一种快速拆装的气路结构的制作方法

本实用新型公开了一种快速拆装的气路结构，属于半导体制造领域。

背景技术：

近年来半导体供液的飞速发展，推动了各个产业部门的技术进步。同时它又是各种高新技术综合发展的结果，特别是依赖于高纯水、高纯气、高纯试剂和洁净技术的发展。特种气体和高纯气体是半导体器件生产中的重要原材料，高纯气体的应用贯穿了集成电路生产的全过程。在晶体生长和衬底制备中需要用到氯气、四氯化硅、氢气、氩气、氯化氢、氦气等气体；在成膜工艺中需要硅烷、氯硅烷、氨气、三氟化氮、一氧化二氮、氮气、氧气和二氧化碳等；在掺杂工艺中需要砷烷、磷烷、硼烷、三氯化硼、三氯化磷、三氟化硼、三氟化磷等气体；在蚀刻工艺中需要的气体种类更多。

气柜作为半导体设备内的核心组成部分之一，其功能是将各路工艺气体集成在一个空间环境内，并按工艺需求对不同气体进行传输、分配和混合。对个别关键工艺气体进行精确的流量控制，根据工艺不同步骤的设定实现对工艺气体进行开关控制等功能。在气柜中，工艺气体的响应时间、流量控制对晶圆制造工艺起到至关重要的作用。因此，气柜内部需要稳定可靠的流体系统元件。成熟、灵活的气柜气体传输系统设计能够有效保证晶圆在反应过程中平稳进行，且不会因为阀门没有及时打开而使反应失效，或因为存在死区导致工艺反应后产生particle（颗粒）污染。

气柜内气路传输元器件之间的连接方式常用的有两种：一种是vcr连接，一种是igs（模组化气体供应系统），模组化气体供应系统相较于vcr式具有以下优势：大幅度的减小了气柜体积，压缩了空间占用率；拆装更便捷；密封性更好；减少了污染因素；利于标准化设计等。

常规的模组化气体供应系统单条气路结构需要用到多个单独的基座，每个基座与底板还需要四颗镀银螺钉进行固定，当需要更换整条气路传输结构的时候，需要将每个元器件都拆除，这样非常繁琐耗时，如果安装过程中出现失误还会影响气路的密封性，造成不必要的人力成本浪费。

技术实现要素：

针对上述技术问题，本实用新型公开了一种快速拆装的气路结构，该气路结构具有快速拆装，施工高效快捷的有益效果。

为了实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术手段：

一种快速拆装的气路结构，包括：

底板，与气柜本体连接，位于整条气路的最底部；

连接块，设置在所述底板之上，与所述底板之间可拆卸的连接；

多个元器件，设置在所述连接块上，每两个元器件的底部之间通过一个基座与所述连接块连接，形成一条密闭的气路，基座的内腔设有用于连通上方相邻元器件气路的气体通道；

进气接头，与气路上首个元器件的基座连接，用于接入工艺气体。

每个所述基座通过镀银螺钉与所述连接块固定连接。

所述连接块和底板之间通过螺钉可拆卸连接。

所述底板上设有加强筋。

所述连接块上设有连接孔，所述连接孔上连接有加热部件。

所述连接块为铝块。

有益效果：

第一．本实用新型快速拆装的气路结构，将单条气路的所有基座通过螺钉固定在一根铝块上，在需要更换整条气路时就可以将固定铝块的螺钉拆除，然后整条气路的所有元器件都可以一次性移除，然后再一次性安装新的整条气路，这样安装和拆卸减少了大量的时间，同时还降低了工人施工时产生失误的概率，更加的高效快捷，还可以提升产品质量性能。

第二．有些特殊气体如：甲醇、乙醇、sicl4等常温下是液态，在厂务端加热气化后进入气柜，这时就需要对整条气路加热防止气体冷凝阻塞管路，把加热器件通过螺丝拧入铝块内，这样可以节约空间，还能起到更好的加热效果。

附图说明

图1为本实用新型快速拆装的气路结构的整体结构示意图；

其中，1、手阀；2、过滤器；3、调压阀；4、压力显示表；5、低压气动隔膜阀；6、气体流量计；7、镀银螺钉；8、基座；9、底板；10、加强筋；11、进气接头；13、连接块；

图2为基座的结构示意图；

其中，12、气体通道；

图3为连接块与加热部件连接示意图；

其中，14、加热部件。

具体实施方式

下面结合说明书附图以及具体实施例对本实用新型的技术方案作进一步详细说明。

如图1~图3所示，一种快速拆装的气路结构，包括：底板9，与气柜本体连接，位于整条气路的最底部；

连接块13，设置在所述底板之上，与所述底板9之间可拆卸的连接；

多个元器件，设置在所述连接块13上，每两个元器件的底部之间通过一个基座8与所述连接块13连接，形成一条密闭的气路，基座8的内腔设有用于连通上方相邻元器件气路的气体通道12；

进气接头11，与气路上首个元器件的基座连接，用于接入工艺气体。

进一步的，每个所述基座通过镀银螺钉与所述连接块固定连接。

进一步的，所述连接块和底板之间通过螺钉可拆卸连接。

进一步的，所述底板上设有加强筋。

进一步的，所述连接块上设有连接孔，所述连接孔上连接有加热部件。

进一步的，所述连接块为铝块。

模组化气体供应系统中单条气路各个元器件的作用不同，其中，

手阀1用于手动控制气体的通断；

过滤器2用于过滤厂务端气体中的颗粒（particle）；

调压阀3用于调节稳定的气体压力进入腔室；

压力显示表4用于显示气体压力；

低压气动隔膜阀5用于自动控住气体的通断；

气体流量计6用于控制气体流量大小；

镀银螺钉7用于元器件间的固定；

基座13用于连通上方相邻的元器件；

底板9固定在气柜的柜体上，整条气路的部件安装在底板9上；

加强板10用于提高底板9的强度；进气接头11用于接入工艺气体。

本实用新型在模组化气体供应系统（igs）中将单条气路的所有基座8通过螺钉固定在一根连接块13上，在需要更换整条气路时就可以将连接块13的螺钉拆除，然后整条气路的所有元器件都可以一次性移除，然后再一次性安装新的整条气路，这样安装和拆卸减少了大量的时间，同时还降低了工人施工时产生失误的概率，更加的高效快捷，还可以提升产品质量性能；

另外，有些特殊气体如：甲醇、乙醇、sicl4等常温下是液态，在厂务端加热气化后进入气柜，这时就需要对整条气路加热防止气体冷凝阻塞管路，把加热器件14通过螺丝拧入连接块13内，这样可以节约空间，还能起到更好的加热效果。

技术特征：

1.一种快速拆装的气路结构，其特征在于，包括：

底板，与气柜本体连接，位于整条气路的最底部；

连接块，设置在所述底板之上，与所述底板之间可拆卸的连接；

多个元器件，设置在所述连接块上，每两个元器件的底部之间通过一个基座与所述连接块连接，形成一条密闭的气路，基座的内腔设有用于连通上方相邻元器件气路的气体通道；

进气接头，与气路上首个元器件的基座连接，用于接入工艺气体。

2.根据权利要求1所述的快速拆装的气路结构，其特征在于，每个所述基座通过镀银螺钉与所述连接块固定连接。

3.根据权利要求1所述的快速拆装的气路结构，其特征在于，所述连接块和底板之间通过螺钉可拆卸连接。

4.根据权利要求1所述的快速拆装的气路结构，其特征在于，所述底板上设有加强筋。

5.根据权利要求1所述的快速拆装的气路结构，其特征在于，所述连接块上设有连接孔，所述连接孔上连接有加热部件。

6.根据权利要求5所述的快速拆装的气路结构，其特征在于，所述连接块为铝块。

技术总结
本实用新型公开了一种快速拆装的气路结构，包括：底板，与气柜本体连接，位于整条气路的最底部；连接块，设置在所述底板之上，与所述底板之间可拆卸的连接；多个元器件，设置在所述连接块上，每两个元器件的底部之间通过一个基座与所述连接块连接，形成一条密闭的气路，基座的内腔设有用于连通上方相邻元器件气路的气体通道；进气接头，与气路上首个元器件的基座连接，用于接入工艺气体。

技术研发人员：王铖熠;张军;朱治友;程实然;郭颂;李娜;胡冬冬;许开东
受保护的技术使用者：北京鲁汶半导体科技有限公司
技术研发日：2020.05.22
技术公布日：2021.01.05