一种用于曝光机的防震的装置的制作方法

本发明涉及曝光机的防震，尤其涉及一种用于曝光机的防震的装置。

背景技术：

近年来，中小尺寸液晶显示器发展迅猛，制备过程中需要使用高精密的光学设备曝光机，光学部件对震动敏感，为了稳定工艺，目前的解决手段是将曝光机设备安装在防震台上。通常做法将一块钢板放置在基建平台上，然后在基建平台内部填充混凝土结构，通过方形垫片调整防震台水平度。此方法将大型防震台的承重平面与基建平台表面分离，垂直于防震台表面的抗震能力影响不大，但是因为通过几块方形垫片与基建平台之间的摩擦力会偏弱，导致平行于防震台表面震动承载能力差。

授权公告号为CN 203500797U，申请日为2013年08月14日的实用新型专利公开了一种改进的防震台，并具体公开了以下内容：“……防震台，包括防震台台面和用于支撑台面的若干个台柱，所述的若干个台柱都为高度可调的台柱。所述的台柱，优先在其末端设有千斤顶，通过千斤顶来调控台柱的高低，从而控制台面的高低，以满足各种身高的实验人员的要求，减轻他们弯腰工作的劳累，避免积劳成疾。本发明的改进的防震台通过高度可调的台柱调节台面的高低，以满足各种身高的实验人员的要求，减轻他们弯腰工作的劳累，避免积劳成疾……”。

从上文可知，一种改进的防震台通过将与台面连接的台柱进行改进，使改进后的台柱的高度可调，方便用户使用，但是该防震台平行于防震台表面震动承载能力差。

技术实现要素：

针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种曝光机的防震的装置，以解 决通过几块方形垫片与基建平台之间的摩擦力会偏弱，导致平行于防震台表面震动承载能力差的问题。

相比较而言，本发明提供一种能够提高曝光机的抗震特性的装置，本发明的防震台与基建平台连接，防震台设有水平调节支撑杆及锚栓，有效的将防震台与基建平台连为一体，且可调节水平方位。

本发明为解决上述技术问题采取的技术方案是：

本发明提出了用于曝光机的防震的装置，所述装置包括基建平台、防震台、水平调节支撑杆和固定锚栓，所述防震台通过水平调节支撑杆和固定锚栓卯合在位于所述防震台下部的基建平台上，所述水平调节支撑杆包括螺杆和螺母，所述螺母位于所述防震台内的套管内，所述螺母通过螺纹连接于所述螺杆外周，所述螺杆的下端部位于所述基建平台中的基建平台钢板的上端面上，所述固定锚栓穿过所述防震台而在所述固定锚栓的下端部处与所述基建平台固定连接。

在一个实施方案中，所述水平调节支撑杆与所述固定锚栓成对设置，所述固定锚栓和所述螺杆均在纵向中点以上的位置处与所述防震台的防震台钢板固定连接。

在一个实施方案中，水平调节支撑杆的数量与固定锚栓的数量一致，所述水平调节支撑杆与所述固定锚栓的数量均为4～6个。

在一个实施方案中，所述螺杆的螺纹外径为M30。

在一个实施方案中，所述基建平台的上端面加工有与所述固定锚栓对应的固定锚栓盲孔，所述固定锚栓盲孔的深度为100～200mm。

在一个实施方案中，所述固定锚栓插装在基建平台的上端面的固定锚栓盲孔内，二者通过化学胶水粘接。

在一个实施方案中，沿俯视视角观测，所述基建平台钢板为正方形钢板。

在一个实施方案中，所述基建平台钢板的边长为150mm，所述基建平台钢板的厚度为150mm。

在一个实施方案中，所述装置还包括第二套管，所述第二套管的内壁上加工有内螺纹，所述第二套管通过螺纹连接在所述螺杆的相对于所述防震台钢板的下部。

在一个实施方案中，所述固定锚栓上加工有外螺纹，所述固定锚栓与防震台钢板螺纹连接。

上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。

本发明与现有技术相比具有以下有益效果：

本发明的提高曝光机防震台抗震特性的装置通过增加水平调节支撑杆和固定锚栓，成对的固定锚栓和螺杆的上部均与防震台上的钢板固接，使防震台可在水平方向进行调节，有效的将防震台与基建平台连为一体，使二者在发生强震时能够同时波动；

本发明的提高曝光机防震台抗震特性的装置与现有的防震台通过将与台面连接的台柱进行改进，使改进后的台柱的高度可调，方便用户使用，该防震台平行于防震台表面震动承载能力差相比，大大提高了抗震能力，降低在强震状态下的防震平台发生移动的风险，提高对常规震动的耐受力。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1显示了本发明的用于曝光机的防震的装置的一个实施例的防震台的俯视图；

图2显示了本发明的用于曝光机的防震的装置的一个实施例中的水平调节支撑杆和固定锚栓的连接结构图；

图3显示了本发明的用于曝光机的防震的装置的一个实施例中的螺杆的轴测图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

结合图1、图2、图3说明本发明的用于曝光机的防震的装置的一个实施例。

本发明的用于曝光机的防震的装置包括基建平台1、防震台2、水平调节支撑杆3和固定锚栓4；所述防震台2通过水平调节支撑杆3和固定锚栓4卯合在位于所述防震台2下部的基建平台1上，所述水平调节支撑杆3包括螺杆3-2和螺母3-1，所述螺母3-1位于所述防震台2内的第一套管5-1内，所述螺母3-1通过螺纹连接于所述螺杆3-2外周，所述螺杆3-2的下端部位于所述基建平台1中 的基建平台1钢板的上端面上，

所述固定锚栓4穿过所述防震台2而在所述固定锚栓4的下端部处与所述基建平台1固定连接。

水平调节支撑杆3包括螺杆3-2和螺母3-1，螺杆3-2设于基建平台1的钢板上并与之抵接，以使水平调节支撑杆3得到基建平台钢板6的支撑。螺母3-1用于调整防震台2的中间位置的水平状况。

所述固定锚栓4贯穿防震台2本体，与基建平台1固定连接。

所述固定锚栓4在下端部处通过化学胶水与基建平台1固定粘结。

具体而言，所述固定锚栓4的外壁上加工有外螺纹，固定锚栓4的外螺纹与化学胶水之间增大了接触面积，从而增加了固定锚栓4的粘接面积。如此设计，经过1周左右的干燥时间，能够牢固将防震台2本体与基建平台1连接。

具体地，所述水平调节支撑杆与所述固定锚栓成对设置，所述固定锚栓和所述螺杆均在纵向中点以上的位置处与所述防震台的防震台钢板固定连接。如此设计，可以将防震台2与基建平台1实现高强度联合，提高防震台2的防震能力，增强了防震台2水平度的调节能力。

具体地，水平调节支撑杆3的数量与固定锚栓4的数量一致设置，水平调节支撑杆3与固定锚栓4的数量均为4～6个。如此设计，水平调节支撑杆3的下端由嵌入基建平台1的钢板6支撑，螺母3-1与螺杆3-2的上端部螺纹连接。通过调节螺母3-1，可以调整防震台2的中间位置的水平状况。固定锚栓4贯穿防震台2本体。基建平台1上端面上钻孔，固定锚栓4下端插入基建平台1的对应的孔内。

具体地，螺杆3-2的螺纹外径可以为M30。如此设计，使得螺杆3-2具有足够的强度。

具体地，基建平台1的上端面加工有与固定锚栓4对应的盲孔，盲孔的深度可以为100～200mm。如此设计，能够牢固将防震台2本体与基建平台1连接。

在一个进一步的实施方式中，所述固定锚栓插装在基建平台的上端面的固定锚栓盲孔内，二者通过化学胶水粘接。

具体地，沿俯视视角观测，本实施方式的基建平台钢板6为正方形钢板，基建平台钢板6的边长为150mm，基建平台钢板6的厚度为150mm。如此设计，水平调节支撑杆3的下端由嵌入基建平台1的钢板支撑，使得基建平台钢板6具 有足够的强度。

具体地，本实施方式的用于曝光机的防震的装置还包括第二套管5，所述第二套管5的内壁上加工有内螺纹，所述第二套管5通过螺纹连接在所述螺杆的相对于所述防震台钢板的下部。如此设计，第二套管5通过螺纹连接在螺杆3-2的下部，固定锚栓4有效的将防震台与基建平台1连为一体，当发生强震时，二者能够同时波动，提高了抗震能力，降低了在强震状态下防震台2发生移动的风险，提高了常规震动的耐受力。

具体地，本实施方式的固定锚栓4上加工有外螺纹，固定锚栓4的上部与防震台钢板2-1螺纹连接。如此设计，固定锚栓4有效的将防震台与基建平台1连为一体，当发生强震时，二者能够同时波动，提高了抗震能力，降低了在强震状态下防震台2发生移动的风险，提高了常规震动的耐受力。

虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。