技术总结
本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为,在内部形成有流体的流路,在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外,流路块的结构为,将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置,以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于,流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下,该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。
技术研发人员:加藤启介;板藤宽;三原由极;广濑克宪;三轮敏一;西田成伸;伊藤一寿
受保护的技术使用者:CKD株式会社
技术研发日:2014.12.04
技术公布日:2018.05.25