一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置的制造方法

文档序号:11171387阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置,包括气浮支承本体、气压主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元,其特征在于:所述气浮支承本体上设置有进气孔、节流孔和调节单元安装孔,所述进气孔和节流孔分别与调节单元安装孔连通,所述进气孔的进气口处和节流孔的出气口处分别设置有进气阀和出气阀;所述气压主动调节单元嵌装在调节单元安装孔内,所述气压主动调节单元与气浮支承本体之间,以调节单元安装孔处形成调节腔,所述调节腔分别与进气孔和节流孔连通,所述气压主动调节单元能产生形变,从而改变调节腔的体积大小,以控制调节腔的气压,进而控制从调节腔内进入出气阀的气体的压力;所述支承本体检测单元用于实时检测气浮支承本体上下运动的速度、加速度和/或...
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