一种硬密封的高纯气体减压阀的制作方法

本实用新型涉及减压阀密封技术领域，特别是涉及一种硬密封的高纯气体减压阀。

背景技术：

高纯气体减压阀应用于高纯气体管路及高纯气体设备，高纯气体阀门的密封是阀门设计与应用中的关键技术。阀门密封通常分为软密封和硬密封两大类，硬密封采用金属对金属的密封方式，由于主要应用于高纯、高压的情况，对密封副金属的表面粗糙度、耐腐蚀性、硬度等性能要求严格，但由于金属的挠性和弹性较差，对密封面的加工精度要求高，加工成本高。金属对金属密封属于一种强制密封，需要的操作力较大，而且需要锁紧装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种硬密封的高纯气体减压阀，以解决上述现有技术存在的问题，使密封面弹性好，密封精度高。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种硬密封的高纯气体减压阀，包括下阀体，所述下阀体上通过螺纹连接有后盖，所述后盖与所述下阀体之间设置有上阀体，所述上阀体顶部通过压块与所述后盖紧密连接，所述上阀体底部通过金属O型环和金属C型环与所述下阀体紧密连接；所述上阀体顶部设置有膜片，所述膜片连接有调压弹簧，所述调压弹簧一端与穿设于所述后盖上的顶丝连接；所述下阀体内设置有阀针，所述阀针一端与所述膜片底部接触，另一端通过小弹簧与所述下阀体连接。

可选的，所述后盖包括前部、后部和连接部，所述前部的内径大于所述后部的内径，所述前部的外径大于所述后部的外径，所述前部与所述后部通过水平的连接部固定连接；所述前部通过螺纹与所述下阀体密封连接。

可选的，所述前部、后部和连接部一体成型。

可选的，所述前部与所述连接部垂直连接，所述后部与所述连接部垂直连接。

可选的，所述压块位于所述前部内，且与所述连接部内壁紧密连接。

可选的，所述调压弹簧位于所述后部内，所述顶丝穿设于所述后部底部，并与所述调压弹簧连接。

可选的，所述顶丝一端连接有手柄，所述手柄套设于所述后部的外壁上。

可选的，所述阀针一端与所述膜片底部接触，另一端与小弹簧接触，小弹簧与所述下阀体连接，阀针与上阀体接触处设置有密封垫。

可选的，所述调压弹簧与所述顶丝连接处设置有连接块。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

本实用新型提供的硬密封的高纯气体减压阀组装更加简易；金属环密封结构具有补偿性，在一定范围内能够补偿零件的加工误差，有更好的密封性，可以得到更低的泄漏率；金属环密封结构有良好的重复性；金属密封圈的密封性较好，耐腐蚀性好，且长期使用不易老化。减压阀内部结构更加简单，有利于零件加工和电解抛光，更容易得到高纯气体所需要的电解抛光面，内部结构更加紧凑，可以实现更小的死体积。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型硬密封的高纯气体减压阀剖面结构示意图；

图2为本实用新型硬密封的高纯气体减压阀的金属O型环结构示意图；

图3为本实用新型硬密封的高纯气体减压阀的金属C型环结构示意图；

附图标记说明：1.手柄，2.顶丝，3.后盖，3-1.前部，3-2.后部，3-3.连接部，4.调压弹簧，5.压块，6.上阀体，7.下阀体，8.阀针，9.膜片，10.密封垫，11.金属O型环，12.金属C型环，13.小弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的目的是提供一种硬密封的高纯气体减压阀，以解决上述现有技术存在的问题，使密封面弹性好，密封精度高。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本实用新型提供一种硬密封的高纯气体减压阀，如图1-3所示，包括下阀体7，下阀体7上通过螺纹连接有后盖3，后盖3与下阀体7之间设置有上阀体6，上阀体6顶部通过压块5与后盖3紧密连接，上阀体6底部通过金属O型环11和金属C型环12与下阀体7紧密连接；上阀体6顶部设置有膜片9，膜片9连接有调压弹簧4，调压弹簧4一端与穿设于后盖3上的顶丝2连接；下阀体7内设置有阀针8，阀针8一端与膜片9底部接触，另一端通过小弹簧13与下阀体7连接。

具体的，后盖3包括前部3-1、后部3-2和连接部3-3，前部3-1的内径大于后部3-2的内径，前部3-1的外径大于后部3-2的外径，前部3-1与后部3-2通过水平设置的连接部3-3固定连接；前部3-1通过螺纹与下阀体7密封连接。前部3-1、后部3-2和连接部3-3一体成型。前部3-1与连接部3-3垂直连接，后部3-2与连接部3-3垂直连接。压块5位于前部3-1内，且与连接部3-3内壁紧密连接。上阀体6嵌套于压块5内，且膜片9端部位于压块5与上阀体6之间，并通过压块5与上阀体6固定；调压弹簧4位于后部3-2内，顶丝2穿设于后部3-2底部，并与调压弹簧4连接。

进一步优选的，顶丝2一端连接有手柄1，手柄1套设于后部3-2的外壁上。阀针8一端与膜片9底部接触，另一端通过小弹簧13与下阀体7连接，阀针与上阀体接触处设置有密封垫。

，密封垫10顶部与上阀体6紧密接触；具体连接方式为，下阀体7开设有凹槽，小弹簧13位于凹槽内，小弹簧13一端与凹槽底部连接，另一端与阀针连接，凹槽一侧连通有出口，凹槽另一侧设置有进口，进口与上阀体6连通。

本实用新型的后盖3与下阀体7通过螺纹旋合使压块5、膜片9、上阀体6、金属O型环11、金属C型环12贴合压紧，上阀体6、下阀体7与金属C型环12、金属O型环11接触，金属C型环12、金属O型环11受到挤压产生弹力来进行密封，主要利用了金属C型环12、金属O型环11在受力时产生的弹性变形保证了加工可能存在误差的上阀体6、下阀体7的密封。通过金属C型环、金属O型环密封，将减压阀高压腔、低压腔、大气隔离并密封，从而实现减压所需条件。

本实用新型中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。