一种微流路芯片系列微器件的结构的制造方法与工艺

技术特征：
1.一种微流路芯片系列微器件的结构，其特征在于：所述微器件为微泵，由两个微阀和一个微活塞结合而成；每个微阀包括一个气体通道和三个液体通道，气体通道的一端接气体，气体通道的另一端通过一个逐渐变窄的微通道和中间一个液体通道的一端连通，该微通道的两侧再分别通过一个逐渐变窄的微通道和两个液体通道的一端连通，中间液体通道的另一端和一侧液体通道的另一端合并为进液口，另一侧液体通道的另一侧为出液口；微活塞包括一个气体通道和一个液体通道，气体通道的一端接气体，气体通道的另一端通过一个逐渐变窄的微通道和液体通道的中段连通，液体通道的一端与一个微阀的出液口连接而另一端与另一个微阀的进液口连接。