专利名称：直动引导装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如适用于清洁环境中的直动引导装置。
背景技术：
作为以往的一般的直动引导装置，公知例如图5所示的装置。图5所示的直动引导轴承装置具备沿轴向延伸的导轨101 ;和能够沿轴向相对移动地跨架在导轨101上的滑动件102。在导轨101的两侧面分别形成有沿轴向延伸的滚动体滚动槽103，在滑动件102的滑动件主体102A，在其两个突出部(突出部)104的内侧面分别形成有与滚动体滚动槽103对置的滚动体滚动槽107。并且，作为滚动体的一个例子的多个滚珠B滚动自如地装填在这些彼此面对的两个滚动体滚动槽103、107之间，滑动件102经由这些滚珠B的滚动而能够在导轨101上沿轴向相对移动。夹装在导轨101与滑动件102之间的滚珠B随着滑动件102的移动而滚动并向滑动件102的端部移动，为了使滑动件102沿轴向继续移动，必须使这些滚珠B能够无限循环。因此，在滑动件主体102A的突出部104内形成沿轴向贯通的滚动体通道108，并且，经由例如螺钉112等固定构件分别将大致-字状的端盖105固定于滑动件主体102A的两端，在该端盖105形成方向转换路106，所述方向转换路106连通两个滚动体滚动槽103、107之间与滚动体通道108，且弯曲成半圆弧状，由此，形成了滚动体无限循环轨道。此外，在滑动件102的轴向两端，与端盖105—起固定有经由螺钉112固定的一对侧密封部件111。设置各侧密封部件111是用于抑制来自直动引导装置的尘埃。侧密封部件111与端盖105同样地形成为大致-字状，其内周部形成为与导轨101滑动接触的密封面，侧密封部件111例如通过将橡胶与钢板烧结粘接而形成。另外，在图5中，标号110是形成于滑动件主体102A的端面的螺钉112的螺孔，标号113是供油管接头，标号114是导轨101固定用的螺栓贯穿插入孔。另一方面，作为用于真空环境用直动引导装置的侧密封部件，例如已知图6所不的侧密封部件(参考专利文献I)。图6所示的侧密封部件211与端盖(未图示)一起经由螺钉215固定于滑动件主体(未图示)的端面。该侧密封部件211由交替地层叠的多张薄板状第一板212和第二板213、以及用于安装这些第一板212和第二板213的按压板214构成。在侧密封部件211的各第一板212、第二板213形成有开口 212a、213a，所述开口 212a、213a与导轨201 (参照图7)的外形形状匹配，在按压板214也形成有开口 214a，该开口 214a与导轨201的外形形状匹配。构成侧密封部件211的第一板212和第二板213的开口 212a、213a的大小比导轨101的外形形状大，在侧密封部件211与导轨201之间空出间隙。由此，侧密封部件211不会接触到导轨201，而是保持微小的间隙同时沿导轨201移动。对该间隙进行叙述，第二板213的开口 213a的形状比第一板212的开口 212a稍大，如图7所示，形成为第二板213与导轨201的间隙β比第一板212与导轨201的间隙α大的凹凸形状。这样，通过将侧密封部件211与导轨201的间隙形成为凹凸形状，当润滑油蒸发得到的气体流过侧密封部件211与导轨201之间时，与所述间隙形成为平面形状的情况相比，会产生更大的阻力，从而能够进一步抑制直动引导装置内部的润滑剂气化并漏到外部的情况。在先技术文献专利文献专利文献I :国际公开第2006/054439号
发明内容
发明要解决的课题
另外，在用于清洁环境的直动引导装置中，由于当直动引导装置内部的微小粒子穿过侧密封部件与导轨之间而产生尘埃时，会引起产品不良，因此，比通常的直动引导装置更追求对直动引导装置产生的尘埃的抑制。在现有的图6所示的用于真空环境用直动引导装置的侧密封部件211的情况下，由于在侧密封部件211与导轨201之间设有间隙，因此和侧密封部件与导轨接触的情况相比尘埃量少。此外，由于侧密封部件211由交替地层叠的多张薄板状的第一板212和第二板213构成，因此侧密封部件211较厚，微小粒子容易附着到侧密封部件211的间隙内侧，能够减少脱出到外部的微小粒子的量。由此，考虑将图6所示的侧密封部件211用于在清洁环境中使用的直动引导装置。然而，在图6所示的用于真空环境用直动引导装置的侧密封部件211的情况下，需要管理多张第一板212、第二板213与导轨201的间隙，该间隙量的管理是困难的。即，在将多张第一板212和第二板213重叠的时候，需要将各个板定位，然而实际上仅最外侧的板与导轨的间隙量能够通过目视或者塞尺来确认间隙，而内侧的板与导轨的间隙量无法确认。因此，本发明正是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种适于应用在清洁环境中的直动引导装置，侧密封部件与导轨之间的间隙量的管理容易，并且能够减少微小粒子脱出到侧密封部件的外部的量。用于解决课题的手段为了达成上述目的，本发明的一个方式涉及的直动引导装置具备导轨，其具有沿轴向延伸的滚动体滚动槽；滑动件，其具有与该导轨的所述滚动体滚动槽对置的滚动体滚动槽,且该滑动件以能够通过插入于这两个滚动体滚动槽之间的多个滚动体的滚动而沿轴向相对移动的方式跨架于所述导轨；和侧密封部件，其以相对于所述导轨设有预定的间隙量的方式安装于所述滑动件的轴向端部，该直动引导装置的特征在于，所述侧密封部件一体地构成，并且所述侧密封部件的沿所述轴向的厚度是所述间隙量的25倍 140倍。此外，优选的是，在该直动引导装置中，所述侧密封部件的与所述导轨相对的对置面由平坦面形成，所述间隙量沿所述轴向恒定。发明效果根据本发明涉及的直动引导装置，由于侧密封部件一体地构成，因此能够进行管理以使侧密封部件整体成为相同的间隙量，能够容易地进行侧密封部件与导轨之间的间隙量的管理。并且，由于侧密封部件的沿轴向的厚度是间隙量的25倍 140倍，因此侧密封部件的轴向厚度较厚，微小粒子容易附着在间隙内侧，能够减少通过间隙脱出到外部的微小粒子的量，能够减少整体的尘埃量。由此，能够形成适用于清洁环境中的直动引导装置。若侧密封部件的沿轴向的厚度小于间隙量的25倍的话，侧密封部件的轴向厚度较薄，微小粒子难以附着在间隙内侧，无法减少通过间隙脱出到外部的微小粒子的量。另一方面，若侧密封部件的沿轴向的厚度大于间隙量的140倍的话，侧密封部件的轴向厚度过厚，存在着滑动件的行程量(可动范围)大幅地减少的不良情况。此外，在该直动引导装置中，若所述侧密封部件的与所述导轨相对的对置面沿轴向由平坦面形成，所述间隙量沿所述轴向恒定，这样的话，不仅能够容易地进行侧密封部件与导轨之间的间隙量的管理，而且能够进一步减少通过间隙脱出到外部的微小粒子的量。在如专利文献I那样将侧密封部件与导轨之间的间隙形成为凹凸形状的情况下，需要使微小粒子进入到凹部(槽部)的深处而附着，存在着未附着的微小粒子飞到侧密封部件外的可能性。通过将侧密封部件的与导轨相对的对置面由平坦面形成，能够在侧密封部件与导轨的间隙整体使微小粒子附着，能够进一步减少通过间隙脱出到外部的微小粒子的量。
图I是示出本发明的直动引导装置的实施方式的立体图。图2是用于说明图I所示的直动引导装置的侧密封部件的作用的剖视示意图。图3是用于说明图I所示的直动引导装置的侧密封部件的轴向厚度形成得较薄的情况的作用的剖视图。图4是对由本发明例与比较例的侧密封部件的轴向厚度的不同引发的尘埃量进行比较的图表。图5是示出现有的直动引导装置的一个例子的立体图。图6是用于现有的真空环境用直动引导装置的侧密封部件的分解立体图。图7是示出图6所示的侧密封部件与导轨的关系的图。
具体实施例方式下面，参照附图对本发明的直动引导装置的实施方式进行说明。图I所示的直动引导装置I涉及例如适于应用在半导体制造装置、液晶制造装置的运送部的引导等清洁环境中的直动引导装置，其具备沿轴向延伸的导轨2和以能够沿轴向相对移动的方式跨架于导轨2上的滑动件3。在导轨2的两侧面分别形成有沿轴向延伸的2条滚动体滚动槽2a，在滑动件3的滑动件主体4的两个突出部4a的内侧面分别形成有与滚动体滚动槽2a对置的滚动体滚动槽(未图示)。并且，作为滚动体的一个例子的多个滚珠(未图示)滚动自如地装填在这些相互面对的、形成于导轨2的滚动体滚动槽2a与形成于滑动件主体4的滚动体滚动槽之间。滑动件3经由这些滚珠的滚动而能够在导轨2上沿轴向相对移动。夹装在导轨2与滑动件3之间的滚珠随着该滑动件3的移动而滚动并向滑动件3的端部移动，为了使滑动件3沿轴向继续移动，必须使这些滚珠能够无限循环。因此，在滑动件主体4的突出部4a内形成有沿轴向贯通的滚动体通道(未图示)，并且，在滑动件主体4的轴向两端分别固定有大致口字状的端盖5。并且，在各个端盖5形成方向转换路(未图示)，所述方向转换路用于将形成于导轨2的滚动体滚动槽2a与形成于滑动件主体4的滚动体滚动槽之间、和滚动体通道连通，且所述方向转换路弯曲成半圆弧状，由此，形成了滚动体无限循环轨道。并且，在图I中，标号2b是用于将导轨2固定于其他部件的螺栓贯穿插入孔。此外，在滑动件3的端盖5的轴向两端部安装有一对侧密封部件10 (图I中仅图示出了一个侧密封部件10)。由于一对侧密封部件10形成对称形状，因此仅对一个侧密封部件10进行说明。如图I所示，侧密封部件10具备基板部10a，其截面形成为大致-字形以便跨过导轨2，且该基板部IOa沿着横贯导轨2的方向延伸；和一对侧板部10b，它们从基板部IOa的横贯导轨的方向的两端开始沿着导轨2的两侧面向下方延伸。侧密封部件10例如通过对聚酯系弹性体、聚氨酯系弹性体、聚缩醛等合成树脂或丁腈橡胶、氟橡胶等橡胶进行注塑成型而一体地形成。侧密封部件10由未图示的安装螺钉经由螺纹孔IOc安装在滑动件3 的端盖5的轴向端部。在此，如图2所示，侧密封部件10以其侧板部IOb与导轨2的滚动体滚动槽2a之间的间隙量为Λ的方式安装。该间隙量Λ小至例如O. Imm左右。并且，侧密封部件10的沿轴向的厚度T为所述间隙量Λ的25倍 140倍。在此，侧密封部件10 —体地构成，因此能够进行管理以使侧密封部件10整体成为相同的间隙量Δ，能够容易地进行侧密封部件10与导轨2之间的间隙量Λ的管理。并且，侧密封部件10的沿轴向的厚度T是间隙量Λ的25倍 140倍，因此侧密封部件10的轴向厚度T较厚，如图2所示，微小粒子6容易附着在侧密封部件10的间隙内侧，能够减少通过间隙脱出到外部的微小粒子的量，能够减少整体的尘埃量。由此，能够形成适用于清洁环境中的直动引 导装置。如图3所示，若侧密封部件10的沿轴向的厚度T小于间隙量Λ的25倍的话(在图3所示的例子中，Τ/Δ = 7倍左右)，侧密封部件10的轴向厚度T较薄，微小粒子6难以附着在侧密封部件10的间隙内侧，无法减少通过间隙脱出到外部的微小粒子6的量。另一方面，侧密封部件10的沿轴向的厚度T大于间隙量△的140倍的话，侧密封部件10的轴向厚度T过厚，存在着滑动件的行程量大幅地减少的不良情况。此外，如图2所示，侧密封部件10的与导轨2的滚动体滚动槽2a相对的对置面IOd沿轴向由平坦面形成，间隙量△沿轴向恒定。由此，不仅能够容易地进行对侧密封部件10与导轨2之间的间隙量Λ的管理，而且能够进一步减少通过间隙脱出到外部的微小粒子6的量。在如专利文献I那样将构成侧密封部件211的第一板212和第二板213与导轨201之间的间隙形成为凹凸形状的情况下，需要使微小粒子进入到凹部(槽部)的深处而附着，存在着未附着的微小粒子飞到侧密封部件211外的可能性。通过将侧密封部件10的与导轨2相对的对置面IOd沿轴向由平坦面形成，能够在侧密封部件10与导轨2的间隙整体使微小粒子6附着，能够进一步减少通过间隙脱出到外部的微小粒子6的量。以上对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于此，能够对本发明进行各种变更和改进。例如，侧密封部件10的材质也可以不是聚酯系弹性体、聚氨酯系弹性体、聚缩醛等合成树脂或丁腈橡胶、氟橡胶等橡胶。此外，侧密封部件10与导轨2之间的间隙量Λ也不必是O. Imm左右。实施例为了验证本发明的效果，使侧密封部件与导轨之间的间隙量Λ恒定(O. 1mm)，而使侧密封部件的轴向厚度T变化来测定尘埃量。使侧密封部件的轴向厚度T形成为间隙量Δ (O. Imm)的10倍即Imm(比较例)、间隙量Δ (O. Imm)的70倍即7mm(本发明例)、间隙量Δ (O. Imm)的140倍即14mm(本发明例),并测定了尘埃量，即每单位体积(O. 028m3)中粒子直径在O. I μ m以上的尘埃的个数。将其结果在图4中示出。参考图4可知，本发明例的尘埃量达到了比较例的尘埃量的大约1/3左右。标号说明
I:直动引导装置；2 :导轨；2a :滚动体滚动槽；2b :螺栓贯穿插入孔；3 :滑动件；4 :滑动件主体；4a:突出部；5 :端盖；6 :微小粒子；10 :侧密封部件；IOa :基板部；IOb :侧板部；IOc :螺纹孔；Δ :侧密封部件与导轨之间的间隙量；T :侧密封部件的沿轴向的厚度。
权利要求
1.一种直动引导装置，该直动引导装置具备导轨，其具有沿轴向延伸的滚动体滚动槽；滑动件，其具有与该导轨的所述滚动体滚动槽对置的滚动体滚动槽，且该滑动件以能够通过插入于这两个滚动体滚动槽之间的多个滚动体的滚动而沿轴向相对移动的方式跨架于所述导轨；和侧密封部件，其以相对于所述导轨设有预定的间隙量的方式安装于所述滑动件的轴向端部，该直动引导装置的特征在于， 所述侧密封部件一体地构成，并且所述侧密封部件的沿所述轴向的厚度是所述间隙量的25倍 140倍。
2.根据权利要求I所述的直动引导装置，其特征在于， 所述侧密封部件的与所述导轨相对的对置面由平坦面形成，所述间隙量沿所述轴向恒定。
全文摘要
一种适于应用在清洁环境中的直动引导装置，侧密封部件与导轨之间的间隙量的管理容易，并且能够减少微小粒子脱出到侧密封部件的外部的量。直动引导装置(1)具备以相对于导轨(2)设有预定的间隙量(Δ)的方式安装于滑动件(3)的轴向端部的侧密封部件(10)。侧密封部件(10)一体地构成，并且侧密封部件(10)的沿轴向的厚度(T)是间隙量(Δ)的25倍～140倍。
文档编号F16J15/44GK102792038SQ20118000181
公开日2012年11月21日 申请日期2011年9月13日 优先权日2011年2月18日
发明者西山和人 申请人:日本精工株式会社