专利名称：一种静电压表校正总成、其制作方法与其校正方法
技术领域：
本发明涉及一种静电压表的校正总成、其制作方法与其校正方法，特 别指一种具有粗调与微调的结构可精确校正静电压表的静电压表校正总 成。
背景技术：
在目前半导体产业中，静电防护主要执行目的为以下四点
(1) 增加生产量(Increased Yields):因若静电防护不佳，很可能 在生产半导体组件过程中因静电的影响，而导致组件的破坏。而且每一制 程过程中，皆有静电破坏影响的可能。因此合适的静电防护，可增加生产
(2) 节省成本(Cost Saving):因半导体组件的制程良率较高，相对 的制程成本可降低。因此合适的静电防护，可节省成本。
(3) 产品可靠性较佳(Better Product Reliability):在半导体组 件封装前，必须避免组件受静电破坏的可能。因此合适的静电防护，可使 产品的可靠性较佳。
(4) 产品寿命较长(Extended Usage Life):因静电量会累积，若于 制程过程中可避免静电量的累积于半导体组件上，可使得未来半导体组件 的产品寿命较长。因此合适的静电防护，可使产品的寿命较长。
因此，静电防护的重要性不言而喻。而静电防护主要透过量测机台的 静电量以进行机台的防护。其中，静电量的量测主要是透过静电压表进行 量测。而传统静电压表的校正方式，仅是透过简单手动校正方式进行校正，并无较准确的校正方式以校正静电压表。若校正的准确度较低，可能因为 静电压表量测不准确，导致制程机器的静电量持续累积，最后可能会导致 所制作出的半导体组件因静电量太大，而导致组件的破坏。然而准确的静 电压表的校正结构与校正方法，为半导体组件的自动化测试设备中不可或 缺的。所以如何提供一种准确的静电压表的校正结构与校正方法，乃为产 业界的一迫切课题。
发明内容
为了解决上述问题，本发明主要提出一种用于静电测试的静电压测器 校正总成，用于准确地校正静电压测器。此静电压测器校正总成特征在于 此校正总成具有高压板，设置在该卡持部行迸方向的前端，具有一输入端 以输入一高电压，提供符合该静电压表的校正规范。此校正总成具有第一 滑轨部，装设于该底板上，具有至少一第一轨道贯穿该卡持部的本体，使 得该卡持部朝向或远离该高压板滑动，进行静电压测器校正位置的粗调。 此校正总成具有第二滑轨部，设置于该卡持部的本体，具有至少一第二轨 道贯穿于该夹爪部，使该夹爪部与该本体可产生相对运动，进行静电压测 器校正位置的细调。此校正总成具有标尺部，设置在该卡持部的一侧，具 有一刻度尺、 一定位螺栓与一刻度指示器，其中该刻度尺上具有数字刻痕， 而该定位螺栓用以将该卡持部固定在第一滑轨部的适当位置，该刻度指示 器，用以标示该卡持部与该高压板的距离。此校正总成具有微调部，设于 该卡持部的本体后端，用以微量调整该夹爪部与该本体的距离。通过此， 使得此种具有高压板、滑轨部、标尺部及微调部的校正总成较传统校正方 式具有较准确的特性，且使得静电压量测可更为准确。
因而本发明的主要目的在于提供一种用于静电测试的静电压测器校 正总成，具有微调部可较精确校正静电压表的静电压表校正总成。
本发明的次要目的在于提供一种用于静电压表的校正总成的制作方法，具有微调部可较精确校正静电压表的静电压表校正总成。
本发明的再一目的在于提供一种静电压表的校正方法，可较精确校正
静电压表的静电压表校正总成。
据此，本发明提供一种用于静电压表的校正总成，包含 一底板；一
卡持部，用于承载及卡持一静电压表，卡持部包含一本体与一夹爪部；一
高压板，设置在卡持部行进方向的前端，具有一输入端以输入一高电压，
提供符合静电压表的校正规范； 一第一滑轨部，装设于底板上，具有至少 一第一轨道贯穿卡持部的本体，使得卡持部朝向或远离高压板滑动； 一标 尺部，设置在卡持部的一侧，具有一刻度尺、 一定位螺栓与一刻度指示器， 其中刻度尺上具有数字刻痕，而定位螺栓用以将卡持部固定在第一滑轨部 的适当位置，刻度指示器，用以标示卡持部与高压板的距离； 一第二滑轨 部，设置于卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯穿于夹爪部，使夹爪部 与本体可产生相对运动；以及一微调部，设于卡持部的本体后端，用以微 量调整夹爪部与本体的距离。
接着，本发明再提供一种用于静电压表的校正总成的制作方法，包含
提供一底板；提供一卡持部，用于承载及卡持一静电压表，卡持部包含一 本体与一夹爪部；提供一高压板，设置在卡持部行进方向的前端，具有一 输入端以输入一高电压，提供符合静电压表的校正规范；提供一第一滑轨 部，装设于底板上，具有至少一第一轨道贯穿卡持部的本体，使得卡持部 朝向或远离高压板滑动；提供一标尺部，设置在卡持部的一侧，具有一刻 度尺、 一定位螺栓与一刻度指示器，其中刻度尺上具有数字刻痕，而定位 螺栓用以将卡持部固定在第一滑轨部的适当位置，刻度指示器，连接于卡 持部的本体的一侧，用以标示卡持部与高压板的距离；提供一第二滑轨部， 设置于卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯穿于夹爪部，使夹爪部与本 体可产生相对运动；以及提供一微调部，是设于卡持部的本体后端，用以 微量调整夹爪部与本体的距离。接着，本发明又提供一种静电压表的校正方法，包含提供一静电压表； 以及提供一校正总成，包含 一底板； 一卡持部，用于承载及卡持静电压 表，卡持部包含一本体与一夹爪部； 一高压板，设置在卡持部行进方向的 前端，具有一输入端以输入一高电压，提供符合静电压表的校正规范；一 第一滑轨部，装设于底板上，具有至少一第一轨道贯穿卡持部的本体，使 得卡持部朝向或远离高压板滑动； 一标尺部，设置在卡持部的一侧，具有 一刻度尺、 一定位螺栓与一刻度指示器，其中刻度尺上具有数字刻痕，而 定位螺栓用以将卡持部固定在第一滑轨部的适当位置，刻度指示器，连接 于卡持部的本体的一侧，用以标示卡持部与高压板的距离； 一第二滑轨部， 设置于卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯穿于夹爪部，使夹爪部与本 体可产生相对运动；以及一微调部，是设于卡持部的本体后端，用以微量 调整夹爪部与本体的距离。
接着，本发明另提供一种用于静电压表的校正总成，包含 一底板； 一卡持部，用于承载及卡持一静电压表； 一高压板，设置在卡持部行进方 向的前端，具有一输入端以输入一高电压，提供符合静电压表的校正规范； 一滑轨部，装设于底板上，具有至少一轨道贯穿卡持部，使得卡持部朝向 或远离高压板滑动；以及一标尺部，设置在卡持部的一侧，具有一刻度尺、 一定位螺栓与一刻度指示器，其中刻度尺上具有数字刻痕，而定位螺栓用 以将卡持部固定在滑轨部的适当位置，刻度指示器，连接于卡持部的本体 的一侧，用以标示卡持部与高压板的距离。
图1为一横向立体图，是根据本发明所提出的用于静电压表的校正总
成；
图2为一纵向立体图，是根据本发明所提出的用于静电压表的校正总 成及其静电压表；图3为一横向侧视立体图，是根据本发明所提出的用于静电压表的校 正总成及其静电压表。
主要组件符号说明
校正总成 20
卡持部 21 本体 210 第一侧部 211 弹簧 2110 第二侧部 212 夹爪部 213 高压板 22 输入端 220 底板 23 第一滑轨部、滑轨部 24 第一轨道 240 标尺部 25 刻度尺 251 定位螺栓 252 刻度指示器 253 透视板 26 微调部 27 微调板 271 微调螺栓 272 第二滑轨部 28 第二轨道 280外罩盖部 静电压表 第一止动部
29
30
3具体实施例方式
由于本发明是揭露一种静电压测器校正总成，其中所利用的静电压量 测、制作及校正的基本原理，己为相关技术领域具有通常知识者所能明了， 故以下文中的说明，不再作完整描述。同时，以下文中所对照的图式，是 表达与本发明特征有关的结构示意，并未亦不需要依据实际尺寸完整绘 制，在此先予说明。
请参考图1，是根据本发明所提供的第一较佳实施例，为一种用于静 电压表30的校正总成20，包含卡持部21、高压板22、底板23、第一滑 轨部24、标尺部25、微调部27、第二滑轨部28及外罩盖部29。卡持部 21用于承载及卡持一静电压表30，卡持部21包含一本体210与一夹爪部 213，其中夹爪部213进一步包含一第一侧部211及一第二侧部212。此第 一侧部211及一第二侧部212为可产生相对运动以承载及卡持一静电压表 (未图示)于卡持部21。此外，第一侧部211更进一步包含一对弹簧2110， 用以将静电压表(未图标)弹性夹持在卡持部21之内。
高压板22，设置在卡持部21行进方向的前端，具有一输入端220以 输入一高电压，提供符合静电压表30的校正规范，依各种静电校正规范 进行校正静电压表30。
请参考图2与图3，第一滑轨部24，装设于底板23上，具有一对第 一轨道240贯穿卡持部21的本体210，使得卡持部21朝向或远离高压板 22滑动。其中底板23的材质为一绝缘防静电的材质。第二滑轨部28，设 置于卡持部21的本体210，具有一对第二轨道280贯穿于夹爪部213，使 夹爪部213与本体210可产生相对运动。标尺部25设置在卡持部23的一侧，具有刻度尺251、定位螺栓252 与刻度指示器253。刻度尺251上具有数字刻痕，是设置于底板23上，刻 度指示器253连接于卡持部21的一侧，用以标示卡持部21与高压板22 的距离。定位螺栓252用以将卡持部21固定在第一滑轨部24的适当位置， 刻度指示器253用以标示卡持部21与高压板22的距离。三者的相互搭配 可使校正静电压表30的使用者，可清楚知道此校正总成20的校正位置， 使得方便与记录。
微调部27，设于卡持部21的本体210后端，用以微量调整夹爪部213 与本体210的距离。此微调部27更进一步包含一微调板271及一微调螺 栓272。此外，微调板271上设置一螺孔，使得微调螺栓272穿过螺孔而 接触卡持部21，以纵向微调卡持部21与高压板22的间距离。
在上述的实施例中，此校正总成20更进一步包含一外罩盖部29，用 以覆盖整个静电压表30及校正总成20。外罩盖部29的材质是可为一透明 静电防护罩，以方便使用者直接透过透明处观看静电压表30的显示数值， 方便校正使用。
在上述的实施例中，此校正总成20更进一步包含一第一止动部31， 设置于卡持部21前端，以阻挡卡持部21行进中碰撞高压板22，避免高压 导电造成危险。
在上述的实施例中，此校正总成20亦进一步包含一透视板26，设置 在卡持部21行进方向的后端处，提供使用者于校正时可观看静电压表30 的校正数值，方便校正使用。
本发明进一步提供第二较佳实施例，是一种用于静电压表的校正总成 20的制作方法，包含
(1) 提供一底板23。
(2) 提供一卡持部21，用于承载及卡持一静电压表30，卡持部包含 一本体210与一夹爪部213。其中夹爪部213进一步包含一第一侧部211及一第二侧部212。此第一侧部211及一第二侧部212为可产生相对运动 以承载及卡持一静电压表30于卡持部21。此外，第一侧部211更进一步 包含一对弹簧2110，用以将静电压表30弹性夹持在卡持部21之内。
(3) 提供一高压板22，设置在卡持部行进方向的前端，具有一输入端 220以输入一高电压，提供符合静电压表的校正规范，依各种静电校正规 范以进行校正静电压表30。
(4) 提供一第一滑轨部24，装设于底板23上，具有一对第一轨道240 贯穿卡持部21的本体210，使得卡持部21朝向或远离高压板22滑动。其 中底板23的材质为一绝缘防静电的材质。
(5) 提供一标尺部25，设置在卡持部21的一侧，具有一刻度尺251、 一定位螺栓252与一刻度指示器253。刻度尺251上具有数字刻痕，设置 于底板23上，刻度指示器253连接于卡持部21的一侧，用以标示卡持部 21与高压板22的距离。定位螺栓252用以将卡持部21固定在第一滑轨部 24的适当位置，刻度指示器253用以标示卡持部21与高压板22的距离。 三者的相互搭配可使校正静电压表30的使用者，可清楚知道此校正总成 20的校正位置，使得方便与记录。
(6) 提供一第二滑轨部28，设置于卡持部21的本体210，具有一对 第二轨道280贯穿于夹爪部213，使夹爪部213与本体210可产生相对运 动。
(7) 提供一微调部27，设于卡持部21的本体210后端，用以微量调 整夹爪部213与本体210的距离。此微调部27更进一步包含一微调板271 及一微调螺栓272。此外，微调板271上设置一螺孔，使得微调螺栓272 穿过螺孔而接触卡持部21，以纵向微调卡持部21与高压板22的间距离。 在上述的实施例中，此校正总成20更进一步包含一外罩盖部29，用以覆 盖整个静电压表30及校正总成20。外罩盖部29的材质是可为一透明静电 防护罩，以方便使用者直接透过透明处观看静电压表30的显示数值，方便校正使用。
在上述的实施例中，此校正总成20更进一步包含一第一止动部31，
设置于卡持部21前端，以阻挡卡持部21行进中碰撞高压板22，避免高压 导电造成危险。
在上述的实施例中，此校正总成20亦进一步包含一透视板26，设置 在卡持部21行进方向的后端处，提供使用者于校正时可观看静电压表30 的校正数值，方便校正使用。
本发明进一步提供第三较佳实施例，请参考图2与图3，是一种静电 压表的校正方法，包含
(1) 提供一静电压表30。
(2) 提供一校正总成20。此校正总成20的结构与特征与第一较佳实 施例相同。
本发明进一步提供第四较佳实施例， 一种用于静电压表的校正总成 20，包含卡持部21、高压板22、底板23、滑轨部24、标尺部25、微调部 27及外罩盖部29。卡持部21用于承载及卡持一静电压表。高压板22，设 置在卡持部21行进方向的前端，具有一输入端220以输入一高电压，提 供符合静电压表30的校正规范。滑轨部24装设于底板23上，具有一对 轨道240贯穿卡持部21，使得卡持部21朝向或远离高压板22滑动。标尺 部25设置在卡持部21的一侧，具有一刻度尺251、 一定位螺栓252与一 刻度指示器253，其中刻度尺251上具有数字刻痕，而定位螺栓252用以 将卡持部21固定在滑轨部24的适当位置，刻度指示器253，连接于卡持 部21的本体210的一侧，用以标示卡持部21与高压板22的距离。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明的权利范 围；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施， 因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包 含在下述的申请专利范围中。
权利要求
1、一种用于静电压表的校正总成，其特征在于包含一底板；一卡持部，用于承载及卡持一静电压表，该卡持部包含一本体与一夹爪部；一高压板，设置在该卡持部行进方向的前端，具有一输入端以输入一高电压，提供符合该静电压表的校正规范；一第一滑轨部，装设于该底板上，具有至少一第一轨道贯穿该卡持部的本体，使得该卡持部朝向或远离该高压板滑动；一标尺部，设置在该卡持部的一侧，具有一刻度尺、一定位螺栓与一刻度指示器，其中该刻度尺上具有数字刻痕，而该定位螺栓用以将该卡持部固定在第一滑轨部的适当位置，该刻度指示器，用以标示该卡持部与该高压板的距离；一第二滑轨部，设置于该卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯穿于该夹爪部，使该夹爪部与该本体可产生相对运动；以及一微调部，是设于该卡持部的本体后端，用以微量调整该夹爪部与该本体的距离。
2、 依据权利要求1所述的校正总成，其特征在于，该刻度尺设置于 该底板上，该刻度指示器连接于该卡持部的一侧，用以标示该卡持部与该 高压板的距离。
3、 依据权利要求1所述的校正总成，其特征在于，该刻度尺连接于 该卡持部的一侧，该刻度指示器固定于该底板上，用以标示该卡持部与该 高压板的距离。
4、 依据权利要求1所述的校正总成，其特征在于，该夹爪部进一步 包含一第一侧部及一第二侧部，该第一侧部及一第二侧部可产生相对运动，同时该第一侧部进一步包含至少一弹簧，用以将该静电压表弹性夹持 在该卡持部之内。
5、 依据权利要求1所述的校正总成，其特征在于，该微调部进一步 包含一微调板及一微调螺栓，同时在该微调板上设置一螺孔，使得该微调 螺栓穿过该螺孔而接触该卡持部，以纵向微调该卡持部与该高压板的间距 离。
6、 依据权利要求1所述的校正总成，其特征在于，该底板的材质为 一绝缘防静电，该外罩盖部的材质为一透明静电防护罩，同时该校正总成 进一步包含一外罩盖部和一透视板，而该外罩盖部用以覆盖整个静电压表 的校正总成，而该透视板设置在该卡持部行进方向的后端处，提供使用者 观看静电压表校正。
7、 依据权利要求1所述的校正总成，其特征在于，该校正总成进一步包含一第一止动部，设置于该卡持部前端，以阻挡该卡持部行进中碰撞该高压板。
8、 一种用于静电压表的校正总成的制作方法，其特征在于包含提供一底板；提供一卡持部，用于承载及卡持一静电压表，该卡持部包含一本体与 一夹爪部；提供一高压板，设置在该卡持部行进方向的前端，具有一输入端以输 入一高电压，提供符合该静电压表的校正规范；提供一第一滑轨部，装设于该底板上，具有至少一第一轨道贯穿该卡 持部的本体，使得该卡持部朝向或远离该高压板滑动；提供一标尺部，设置在该卡持部的一侧，具有一刻度尺、 一定位螺栓 与一刻度指示器，其中该刻度尺上具有数字刻痕，而该定位螺栓用以将该 卡持部固定在第一滑轨部的适当位置，该刻度指示器，连接于该卡持部的 本体的一侧，用以标示该卡持部与该高压板的距离；提供一第二滑轨部，设置于该卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯 穿于该夹爪部，使该夹爪部与该本体可产生相对运动；以及提供一微调部，设于该卡持部的本体后端，用以微量调整该夹爪部与 该本体的距离。
9、 一种静电压表的校正方法，其特征在于包含提供一静电压表；以及提供一校正总成，包含一底板；一卡持部，用于承载及卡持该静电压表，该卡持部包含一本体与一夹 爪部；一高压板，设置在该卡持部行进方向的前端，具有一输入端以输入一 高电压，提供符合该静电压表的校正规范；一第一滑轨部，装设于该底板上，具有至少一第一轨道贯穿该卡持部 的本体，使得该卡持部朝向或远离该高压板滑动；一标尺部，设置在该卡持部的一侧，具有一刻度尺、 一定位螺栓与一 刻度指示器，其中该刻度尺上具有数字刻痕，而该定位螺栓用以将该卡持 部固定在第一滑轨部的适当位置，该刻度指示器，连接于该卡持部的本体 的一侧，用以标示该卡持部与该高压板的距离；一第二滑轨部，设置于该卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯穿于 该夹爪部，使该夹爪部与该本体可产生相对运动；以及一微调部，是设于该卡持部的本体后端，用以微量调整该夹爪部与该 本体的距离。
10、 一种用于静电压表的校正总成，其特征在于包含 一底板；一卡持部，用于承载及卡持一静电压表；一高压板，设置在该卡持部行进方向的前端，具有一输入端以输入一高电压，提供符合该静电压表的校正规范；一滑轨部，装设于该底板上，具有至少一轨道贯穿该卡持部，使得该卡持部朝向或远离该高压板滑动；以及一标尺部，设置在该卡持部的一侧，具有一刻度尺、 一定位螺栓与一 刻度指示器，其中该刻度尺上具有数字刻痕，而该定位螺栓用以将该卡持 部固定在滑轨部的适当位置，该刻度指示器，连接于该卡持部的本体的一 侧，用以标示该卡持部与该高压板的距离。
全文摘要
本发明一种用于静电压表的校正总成、校正总成的制作方法及校正方法。静电压表的校正总成，包含一底板；一卡持部，用于承载及卡持一静电压表；一高压板，设置在卡持部行进方向的前端，具有一输入端，提供符合静电压表的校正规范；一第一滑轨部，装设于底板上，具有一对第一轨道贯穿卡持部的本体；一标尺部，设置在卡持部的一侧，具有一刻度尺、一定位螺栓与一刻度指示器，其刻度尺上具有数字刻痕，；一第二滑轨部，设置于卡持部的本体，具有一对第二轨道贯穿于夹爪部，夹爪部与本体产生相对运动；及一微调部，设于卡持部的本体后端，用以微量调整夹爪部与本体的距离。
文档编号G01R35/00GK101452066SQ20071019694
公开日2009年6月10日 申请日期2007年12月6日 优先权日2007年12月6日
发明者郑茂森 申请人:京元电子股份有限公司