本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空掺杂装置。
背景技术：
在气体放电系统中，为了获得稳定的放电，常需在充气之前对系统抽至一定的真空度，然后充入特定的放电气体，特别是而当需要获得相对纯净的放电光谱时，对系统的真空度和气体的纯度有着更高的要求。由于橡皮管和金属管连接的真空装置存在着慢性漏气以及不耐腐蚀的问题，因此现有的真空掺杂装置大多使用耐腐蚀的玻璃管来作为储气罐与阀门机构之间以及阀门机构与真空掺杂系统的连接管件，然而玻璃管件的质地很脆，其与阀门机构之间难以通过严密的螺纹来实现高密封性；为此，我们提出一种真空掺杂装置来解决上述问题。
技术实现要素：
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空掺杂装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种真空掺杂装置，包括预设数量的用于储存不同气体的储气罐，所述储气罐通过阀门机构与真空掺杂系统连接，所述储气罐输出端和真空掺杂系统的输入端均连接有玻璃管，所述阀门机构包括真空阀，所述真空阀输入端和输出端均一体连接有连通座，所述连通座远离真空阀的一端面上设有圆台形的凹槽，所述凹槽远离其开口的一侧壁上设有与真空阀连接的开孔，所述凹槽内设有密封垫片，所述玻璃管的一端延伸至凹槽内并与密封垫片相抵，所述玻璃管与凹槽的侧壁之间设有密封圈，且密封圈的截面呈楔形；所述连通座的外侧螺纹连接有套筒，所述套筒的内圈壁上设有环形凸起，且环形凸起的一端与密封圈的一端相抵，所述环形凸起的内圈壁上设有柱形凹腔，所述柱形凹腔内设有橡胶块，所述套筒的外壁上设有用于将橡胶块与玻璃管抵紧的紧固螺钉。
优选的，所述密封垫片采用聚四氟乙烯垫片。
优选的，所述密封圈采用三元乙丙橡胶密封圈。
优选的，所述环形凸起与套筒一体铸造成型，且环形凸起靠近套筒的端部设置。
优选的，所述橡胶块的外圈壁上一体连接有环形挡块，且柱形凹腔的内圈壁上设有与环形挡块相匹配的环形槽，所述橡胶块的外侧套有弹簧，所述弹簧的一端与环形挡块连接，且弹簧的另一端与环形槽的侧壁相抵。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过在真空阀的进气端和出气端均设置连通座，并在连通座内设置密封垫片，可对储气罐与真空阀之间以及真空阀与真空掺杂系统之间进行第一道密封；通过在连通座的外侧螺纹连接带有环形凸起的套筒，并在玻璃管与连通座之间设置密封圈，可利用套筒配合环形凸起将密封圈抵紧，实现了储气罐与真空阀之间以及真空阀与真空掺杂系统之间的第二道密封；此外，密封垫片采用化学性质稳定的聚四氟乙烯材料，密封圈采用质地较为柔软的三元乙丙橡胶材料，通过两道密封机构的相配合，既可提高密封结构的防腐蚀能力，延长密封结构的工作寿命，同时又可满足真空掺杂装置对高密封性的要求。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种真空掺杂装置的结构示意图；
图2为图1中A处的局部放大图。
图中：1储气罐、2阀门机构、3真空掺杂系统、4玻璃管、5真空阀、6连通座、7凹槽、8开孔、9密封圈、10套筒、11环形凸起、12柱形凹腔、13橡胶块、14紧固螺钉、15密封垫片、16环形挡块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照图1-2，一种真空掺杂装置，包括预设数量的用于储存不同气体的储气罐1，储气罐1通过阀门机构2与真空掺杂系统3连接，储气罐1输出端和真空掺杂系统3的输入端均连接有玻璃管4，阀门机构2包括真空阀5，真空阀5输入端和输出端均一体连接有连通座6，连通座6远离真空阀5的一端面上设有圆台形的凹槽7，凹槽7远离其开口的一侧壁上设有与真空阀5连接的开孔8，凹槽7内设有密封垫片15，密封垫片15采用聚四氟乙烯垫片，其具有优良的化学稳定性、耐腐蚀性，是当今世界上耐腐蚀性能最佳材料之一；玻璃管4的一端延伸至凹槽7内并与密封垫片15相抵，玻璃管4与凹槽7的侧壁之间设有密封圈9，且密封圈9的截面呈楔形，密封圈9采用三元乙丙橡胶密封圈，橡胶材质的密封圈质地更加柔软，可进一步提高玻璃管4与连通座6之间的密封性。
连通座6的外侧螺纹连接有套筒10，套筒10的内圈壁上设有环形凸起11，需要说明的是，环形凸起11与套筒10一体铸造成型，即可保证结构的密封性，同时还可提高二者之间连接的稳定性，值得一提的是，环形凸起11靠近套筒10的端部设置；环形凸起11的一端与密封圈9的一端相抵，环形凸起11的内圈壁上设有柱形凹腔12，柱形凹腔12内设有橡胶块13，套筒10的外壁上设有用于将橡胶块13与玻璃管4抵紧的紧固螺钉14；作为一种改进，橡胶块13的外圈壁上一体连接有环形挡块16，且柱形凹腔12的内圈壁上设有与环形挡块相匹配的环形槽，橡胶块13的外侧套有弹簧15，弹簧15的一端与环形挡块16连接，且弹簧15的另一端与环形槽的侧壁相抵，当松开紧固螺钉14时，在弹簧15的作用下橡胶块13会撤至柱形凹腔12中，以便于玻璃管4的插入。
本实用新型通过在真空阀5的进气端和出气端均设置连通座6，并在连通座6内设置密封垫片15，可对储气罐1与真空阀5之间以及真空阀5与真空掺杂系统3之间进行第一道密封；通过在连通座6的外侧螺纹连接带有环形凸起11的套筒10，并在玻璃管4与连通座6之间设置密封圈9，可利用套筒10配合环形凸起11将密封圈9抵紧，实现了储气罐1与真空阀5之间以及真空阀5与真空掺杂系统3之间的第二道密封；当进行密封时，先转动紧固螺钉14，在橡胶块13的作用下，使得套筒10与玻璃管4固定，然后转动连通座6，密封垫片15与玻璃管4端面抵紧，同时环形凸起11将密封圈9抵入玻璃管4与连通座6之间形成的楔形间隙中。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。