专利名称：一种滤波片检测用的真空微吸附台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备，特别涉及滤波片检测用的真空微吸附台。
背景技术：
光通信领域中的波分复用滤波片，其成品是从大面积的镀膜基片上切割下成1×1×0.5mm，0.8×0.8×0.4mm，0.4×0.4×0.25mm等的小片，然后逐片检测筛选。常规检测装置如图一，由双尾自聚焦光纤射出的约直径0.2mm的光束通过待测件，由单尾自聚焦光纤接收测透射光，由待测件表面反射的光再经双尾自聚焦光纤接收，由其中的另一根光纤射出测反射光。测试前须将待测件快速准确放到位，加微限位块理论上可有定位作用，但由于物体之间的微力作用，使待测件不易靠紧微限位块，影响测量的准确性，要放置准确需较长时间，影响测量速度。
发明内容
本实用新型要解决的问题是将载物台做成一种特殊的真空微吸附台，使待测件受微力吸附于载物台通光孔上，克服了其它力的影响，能快速定位，并且用透射光和反射光均能测量。
该真空微吸附台包括真空微吸附台座，真空微吸附台板，真空泵气嘴，微限位块；将真空微吸附台板压入真空微吸附台座，形成腔体，并用胶密封，真空微吸附台两侧有同轴的孔，实现了即能通光又能吸附的目地。气嘴带胶用螺纹连接到台座，微限位块用胶固定在真空微吸附台板上。
该实用新型的优点是利用实验室的真空设备制作真空吸附台。即能快速定位，又能准确测量，同时用透射光和反射光均能测量，利用简单的装置，获得高精度的测量结果，而且制作成本低廉，可以推广使用。
图1是传统测量示意图1双尾自聚焦光纤、2待测件、3限位块、4载物台、5单尾自聚焦光纤；图2是本发明结构示意图，也为摘要附图。
6真空泵气嘴、7真空微吸附台座、8真空微吸附台板、9微限位块、10同轴通光孔；具体实施方式
本实施例结构示意图见图2。真空微吸附台座选用不锈钢材料，真空微吸附台板选用黄铜材料。这样形成一个腔体，两侧有同轴的通光孔。气嘴和真空泵相连，真空泵工作时便从两小孔同时吸入空气，将滤波片放在小孔上就会被吸住。微限位块的作用是给滤波片一个导向，用胶固定在真空微吸附台板上。
真空微吸附台两侧有同轴的孔，实现了即能通光又能吸附的目地。实现了透射光和反射光均能测量功能。从大面积的镀膜基片上切割下成1×1×0.5mm，0.8×0.8×0.4mm，0.4×0.4×0.25mm等的小片，然后逐片放到真空微吸附台进行检测，使用效果良好。
权利要求1一种滤波片检测用的真空微吸附台，它包括真空泵和真空微吸附台，其特征在于该真空微吸附台包括真空泵气嘴(6)、真空微吸附台座(7)，真空微吸附台板(8)、微限位块(9)和同轴通光孔(10)；各部件之间连接关系将真空微吸附台板(8)压入真空微吸附台座(7)形成腔体，并用胶密封；真空泵气嘴(6)带胶用螺纹连接到真空微吸附台座(7)上；微限位块(9)用胶固定在真空微吸附台板(8)上。
2按照权利要求1所述滤波片检测用的真空微吸附台，其特征在于真空微吸附台两侧有同轴通光孔(10)。
专利摘要本实用新型涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备，即真空微吸附台，它包括真空微吸附台座，真空微吸附台板，真空泵气嘴，微限位块；将真空微吸附台板压入真空微吸附台座，形成腔体，并用胶密封，真空微吸附台两侧有同轴的孔，实现了既能通光又能吸附的目地。气嘴带胶用螺纹连接到台座，微限位块用胶固定在真空微吸附台板上。本发明是将载物台做成一种特殊的真空微吸附台，使待测件受微力吸附于载物台通光孔上，克服了其它力的影响，能快速定位，并且实现了透射光和反射光均能测量功能。利用简单的装置，获得高精度的测量结果，而且制作成本低廉，可以推广使用。
文档编号G01M11/04GK2876766SQ20062002852
公开日2007年3月7日 申请日期2006年3月31日 优先权日2006年3月31日
发明者甘至宏 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所