本实用新型涉及真空设备阀门技术领域，具体来说是一种真空设备用磁流体阀。
背景技术：
磁流体密封装置利用磁流体来实现真空密封，其功能是把旋转运动传递到密封设备内。目前，磁流体密封装置已在许多回转动密封设备上使用，例如单晶硅炉、真空热处理炉、离子溅射等设备的密封，获得很好的使用效果。
但是由于磁流体密封需求，其在许多回转动密封设备上使用对所使用的流动阀门要求更加高，不仅密封性要好，而且对于磁流体这种稠状物的截流控制效果也有一定要求，否则影响设备磁性，进而影响产品良率。
技术实现要素：
本实用新型的目的是为了解决现有技术中的缺陷，提供一种真空设备用磁流体阀来解决上述问题。
为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种真空设备用磁流体阀，包括阀体和阀芯，其特征在于所述阀体内设置空腔，所述空腔两头贯通，所述阀芯以贯穿所述空腔设置于阀体内，所述阀芯中段设置驱动阀芯水平移动吸合的驱动轴，所述驱动轴外层套有金属波纹管保护，所述阀体的空腔与阀芯之间缝隙设置密封体，所述密封体上开设多个两边对称的圆环槽，所述圆环槽内设置密封圈，所述阀体的空腔后端设置用于阀芯运动减轻冲力的缓冲板。
本实用新型与现有技术相比，期有益效果在于：该阀结构安装于使用设备上，阀芯前端相对于阀体外漏处部分用于磁流体流动口堵塞，待流动时通过阀芯自身结构状态的改变，即金属波纹管及其内驱动轴水平移动，吸合动作，促进磁流体正常运动，该装置针对性强，仅针对特殊真空设备炉使用，杜绝了泄漏事故，对密封设备中环境的污染，提高了产品良率。
附图说明
图1为本实用新型的一种真空设备用磁流体阀的结构示意图。
具体实施方式
为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：
如图1所示，本实施例提供的一种真空设备用磁流体阀，包括阀体16和阀芯17，所述阀体16内设置空腔15，所述空腔15两头贯通，所述阀芯17以贯穿所述空腔15设置于阀体16内，所述阀芯17中段设置驱动阀芯水平移动吸合的驱动轴，所述驱动轴外层套有金属波纹管13保护，所述阀体16的空腔15与阀芯17之间缝隙设置密封体12，所述密封体12上开设多个两边对称的圆环槽14，所述圆环槽14内设置密封圈，所述阀体16的空腔15后端设置用于阀芯17运动减轻冲力的缓冲板11。
本实施例，该阀结构安装于使用设备上，阀芯前端相对于阀体外漏处部分用于磁流体流动口堵塞，待流动时通过阀芯自身结构状态的改变，即金属波纹管及其内驱动轴水平移动，吸合动作，促进磁流体正常运动，该装置针对性强，仅针对特殊真空设备炉使用，杜绝了泄漏事故，对密封设备中环境的污染，提高了产品良率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。