流体控制器的制作方法

文档序号:11850631阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种流体控制器,具备:主体,其设置有流体通路;壳体,其设置于主体的上方;隔膜,其对流体通路进行开闭;阀杆,其通过上升或下降而使隔膜向打开方向或者关闭方向移动;隔膜按压件,其固定于阀杆的下端部;按压接合件,其配置于隔膜按压件的径向外侧且固定于主体,并对隔膜的外周缘部进行保持;活塞,其与阀杆一体地上下移动;以及驱动单元,其使活塞上下移动,其中,

将隔膜按压件的外周缘部的上表面与按压接合件的内周缘部的下表面之间设为第1间隙,根据所述第1间隙而对隔膜按压件向上方的移动量进行设定。

2.根据权利要求1所述的流体控制器,其中,

在设置于阀杆的下端部的凸缘部的下表面与按压接合件的上表面之间形成有用于对阀杆向下方的移动量进行设定的第2间隙。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制器,其中,

通过使阀杆和活塞相互螺合而使它们形成为一体,对阀杆与活塞的螺合量进行调整,由此能够设定比根据第1间隙而设定的阀杆向上方的移动量小的阀杆向上方的移动量。

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