专利名称：气阀装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气阀装置，主要为配置于半导体蚀刻薄膜制程的设备， 用以控制反应室内蚀刻气体的流量。
背景技术：
半导体的蚀刻薄膜技术有许多种，例如湿蚀刻、干蚀刻、电浆蚀刻、化学
气相沉积(CVD, Chemical Vapor Deposition)、物理气相沉积(PVD， Physical Vapor Deposition)、气体蚀刻等方式。气体对半导体的蚀刻薄膜反应过程中，当 气体导入反应室前必须经由气阀装置控制流量，若该气阀装置受感知后反应驱 动运转的速度不及，则容易造成蚀刻薄膜反应气体(例如氟化氢等气体)外泄导 致接口设备腐蚀等危害，或者造成反应室内气体不均等现象。
公知运转气阀装置的驱动模组如图1所示，该驱动模组1包括马达10透过 皮带11横向带动减速机构12及联轴器13,透过联轴器13的末端驱使所连结 的阀体14的闽门15运转启闭；由于这种皮带ll传动方式易造成寿命短、精度 差、磨耗大、更换不易与调整难度高等问题，而导致制程的瑕疵及设备成本的 增加，必须加以改善。
再者，由于皮带传动的行程长，致反应时间较长，更易形成如前述蚀刻反 应气体外泄导致接口设备腐蚀等危害，或者造成反应室内气体不均等现象。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种耐用、反应快且使用安全的气阀 装置。
为实现上述目的，本实用新型主要包括间体及驱动模组，该驱动模组连接 于阀体的底端用以驱动阀体运行。所述驱动模组依序包括马达，行星式齿轮减速机及联轴器，以轴向直结方式串联，该联轴器末端连结有阀体。
本实用新型的气阀装置，改善以上先前技术在应用上所产生的缺失，以行
星式齿轮减速机取代传统的皮带传动方式，并与马达及联轴器间以轴向直结方
式连动，其不仅可以改善皮带传动所形成的弊端，更可以加速阀体的反应时间，
以解决蚀刻反应气体外泄，或者反应室内气体不均等问题。
至于本实用新型的详细内容及其它技术特征，则请参考以下所举的实施方
式及相关附图所述。
图1为公知气阀装置的结构示意图2为本实用新型的气闽装置所属驱动模组的结构示意图3为本实用新型的驱动模组所属行星式齿轮减速机主要结构示意图4为本实用新型的行星式齿轮减速机连结马达的输入端结构示意图。
附图标记说明
驱动模组1马达10
皮带11减速机构12
联轴器13闽体14
闽门15
驱动模组2马达20
行星齿轮减速机21联轴器22
固定板23转轴24
第一载板25第一直立式支架26
散热片27第二直立式支架28
第二载板29马达轴心201
太阳齿轮210行星齿轮211
内齿轮212减速机轴心213行星式齿轮减速机与马达连结的输入端 214 感应器 3
简夹 4 壁面 40
长条孔 41 螺栓 具体实施方式
如图2所示，本实用新型的气阀装置，主要是配置于半导体蚀刻薄膜制程 的设备，用以控制反应室内蚀刻气体的流量。
所述装置包括阀体(该阀体的型式请参考图1所示，与该公知阀体相同故未 再予揭露)及驱动模组2,所述驱动模组2连接于阀体用以控制并驱动阀体的启 闭。
所述驱动模组2依序包括马达20,行星式齿轮减速机21及联轴器22,以 轴向直结方式串联运转并控制联轴器22末端连结的阀体产生启闭动作。
所述行星式齿轮减速机21被定位在固定板23上，如图3所示，该行星式 齿轮减速机21具有由马达20带动的太阳齿轮210，太阳齿轮210的外缘透过 一个或一个以上平均配置的行星齿轮211与内齿轮212啮合，借由该内齿轮212 旋转带动减速机的轴心213运转，使相对于马达20的转速产生减速作用并提供 相对大的转矩来启闭前述阀体。
行星式齿轮减速机21的轴心213穿出前述固定板23与联轴器22直结，联 轴器22相对端连结转轴24用以驱动阀体的运行。如图2所示，阀体配置在第 一载板25上，第一载板25与固定板23之间以一个或一个以上第一直立式支架 26撑持，且固定板23定位行星式齿轮减速机21的邻侧连结散热片27以供应 所述驱动模组2散热。另外，在第一载板25与固定板23之间，透过第二直立 式支架28轴向支撑第二载板29,第二载板29用以承载感应器3，感应器3的 线路连接于马达20,在感应器3接收到信号后启动马达20运转或停止。
请同时参考图4，行星式齿轮减速机21与马达20连结的输入端214内部以中空式简夹4固定在该输入端214。筒夹4相邻所述行星式齿轮减速机21的 输入端214的一侧的壁面40开设有一个或一个以上对称的长条孔41,使简夹4 在该侧受力后得产生弹性变形；由此，在行星式齿轮减速机21对应所述简夹4 的外部以螺栓5锁入，当接触到简夹4外壁后持续施压使该行星式齿轮减速机 21与马达20轴心201确实锁定，以确保高输入转速下结合接口以同心度和零 背隙动力传动。
由上述，可以发现本实用新型气阀装置的驱动模组2所属组件都以轴向直 结方式串联运转，其不仅反应的时间相对短于传统的皮带式传动，且改善以皮 带传动所造成寿命短、精度差、磨耗大、更换不易与调整难度髙等缺失，而增 进实用的功效。但是，以上前述仅为本实用新型的较佳实施方式，不能以此限 定本实用新型的权利范围。只要所属技术领域中普通技术人员依本实用新型的 精神所作的等效修饰或变化，均仍涵盖于后附的申请专利范围内。
权利要求1、一种气阀装置，为配置于半导体蚀刻薄膜制程的设备，用以控制反应室内蚀刻薄膜气体的流量，该装置包括阀体及驱动模组，所述驱动模组连接于阀体，用以控制并驱动阀体的启闭；其特征在于驱动模组依序包括马达，行星式齿轮减速机及联轴器，以轴向直结方式串联，该联轴器末端连结有阀体。
2、 如权利要求l所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿轮减速机包 括由马达带动的太阳齿轮，太阳齿轮的外缘透过一个或一个以上平均配置的行 星齿轮与内齿轮啮合，借由该内齿轮旋转带动减速机的轴心运转。
3、 如权利要求2所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿轮减速机的 轴心与联轴器直结，联轴器相对端连结转轴用以驱动阀体的运行。
4、 如权利要求3所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿轮减速机被 定位在固定板上，其轴心穿出所述固定板。
5、 如权利要求4所述的气阀装置，其特征在于，所述固定板定位行星式齿 轮减速机的邻侧连结散热片。
6、 如权利要求4所述的气阀装置，其特征在于，所述阀体配置在第一载板 上，第一载板与固定板之间以一个或一个以上第一直立式支架撑持，在第一载 板与固定板之间，透过第二直立式支架轴向支撑第二载板，第二载板载有感应 器。
7、 如权利要求l、 2、 3或4所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿 轮减速机与马达连结的输入端内部以中空式筒夹固定在该输入端，简夹相邻所 述行星式齿轮减速机输入端的一侧的壁面开设有一个或一个以上对称的长条 孔，并在行星式齿轮减速机对应所述简夹的外部以螺栓锁入。
专利摘要一种气阀装置，包括阀体及驱动模组，该驱动模组连接于阀体用以驱动其运行。所述驱动模组依序包括马达，行星式齿轮减速机及联轴器，以轴向直结方式串联运转，并带动联轴器末端连结的阀体产生启闭动作。
文档编号F16K31/04GK201149119SQ20072017688
公开日2008年11月12日 申请日期2007年9月27日 优先权日2007年9月27日
发明者林庆东, 黄世舟 申请人:贯旭企业有限公司