专利名称：改进探针台的方法
在半导体领域中，所制造的各组晶片在被切割成为个别的集成电路之前通常进行性能测试。图1到4示出用在这种测试中的设备。虽然这些附图示出本发明的一个实施例，但是它们也示出了与在先技术系统所共有的某些特征。这些特征引用到该部分以助于说明本发明的内容。
欲执行晶片测试，习称为探针台10的设备具有一顶板12(图3)，其确定一原始顶板孔隙14。该孔隙支撑习称为探针板盘16的圆形装置，它转而支撑探针板17。具有对接单元20的习称为测试器18的一单独件下降至关于探针台、探针板盘与探针板的配接位置。有时，探针台10包括诸如晶片装载器盖子19的障碍物，它非常靠近该原始顶板孔隙14从而不允许一特定测试器18的对接。
一般而言，需要多个导引装置与关连的对接装置件来将测试器顺序对接于探针台、探针板盘与该探针板盘所支撑的晶片。一般而言，销售给半导体制造厂家的探针台已经安装了这种对接装置。因此，当购买新的测试器时，通常需要购置装配有对接装置的新的探针台以助于和该新的测试器对接。不幸的是，通常由探针台卖主或代理商所装设的对接装置一般允许对接至单一型式的测试器。允许将不同测试器运用于探针台的对接装置的装设在业内被称为“硬件换出(hardwareswap-out)”，并且造成技术人员时间与设备停机时间的大量占用。
已经公知，将单一检测器加工为接受单一工具板，其允许对接至一期望的测试器。然而，在先前技术中没能制造一组标准化的工具板，使得各个标准化的工具板可以运用于任何一组不同探针台上。结果为，仅有极为受限的适应性可由此方法得到。
半导体制造商面对的另一问题是缺乏探针台的各种商业生产线之间的顶板孔隙的一致性。不幸的结果在于，目前并未有公知的技术以将具有第一顶板孔隙尺寸的探针台配接于设计为配接具有第二顶板孔隙尺寸的检测器的一种测试器。
在第二方面，本发明是一种供装设至探针台的工具板。该工具板包含确定一主孔隙与一组周边孔隙的一刚性板，周边孔隙装配于弹簧负载的固定螺钉，适于帮助固定至配接螺纹孔。
在第三方面，本发明是一种供装设至探针台的工具板，该工具板包含确定一主孔隙与一组销钉设定孔的一刚性板，销钉设定孔相对于主孔隙的位置精确设定。
在第四方面，本发明是一种改进探针台的方法，该探针台具有确定一原始顶板主孔隙的一顶板，从而该探针台适于配接一预定探针板盘与一预定测试器，而在改进之前该探针台无法与之配接。该种方法包含以下步骤在该顶板内加工一凹陷部，以形成顶板-工具板附接区域。此外，该顶板主孔隙被加大，且顶板-工具板附接区域内提供有固定和对齐元件。还提供工具板，其具有适于配接至该顶板-工具板附接区域的固定和对齐元件的固定和对齐元件，并确定设计为接合该预定探针板盘的工具板主孔隙，并旦其中该工具板主孔隙相对于工具板固定和对齐元件定位，使得一旦安装该工具板时，该工具板主孔隙将和该原始顶板主孔隙不一致。最后，运用固定和对齐元件将该工具板配接并固定至该顶板-工具板附接区域。
在第五方面，本发明是一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板，从而其可配接一测试器，该测试器包括水平延伸超过该探针台的水平长度的对接装置。该种方法包含在该顶板内加工至少一个附接区域，并将固定和对齐元件装配于该附接区域，并且提供至少一对接装置附接板，其包括一件对接装置以配接至该附接区域。之后，将该对接装置附接板配接至对应附接区域，使得该对接装置附接板从顶板水平朝外突出，并且向着顶板外部地支撑该件对接装置。
在第六方面，本发明是一种探针台，它能够配接至一测试器，该测试器具有比该探针台大的轨迹面积。该探针台包括一顶板以及至少一个对接装置支撑板，其中该对接装置支撑板从该顶板向外延伸并在离开该顶板的一位置处支撑至少一件对接装置。
在第七方面，本发明是一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板，从而该探针台适于配接一预定探针板盘与一组测试器中的任一测试器。固定和对齐元件提供并装设于该顶板上。再者，提供一组工具板，各个工具板均具有适于配接至该顶板上的固定和对齐元件的固定和对齐元件，并确定设计为接合该预定探针板盘的孔隙。之后，使用者可选择这些工具板中的所希望的一个，并且运用固定和对齐元件将所选择的工具板配接及固定至该顶板。
通过以下参照附图的优选实施例的说明可以更加容易地理解本发明的上述与其他目的、特点及优点。
图1是探针台-测试器的配对的侧视图，其中该探针台根据本发明的方法改进。
图2是图1的探针台的俯视图。
图3是图1的探针台的一部分的分解立体图，显示本发明的改进的某些细节。
图4是探针台的一部分的分解立体图，该探针台以类似于图1的方法的方式改进，但具有附接至工具板的对接装置。
此外，一系列的螺纹孔44加工在附接区域34的周边内侧。本发明主题的改进探针台的方法运用如图1与图2所示的工具板110完成。弹簧负载的螺钉设定于一组孔隙114中，以允许板110快速附接至改进后的探针台。板110的底侧确定销钉设定孔120，它构造为配接销钉38并因而有助于板110的精确定位。在一个优选实施例中，销钉38相对于孔隙14的中心高精度定位，以确保工具板110的正确对齐与定位。
工具板110确定用于支撑探针板盘的工具板主孔隙120。适用于探针板盘附接的环缘122确定于孔隙120的周围。一组突起部124易于探针板盘的附接，其中每个突起部124有一螺纹孔126。参考图4，在某些实例中，包含一组对接装置130作为板110的一部分，从而板110的装设可使得探针台10随时对接于所选择的测试器18。
理想而言，可提供多个工具板110，每个均装配有适于对接特定测试器的一个不同组的对接装置130。以此方式，拥有多个测试器与多个探针台的半导体制造设施可以将多个探针台的任一个和多个测试器的任一个对接。再者，若多于一个探针台被改进以接受多个工具板110中的任一个，则这些测试器的任一个可以在其中可配接的板110可用的任何探针台中使用。
应特别注意的是，通过制造每个均具有一标准化组的定位及附接元件的一组工具板，并且通过修改一组探针台以使得每个均具有设计为配接至工具板定位及附接元件的一标准化组的定位及附接元件，可以实现极大的适应性，这意味着这些探针台中的任一个均可配接至这些工具板中的任一个，并且因而可配接至工具板可用的任一测试器。此技术在先前技术中仍为未知，且可应用于甚至不同型式的探针台，诸如流行的品牌TSK、TEL与EG。
在另一个优选实施例中，在顶板12中没有加工凹陷部。销钉38与螺纹孔44设置于顶板12的顶表面上，且工具板110附接于顶板12的顶部上。
在一个优选实施例中，第二组螺纹孔44’设于顶板附接区域34，以供较小的工具板110附接。该种较小的工具板110将典型地作成为装配于具有较小顶板的探针台10。通过提供第二组螺纹孔44’，探针台10可以用于改进最初为了具有较小的顶板12的不同生产线的探针台10而制作的工具板110。
再次参考图1至图2，在某些实例中，探针台将具有相当小的一个顶板，并且还将具有一障碍物208，诸如将晶片载入探针板盘的装置的盖子(“装载器盖子”)。如果并未将该探针板盘位置移动离开该障碍物，将可能无法把此型式探针台对接至测试器。为此目的，原始顶板孔隙14被加大，并且提供一个工具板210，它具有一个主孔隙212，该主孔隙212相对于工具板210的其余部分不居中。当安装工具板210时，主孔隙212位于和原始顶板主孔隙14不同的位置处，并且还远离该障碍物，从而允许选择的测试器对接至工具板210而未遇到该障碍物。
在此实施例中，对接装置220包含于一组对接装置板222。为了有助于板222正确附接至顶板30，顶板30以类似于附接区域34的加工的方式但是在更接近其边缘处加工，以形成对接装置板附接区域(未显示)，它将包括诸如螺纹孔与销钉的定位及附接元件。
应注意的是，为了成功实施图1与图2所示的实施例，驱动测试器与探针台的软件必须调整以考虑工具板主孔隙212与顶板原始主孔隙14之间的位置差异。
已于以上说明中所运用的术语与措辞是以说明的角度所使用而并非限制，这些术语与措辞的使用无意排除所显示及说明的特征或其部分的等同体，可认知的是，本发明的范围仅由所附权利要求确定和限制。
权利要求
1.一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板，从而所述探针台适于配接一预定探针板盘与一组测试器中的任一测试器，所述方法包含以下步骤(a)在所述顶板内加工一凹陷部，以形成顶板-工具板附接区域；(b)提供顶板-工具板附接区域固定和对齐元件；(c)提供一组工具板，每个均具有适于配接至所述顶板-工具板附接区域固定和对齐元件的固定和对齐元件，并且确定设计为接合所述预定探针板盘的孔隙，并包括用于帮助对接至所述组的测试器中的一特定测试器的对接装置；(d)选择所述工具板中的一个所需要的；及(e)运用所述固定和对齐元件将所述所选择的工具板配接并固定至所述顶板-工具板附接区域。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工具板进一步包括对接装置，用于帮助所述预定测试器的对接。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述顶板-工具板附接区域固定和对齐元件包括第一组螺纹孔与第二组螺纹孔，第一组螺纹孔定位为允许具有第一尺寸的第一工具板的附接，第二组螺纹孔定位为允许具有第二尺寸的第二工具板的附接。
4.一种用于装设至探针台内的工具板，所述板包含确定一主孔隙与一组周边孔隙的一刚性板，主孔隙具有一环缘，周边孔隙装配于弹簧负载的固定螺钉，适于帮助固定至配接螺纹孔。
5.一种用于装设至探针台内的工具板，所述板包含具有一顶部与一底部且确定一主孔隙与一组销钉设定孔的一刚性板，主孔隙具有一环缘，销钉设定孔由所述底部表面确定并且相对于主孔隙的位置精确定位。
6.一种改进探针台的方法，该探针台具有确定一原始顶板主孔隙的一顶板，从而所述探针台适于配接一预定探针板盘与一预定测试器，而在改进之前所述探针台无法与之配接，所述方法包含以下步骤(a)在所述顶板内加工一凹陷部，以形成顶板-工具板附接区域；(b)加大所述顶板主孔隙；(c)提供顶板-工具板附接区域固定和对齐元件；(d)提供一组工具板，它具有适于配接至所述顶板-工具板附接区域固定和对齐元件的固定和对齐元件，并确定设计为接合所述预定探针板盘的工具板主孔隙，且其中所述工具板主孔隙相对于所述工具板固定和对齐元件定位，使得一旦安装所述工具板时，所述工具板主孔隙将和所述原始顶板主孔隙不一致；及(e)运用所述固定和对齐元件将所述工具板配接并固定至所述顶板-工具板附接区域。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述探针台具有一种结构，其中一障碍物定位为非常靠近所述原始顶板主孔隙从而不允许所需要的测试器的对接，但是其中所述工具板主孔隙一旦装设时足够远地离开所述障碍物以允许对接。
8.一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板，从而它可配接于测试器，该测试器包括水平延伸超过所述探针台的水平长度的对接装置，所述方法包含以下步骤(a)在所述顶板内加工至少一个附接区域，并将固定和对齐元件装配于所述附接区域；(b)提供至少一个对接装置附接板，它适于配接至所述附接区域，并包括一件对接装置；及(c)将所述对接装置附接板的每一个附接至所述对应附接区域，从而所述板从所述顶板水平朝外突出，并且向着所述顶板外部地支撑所述一件对接装置。
9.一种探针台，它能够配接至一个选定的测试器，所述测试器具有比所述探针台大的轨迹面积，所述探针台包括一顶板并且进一步包括至少一个对接装置支撑板，该对接装置支撑板从所述顶板向外延伸并在离开所述顶板的一位置处支撑至少一件对接装置。
10.一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板，从而所述探针台适于配接一预定探针板盘与一组测试器中的任一个测试器，所述方法包含以下步骤(a)在所述顶板上提供顶板-工具板固定和对齐元件；(b)提供一组工具板，每个均具有适于配接至所述顶板-工具板固定和对齐元件的固定和对齐元件，并且确定设计为接合所述预定探针板盘的孔隙，并包括用于帮助对接至所述组的测试器中的一个测试器的对接装置；(c)选择所述工具板中的一个所需要的；及(d)运用所述固定和对齐元件将所述所选择的工具板配接并固定至所述顶板。
全文摘要
一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板(12)，从而该探针台(10)适于配接于一预定探针板盘(16)与一组测试器中的任一个测试器(18)。随后在该顶板内加工一个凹陷部以形成顶板－工具板附接区域。接着，在此区域内提供并安装固定和对齐元件。再者，提供一组工具板(110)，每个均具有适于配接至该附接区域上的固定和对齐元件的固定和对齐元件，并确定设计为接合该预定探针板盘的孔隙。之后，使用者可选择这些工具板中所需要的一个，并且运用固定和对齐元件将所选择的工具板配接并固定至该顶板－工具板附接区域。
文档编号G01R1/06GK1457282SQ01815633
公开日2003年11月19日 申请日期2001年9月14日 优先权日2000年9月15日
发明者詹姆斯·奥尔西洛 申请人:詹姆斯·奥尔西洛