高极限真空的高速扩散泵的制作方法

技术特征：

1.高极限真空的高速扩散泵，其特征在于，包括泵体，位于泵体外面、底部的加热器，泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管，泵体内设有输油管，输油管上从上至下设有至少三级喷嘴，所述喷嘴形状为伞帽形，伞帽形喷嘴的下表面上设有若干个和喷嘴一体成型的间隔设置的凸条。

2.根据权利要求1所述的高极限真空的高速扩散泵，其特征在于，所述凸条与喷嘴的下表面以平滑曲线过渡，凸条以竖直轴为中心呈锥状均匀分布在喷嘴下表面；所述喷嘴的喷射角为50°~75°。

3.根据权利要求1或2所述的高极限真空的高速扩散泵，其特征在于，所述加热器包括呈倒 “冂”字形的铸铁板、不锈钢套管和加热丝；所述铸铁板内设有不锈钢套管，所述不锈钢套管内装有所述加热丝，所述不锈钢套管内填充有氧化镁粉，所述加热丝均匀分布在倒 “冂”字形的铸铁板的水平板及竖直板内。

4.根据权利要求3所述的高极限真空的高速扩散泵，其特征在于，倒 “冂”字形的铸铁板的水平板内的不锈钢套管的顶端与铸铁板通过铜制传热柱固定相连，倒 “冂”字形的铸铁板的竖直板内的不锈钢套管的面向泵体外壁的一端通过铜制传热柱与铸铁板固定相连。

5.根据权利要求4所述的高极限真空的高速扩散泵，其特征在于，所述不锈钢套管的外表面套设设有缺口的绝热材料，缺口的形状为不影响铜制传热柱与不锈钢套管相连。

6.根据权利要求4或5所述的高极限真空的高速扩散泵，其特征在于，泵体的侧壁上固定设有风扇，风扇位于泵体底壁的泵油液面之上。