在后腔室连接换热器，増大了压差，配备功率小、气量小的前级泵即可，能耗小，节能效果明显。
图I是本实用新型的结构示意图；图2是图I中泵体的结构示意图。图中1、联轴器；2、前盖；3、泵体；4、压差阀；5、后盖；6、排气ロ ；7、返气管路；8、换热器；9、主动转子轴；10、轴承；11、转子；12、连接通道；13、中间隔板；14、转子；15、同步齿轮；16、同步齿轮；17、从动转子轴；18、转子；19、后腔室；20、前腔室；21、转子；22、冷气进ロ。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例做进ー步描述如图1、2所示，双级混合式罗茨真空泵，包括电机、联轴器I、前盖2、5和泵体3，泵体3中设置中间隔板13和ー对平行安装的主动转子轴9从动转子轴17，电机通过联轴器I与主动转子轴9相连，主动转子轴9通过同步齿轮15、16与从动转子轴17连接，泵体3由中间隔板13分隔成前、后两个腔室20、19，中间隔板13上设有连接通道12，前腔室20中设置一对转子11、21，转子11和转子21相互垂直且分别安装在主动转子轴9和从动转子轴17上，后腔室19中设置ー对转子14、18，转子14和转子18相互垂直且分别安装在主动转子轴9和从动转子轴17上，后腔室19上设有冷气进ロ 22，后腔室19的排气ロ 6连接换热器8的进ロ，换热器8的出口通过返气管路7与后腔室19的冷气进ロ 22连通。除上述外，在前腔室排气ロ与后腔室进气ロ间气路上的任意位置与前腔室的进气ロ之间设置压差阀4。本真空泵中，前腔室20相当于ー级罗茨真空泵，后腔室19连接换热器8形成气冷罗茨真空泵，通过将ー级罗茨真空泵与气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，且结构紧凑、占用空间小；两腔室之间内部连接，減少了两泵之间连接管路的泄漏量，提高了机组的性能指标，并有利于机组的制作与维护，大大降低了使用成本；后腔室19连接换热器8，能够带走大量的压缩热，对真空泵起到很好的冷却效果，使压差大大增大，通常能够达到2000(T80000Pa，因此只需配备功率小、充气量小的前级泵，能耗小，从而达到良好的节能效果。
权利要求1.一种双级混合式罗茨真空泵，包括电机、联轴器(I)、前盖(2)、后盖(5)和泵体(3)，其特征在干泵体(3)中设置中间隔板(13)和ー对平行安装的主动转子轴(9)、从动转子轴(17)，电机通过联轴器(I)与主动转子轴(9)相连，主动转子轴(9)通过同步齿轮(15、16)与从动转子轴(17)连接，泵体(3)由中间隔板(13)分隔成前、后两个腔室，中间隔板(13)上设有连接通道(12)，每个腔室中设置ー对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴(9)和从动转子轴(17)上，后腔室(19)上设有冷气进ロ(22)，后腔室(19)的排气ロ(6)连接换热器(8)的进ロ，换热器(8)的出口通过返气管路(7)与后腔室(19)的冷气进ロ(22)连通。
2.根据权利要求I所述的双级混合式罗茨真空泵，其特征在于在前腔室排气ロ与后腔室进气ロ间气路上的任意位置与前腔室的进气ロ之间设置压差阀(4)。
专利摘要本实用新型属于泵技术领域，具体涉及一种双级混合式罗茨真空泵，包括电机、联轴器、前盖、后盖和泵体，泵体中设置中间隔板和一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴，电机通过联轴器与主动转子轴相连，主动转子轴通过同步齿轮与从动转子轴连接，泵体由中间隔板分隔成前、后两个腔室，中间隔板上设有连接通道，每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上，后腔室上设有冷气进口，后腔室的排气口连接换热器的进口，换热器的出口通过返气管路与后腔室的冷气进口连通。本真空泵将一级罗茨真空泵与气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，结构紧凑、占用空间小且能耗小，节能效果明显。
文档编号F04C23/00GK202646011SQ201220281760
公开日2013年1月2日 申请日期2012年6月14日 优先权日2012年6月14日
发明者张汝华, 韩强, 刘延海, 李晓芳 申请人:淄博华中真空设备有限公司