扩散泵扩散器结构的制作方法

文档序号:11907347阅读:214来源:国知局

本实用新型涉及扩散泵领域,具体的是一种扩散泵扩散器结构



背景技术:

谐振器就是指产生谐振频率的电子元件,常用的分为石英谐振器和陶瓷谐振器、起产生频率的作用,具有稳定,抗干扰性能良好的特点,广泛应用于各种电子产品中,石英谐振器的频率精度要高于陶瓷谐振器,但成本也比陶瓷谐振器高。谐振器重要起频率控制的作用,所有电子产品涉及频率的发射和接收都需要谐振器。

谐振器晶体在加工过程中,因为需要进行微调产品频率而实用扩散器,使其得到需要的频率值,所以扩散泵的性能将直接影响谐振器晶体的品质以及生产的效率。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术的不足,提供了一种扩散泵扩散器结构。

本实用新型采用的技术方案为:

扩散泵扩散器结构,包括扩散泵的扩散器,扩散器由喇叭管和直管连接而成,其特征在于:

所述扩散器的喇叭管与直管连接处的喇叭管一侧侧壁由倾斜设置的平板构成、形成导流板;连接处的直管的两端外拐角处呈45°设置;直管的内壁上设有若干倾斜设置的导向板,每一个导向板下方的直管管壁上均设有一个转动安装的平衡板。

所述的扩散泵扩散器结构,其特征在于:

所述直管内设置的平衡板的外壁与直管管壁不接触。

所述的扩散泵扩散器结构,其特征在于:

所述平衡板内部设有减重腔,两侧或者周围设有平衡配重。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:

本实用新型结构设计巧妙、合理,可以有效的降低扩散泵排出的气体损失的能量,导向板在起到导向作用的同时可以吸收扩散泵油,降低扩散泵油被排出的量,提高扩散泵的性能。

附图说明:

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式:

下面结合附图,通过实施例对本实用新型作进一步详细说明:

扩散泵扩散器结构,包括扩散泵的扩散器,扩散器由喇叭管1和直管2连接而成,扩散器的喇叭管1与直管2连接处的喇叭管1一侧侧壁由倾斜设置的平板构成、形成导流板3;连接处的直管2的两端外拐角处呈45°设置;直管2的内壁上设有若干倾斜设置的导向板4,每一个导向板4下方的直管管壁上均设有一个转动安装的平衡板5。

直管2内设置的平衡板5的外壁与直管2管壁不接触。

平衡板5内部设有减重腔,两侧或者周围设有平衡配重6。

上述实施例仅为本实用新型的较佳的实施方式,除此之外,本实用新型还可以有其他实现方式。需要说明的是,在没有脱离本实用新型构思的前提下,任何显而易见的改进和修饰均应落入本实用新型的保护范围之内。

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