专利名称：升降装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及设备的附属装置，特别涉及一种半导体硅片加工设备的升降装置。
背景技术：
半导体硅片加工设备在进行维护时，若是逐个装拆零件会增大工作量，降低效率， 所以有时需要将某些部件整体移开，比如光刻机在工作一段时间以后，掩膜台的承版台和投影物镜上部的镜片需进行擦洗清理等维修维护工作，此时为了给要进行的维修维护工作留有足够的工作空间，需要将光刻机中的照明顶部模块移开，进一步使掩膜台能够升起并横向移走，使投影物镜上部镜片全部暴露在外，为要进行的维修维护工作留有足够的工作空间。目前，将光刻机的照明顶部模块整体移开的安装维护机构大多采用起升旋转结构，所述起升旋转结构的底部需要有足够刚度的支撑结构以及其上部需要较大的活动空间，而针对光刻机本身的机型体积大小，若给起升旋转结构的上部留有较大的旋转活动空间则间接地增大了光刻机的空间占用率；此外，起升旋转结构采用手动回转方式工作，自动化程度低。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种升降装置，以解决现有技术中起升旋转结构空间占用率高、自动化程度低的问题。本实用新型提供一种升降装置，设置于设备部件内，所述升降装置包括蜗轮、蜗杆、丝杆、支撑架、启动元件以及升降控制单元，所述启动元件与所述蜗轮连接，所述蜗杆与所述丝杆啮合，所述蜗轮与所述蜗杆啮合并设置在所述支撑架内，所述支撑架固定在所述丝杆上，所述升降控制单元与所述启动元件连接。优选地，升降控制单元包括控制箱以及与所述控制箱连接的传感器，所述控制箱与所述启动元件连接。优选地，所述控制箱内包括变频器以及与变频器连接的集成电路控制板卡。优选地，所述升降控制单元还包括手持式线控盒，所述手持式线控盒与所述控制箱连接。优选地，所述升降装置还包括导轨和滑块，所述滑块与所述丝杆啮合并与所述设备部件固定连接，所述滑块由所述丝杆带动沿所述导轨滑动。优选地，所述启动元件通过齿形带与所述蜗轮连接。优选地，所述丝杆的数量为两个，所述蜗杆的两端分别与两个丝杆啮合。优选地，所述启动元件是交流电机。优选地，所述支撑架包括有支撑臂，所述支撑臂的数量为两个。优选地，所述蜗轮与所述蜗杆为一体传动机构。[0015]由于采用了以上技术方案，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点本实用新型提供的升降装置通过蜗轮、蜗杆带动丝杆运动，由于支撑架固定在所述丝杆上，从而使设置在支撑架上的设备部件完成提升或下降作业，所述提升或下降作业占用垂直空间，大大节省了水平空间的占用率。在整个作业过程中，升降控制单元为启动元件提供停止和减速信号，防止在提升或下降突然停止时对设备部件产生冲击而损害设备部件，整个升降过程自动化程度高。进一步地，所述升降装置包括导轨和滑块，使滑块由丝杆带动沿导轨滑动，进而带动设备部件上下移动，能够稳定设备部件的升降。另外，所述升降控制单元的手持式线控盒可以在操作升降装置时离开一定的距离，方便观察升降装置周围的情况。
参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式
以后，将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中，图1为本实用新型实施例提供的升降装置的结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。本实用新型提供的升降装置通过蜗轮、蜗杆带动丝杆运动，由于支撑架固定在所述丝杆上，从而使设置在支撑架上的设备部件完成提升或下降作业，所述提升或下降作业占用垂直空间，大大节省了水平空间的占用率。在整个作业过程中，升降控制单元为启动元件提供停止和减速信号，防止在提升或下降突然停止时对设备部件产生冲击而损害设备部件。整个升降过程自动化程度高。图1为本实用新型实施例提供的升降装置的结构示意图。参照图1，升降装置设置于设备部件内，所述升降装置包括蜗轮11、蜗杆12、丝杆13、支撑架14、启动元件15以及升降控制单元(图中未示出)，所述启动元件15与所述蜗轮11连接，所述蜗杆12与所述丝杆13啮合，所述蜗轮11与所述蜗杆12啮合并设置在所述支撑架14内，所述支撑架14固定在所述丝杆13上，所述升降控制单元与所述启动元件15连接。在本实施例中，所述丝杆13的数量为两个，所述蜗杆12的两端分别与两个丝杆13 啮合。所述蜗杆12同时驱动两个丝杆13运动。所述支撑架14包括有支撑臂141，所述支撑臂141的数量为两个。当然，上述丝杆13以及支撑臂141的数量并不用于限定本实用新型，本领域技术人员可以根据需要移动的具体设备部件，设置符合机械结构以及力学要求的丝杆13和支撑臂141的数量。具体地，所述升降控制单元包括控制箱(图中未画出)以及与所述控制箱连接的传感器(图中未画出)，所述控制箱与所述启动元件15连接。所述控制箱内包括变频器以及与变频器连接的集成电路控制板卡。与所述控制箱连接的传感器检测设备部件的行程位置，当设备部件接近行程终点时，控制箱内的变频器驱动启动元件15，使设备部件在接近行程终点时减速运行，防止设备部件受到冲击。[0026]在本实施例中，所述设备部件为光刻机中的顶部照明模块，在对掩膜台的承版台和投影物镜上部的镜片进行擦洗清理等维修维护工作之前，利用本实用新型实施例提供的升降装置将顶部照明模块提升，为后续的维修维护工作做准备，在维修维护工作完成后，再利用本实用新型实施例提供的升降装置将顶部照明模块降至提升前的位置。进一步地，所述升降控制单元还包括手持式线控盒(图中未示出)，所述手持式线控盒和所述控制箱连接。利用手持式线控盒操控所述控制箱，可以在操作升降装置时离开一定的距离，方便观察升降装置周围的情况。进一步地，所述升降装置还包括导轨17和滑块18，所述滑块18与所述丝杆13啮合并与所述设备部件固定连接，所述滑块18由所述丝杆13带动沿所述导轨17滑动，进而使滑块18带动设备部件上下移动。所述升降装置设置的导轨17和滑块18能够稳定设备部件的升降。在本实施例中，所述启动元件15通过齿形带16与所述蜗轮11连接。所述齿形带 16带动蜗轮11转动，本领域的普通技术人员应该理解，所述启动元件15不仅仅可以通过齿形带16与所述蜗轮11连接，还可以是其他的传动媒介。在本实施例中，所述启动元件15是交流电机，所述交流电机连接有滤波器，本领域的普通技术人员应该理解，所述启动元件15不仅仅局限为交流电机，还可以是其他的动力源。在利用本实用新型提供的升降装置来提升光刻机中的顶部照明模块时，由于初始条件下，升降装置设置在光刻机中，具体地，所述光刻机中的顶部照明模块位于两个支撑臂 141上，首先松开升降装置固定于光刻机中的螺栓19，启动交流电机，使连接在交流电机上的齿形带16转动，所述齿形带16与涡轮11啮合，因此整个蜗轮11、蜗杆12传动装置转动， 而所述丝杆13与蜗杆12啮合，当丝杆13向上转动时，丝杆13驱动滑块18沿导轨17向上滑动，由于滑块18与顶部照明模块固定连接，因此滑块18带动顶部照明模块向上移动。在利用升降装置提升顶部照明模块的过程中，与所述控制箱连接的传感器检测顶部照明模块的行程位置，并由集成电路控制板卡根据顶部照明模块的行程位置调整其提升速度，并由控制箱内的变频器驱动交流电机，使顶部照明模块的运行过程为启动、加速、勻速、减速、停止。具体地，在顶部照明模块经历减速以及停止的过程中，即顶部照明模块接近行程终点时，控制箱内的变频器驱动交流电机，使顶部照明模块在接近行程终点时减速运行，防止顶部照明模块受到冲击。提升顶部照明模块后进行维修维护工作，而维修维护工作完毕后，照明顶部模块需要复位，此时，启动交流电机，使连接在交流电机上的齿形带16反方向转动，因此整个蜗轮11、蜗杆12传动装置也反方向转动，进一步使丝杆13向下转动，最终使顶部照明模块向下移动。当顶部照明模块下落至终点时，拧紧螺栓19使升降装置固定于光刻机中。进一步地，所述丝杆13具有自锁功能，对于升降过程中的意外断电，升降装置可以原位停止而不会由于自身重量与设备部件的压力作用而下坠。综上所述，本实用新型提供的升降装置通过蜗轮、蜗杆带动丝杆运动，由于支撑架固定在所述丝杆上，从而使设置在支撑架上的设备部件完成提升或下降作业，所述提升或下降作业占用垂直空间，大大节省了水平空间的占用率。在整个作业过程中，升降控制单元为启动元件提供停止和减速信号，防止在提升或下降突然停止时对设备部件产生冲击而损
5害设备部件。整个升降过程自动化程度高。 上文中，参照附图描述了本实用新型的具体实施方式
。但是，本领域中的普通技术人员能够理解，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以对本实用新型的具体实施方式
作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本实用新型权利要求书所限定的范围内。
权利要求1.一种升降装置，设置于设备部件内，其特征在于，包括蜗轮、蜗杆、丝杆、支撑架、启动元件以及升降控制单元，所述启动元件与所述蜗轮连接，所述蜗杆与所述丝杆啮合，所述蜗轮与所述蜗杆啮合并设置在所述支撑架内，所述支撑架固定在所述丝杆上，所述升降控制单元与所述启动元件连接。
2.如权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述升降控制单元包括控制箱以及与所述控制箱连接的传感器，所述控制箱与所述启动元件连接。
3.如权利要求2所述的升降装置，其特征在于，所述控制箱内包括变频器以及与变频器连接的集成电路控制板卡。
4.如权利要求2所述的升降装置，其特征在于，所述升降控制单元还包括手持式线控盒，所述手持式线控盒与所述控制箱连接。
5.如权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括导轨和滑块，所述滑块与所述丝杆啮合并与所述设备部件固定连接，所述滑块由所述丝杆带动沿所述导轨滑动。
6.如权利要求1至5中任一项的升降装置，其特征在于，所述启动元件通过齿形带与所述蜗轮连接。
7.如权利要求1至5中任一项的升降装置，其特征在于，所述丝杆的数量为两个，所述蜗杆的两端分别与两个丝杆啮合。
8.如权利要求1至5中任一项的升降装置，其特征在于，所述启动元件是交流电机。
9.如权利要求1至5中任一项的升降装置，其特征在于，所述支撑架包括有支撑臂，所述支撑臂的数量为两个。
10.如权利要求1至5中任一项的升降装置，其特征在于，所述蜗轮与所述蜗杆为一体传动机构。
专利摘要本实用新型提供了一种升降装置，设置于设备部件内，所述升降装置包括蜗轮、蜗杆、丝杆、支撑架、启动元件以及升降控制单元，启动元件与蜗轮连接，蜗杆与丝杆啮合，蜗轮与蜗杆啮合并设置在支撑架内，支撑架固定在丝杆上，升降控制单元与启动元件连接。本实用新型提供升降装置通过蜗轮、蜗杆带动丝杆运动，由于支撑架固定在所述丝杆上，从而使设置在支撑架上的设备部件完成提升或下降作业，提升或下降作业占用垂直空间，大大节省了水平空间的占用率。在整个作业过程中，升降控制单元为启动元件提供停止和减速信号，防止在提升或下降突然停止时对设备部件产生冲击而损害设备部件。整个升降过程自动化程度高。
文档编号F16H37/02GK202007097SQ20112009251
公开日2011年10月12日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者张志钢, 李平欣, 程德胜, 谢仁飚 申请人:上海微电子装备有限公司