应用于高真空设备中起仰旋转运动装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空机械技术领域，特别涉及一种应用于高真空设备中起仰旋转运动装置。
【背景技术】
[0002]在大气中任何一个工件均可以通过机械传动来实现空间位置的移动而满足加工和使用要求，而任何一个工件要在真空环境下空间位置的移动将要面临一系列问题，如密封问题，真空度问题，以及真空环境下相互运动的零件，因失去气体保护膜而加速工作表面的磨损等问题，针对以上问题提供一种真空环境内工件加工移动装置，如工件纵向角度位移和平面旋转移动，并有效实现工件移动和位置的锁定，同时也有效解决因传动密封不当影响真空度的问题。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种保证高真空密封效果的情况下，实现工件各种角度移动和位置的锁定，同时不会因为动作传动影响真空腔体内的真空度的应用于高真空设备中起仰旋转运动装置。
[0004]为此，本实用新型的技术方案如下:
[0005]—种应用于高真空设备中起仰旋转运动装置，包括设置在真空腔体壳内的移动旋转平台、左起仰角装置、中间旋转装置、右起仰角装置、上部支撑托架和下部支撑托架，所述左起仰角装置和所述右起仰角装置以所述中间旋转装置为对称轴对称设置，所述左起仰角装置、所述右起仰角装置和所述中间旋转装置的上部均固定在所述上部支撑托架上而下部与所述下部支撑托架固定，所述移动旋转平台上形成有固定工件的固定装置。
[0006]所述左起仰角装置包括左传动手轮、与所述左传动手轮连接且可以通过所述左传动手轮上下运动的左顶杆和与所述左顶杆顶端固定连接的左起仰角支架，在所述左顶杆上套装有带有法兰的中部支撑套、带有法兰的下部支撑套和设置在所述中部支撑套上端的焊接波纹管，所述左顶杆局部形成有凸起使所述焊接波纹管限位于所述凸起与所述中部支撑套之间，所述中部支撑套与所述下部支撑套之间固定连接，所述左顶杆下部套装有左球轴承且固定在所述下部支撑套内。
[0007]所述中间旋转装置包括中间传动手轮、与所述中间传动手轮连接且可以通过所述中间传动手轮上下运动的中间顶杆和与所述中间顶杆顶端固定连接的旋转连接件，所述旋转连接件与所述移动旋转平台活动连接，能够使所述旋转平台上下摆动和转动，在所述中间顶杆上套装有带有法兰的中部支撑套、带有法兰的下部支撑套和设置在所述中部支撑套上端的焊接波纹管，所述中间顶杆局部形成有凸起使所述焊接波纹管限位于所述凸起与所述中部支撑套之间，所述中部支撑套与所述下部支撑套之间固定连接，所述中间顶杆下部套装有中间球轴承且固定在所述下部支撑套内。
[0008]所述右起仰角装置包括右传动手轮、与所述右传动手轮连接且可以通过所述右传动手轮上下运动的右顶杆和与所述右顶杆顶端固定连接的右起仰角支架，在所述右顶杆上套装有带有法兰的中部支撑套、带有法兰的下部支撑套和设置在所述中部支撑套上端的焊接波纹管，所述右顶杆局部形成有凸起使所述焊接波纹管限位于所述凸起与所述中部支撑套之间，所述中部支撑套与所述下部支撑套之间固定连接，所述右顶杆下部套装有右球轴承且固定在所述下部支撑套内。
[0009]所述左传动手轮、中间传动手轮和右手轮上分别设置有固定所述左顶杆、中间顶杆和右顶杆的左限制装置、中间限制装置和右限制装置。
[0010]在所述真空腔体壳与所述下部支撑托架连接处之间，所述左支撑套与所述左支撑套连接处之间、所述中部支撑套与所述下部支撑套之间和所述右支撑套与所述右支撑套之间均设置有密封垫，以保持壳体内部真空。
[0011]进一步地，所述旋转连接件包括设置在所述中间顶杆上部的螺旋槽套和传动销、设置在所述螺旋槽套上部并固定在所述上部支撑托架上的推力轴承和与所述螺旋槽套上端连接的移动旋转平台连接件。
[0012]优选地，所述密封垫均采用耐磨损且密封性好的铜密封垫。
[0013]与现有技术相比，该应用于高真空设备中起仰旋转运动装置在保证高真空密封效果的情况下，实现工件各种角度移动和位置的锁定，同时不会因为动作传动影响真空腔体内的真空度。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的应用于高真空设备中起仰旋转运动装置的结构示意图；
[0015]图2是本实用新型的应用于高真空设备中起仰旋转运动装置的起仰和旋转结构的结构示意图；
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型的应用于高真空设备中起仰旋转运动装置的结构进行详细说明。
[0017]如图1?图2所示，该应用于高真空设备中起仰旋转运动装置包括设置在真空腔体壳4内的移动旋转平台2、左起仰角装置3、中间旋转装置6、右起仰角装置8、上部支撑托架7和下部支撑托架5，所述左起仰角装置3和所述右起仰角装置8以所述中间旋转装置6为对称轴对称设置，所述左起仰角装置3、所述右起仰角装置8和所述中间旋转装置6的上部均固定在所述上部支撑托架7上而下部与所述下部支撑托架5固定，所述移动旋转平台2上形成有固定工件I的固定装置；所述左起仰角装置3包括左传动手轮310、与所述左传动手轮310连接且可以通过所述左传动手轮310上下运动的左顶杆303和与所述左顶杆303顶端固定连接的左起仰角支架301，在所述左顶杆303上套装有带有法兰的中部支撑套305、带有法兰的下部支撑套307和设置在所述中部支撑套305上端的焊接波纹管304，所述左顶杆303局部形成有凸起使所述焊接波纹管304限位于所述凸起与所述中部支撑套305之间，所述中部支撑套305与所述下部支撑套307之间固定连接，所述左顶杆303下部套装有左球轴承309且固定在所述下部支撑套307内；所述中间旋转装置6包括中间传动手轮611、与所述中间传动手轮611连接且可以通过所述中间传动手轮611上下运动的中间顶杆606和与所述中间顶杆606顶端固定连接的旋转连接件，所述旋转连接件与所述移动旋转平台2活动连接，能够使所述旋转平台2上下摆动和转动，在所述中间顶杆606上套装有带有法兰的中部支撑套610、带有法兰的下部支撑套608和设置在所述中部支撑套610上端的焊接波纹管607，所述中间顶杆606局部形成有凸起使所述焊接波纹管607限位于所述凸起与所述中部支撑套610之间，所述中部支撑套610与所述下部支撑套608之间固定连接，所述中间顶杆606下部套装有中间球轴承609且固定在所述下部支撑套608内；所述右起仰角装置8包括右传动手轮810、与所述右传动手轮810连接且可以通过所述右传动手轮810上下运动的右顶杆803和与所述右顶杆803顶端固定连接的右起仰角支架801，在所述右顶杆803上套装有带有法兰的中部支撑套805、带有法兰的下