专利名称：透明基板的端部检测方法和端部检测装置以及处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及透明基板的端部检测方法和端部检测装置以及处理装置，特别涉及在液晶显示面板等中使用的、检测具有光学各向同性的透明基板的端部的技术。
背景技术：
在液晶显示面板的制造中，在透明基板上的规定位置叠层各种薄膜，因此，准确地检测出基板的端部很重要。
例如，专利文献1中公开了一种透明膜的端部检测方法由偏振
片(polarizer)使来自光源的光成为直线偏振光，使该直线偏振光的一部分透过透明膜，将该透过光和直线偏振光的另一部分向仅透过与直线偏振光正交的直线偏振光的检偏器(analyzer)照射，从其透过光检测出透明膜的端部。
可是，在液晶显示面板中，取代以往一直使用的玻璃基板，开发出了使用具有可挠性的膜基板的柔性的显示面板。在此，作为在液晶显示面板中使用的膜基板，为了将透过的直线偏振光准确地向液晶层传播，要求极高的光学各向同性。
例如，专利文献2中公开了在含有1,3-二氧戊环的溶剂中溶解有芳香族聚醚砜的溶液组合物、和使用该溶液组成物利用流延法得到表面性和光学各向同性优异的芳香族聚醚砜膜的膜的制造方法。
另外，专利文献3中公开了一种光学膜的制造方法当利用T模熔融挤出法对马来酰亚胺-烯共聚物和丙烯腈-苯乙烯共聚物进行挤出，并利用一个或多个冷却辊制造膜时，以规定范围的拉出速度进行拉出。而且，记载有由此，得到的光学膜具有优异的光学各向同性，因此，适合用作在液晶显示装置等中使用的透明电极膜、偏光膜保护膜、相位差膜等。
专利文献l:特开平3-6406号公报
4专利文献2:特开平7-300559号公报 专利文献3:特开2004-346199号公报
发明内容
但是，专利文献1中公开的端部检测方法是利用透明膜具有的旋 光性来检测出该透明膜的端部的方法，因此，在没有旋光性的、例如 专利文献2和3中公开的那样的具有光学各向同性的液晶显示面板用 的膜基板中，有检测不出基板的端部的问题。
本发明鉴于上述问题而做出，其目的在于准确地检测出具有光学 各向同性的透明基板的端部。
为了达到上述目的，本发明将由第一偏振片转换后的来自光源的 直线偏振光向透明基板的端部照射，通过具有与第一偏振片的偏光轴 正交的偏光轴的第二偏振片观察透过透明基板的端部的直线偏振光、 通过透明基板的外侧的直线偏振光、和在透明基板的内部传播并从透 明基板的端部侧面射出的射出光。
具体地说，本发明的透明基板的端部检测方法，是检测具有光学 各向同性的透明基板的端部的方法，其特征在于将由第一偏振片转
换后的来自光源的直线偏振光向上述透明基板的背面端部照射，通过 具有与上述第一偏振片的偏光轴正交的偏光轴的第二偏振片从上述透 明基板的表面侧观察透过该透明基板的端部的直线偏振光、通过该透 明基板的外侧的直线偏振光、和在该透明基板的内部传播并从该透明 基板的端部侧面射出的射出光。
根据上述方法，因为透明基板具有光学各向同性，所以，由第一 偏振片转换后的直线偏振光即使透过透明基板，其光波的振动方向也 不会改变。因此，透过透明基板的端部的直线偏振光、和通过透明基 板的外侧的直线偏振光被具有与第一偏振片的偏光轴正交的偏光轴的 第二偏振片遮断，因此，分别作为暗部被检测出来。另外，在透明基 板的内部传播并从透明基板的端部侧面射出的射出光，其直线偏光性 已不存在，因此，不会被第二偏振片遮断，作为明部被检测出来。由 此，在由透过透明基板的端部的直线偏振光产生的暗部与由通过透明 基板的外侧的直线偏振光产生的暗部之间，与透明基板的端部一致的明部被检测出来，因此，具有光学各向同性的透明基板的端部被准确 地检测出来。
另外，本发明的透明基板的端部检测装置，是检测具有光学各向 同性的透明基板的端部的装置，其特征在于，包括在上述透明基板 的端部的背面侧设置的光源；设置在上述透明基板和上述光源之间， 用于将来自该光源的光转换成直线偏振光的第一偏振片；在上述透明 基板的端部的表面侧设置的受光部；和设置在上述透明基板和上述受 光部之间，并具有与上述第一偏振片的偏光轴正交的偏光轴的第二偏 振片，上述受光部通过上述第二偏振片观察由上述第一偏振片转换并 透过上述透明基板的端部的直线偏振光、由上述第一偏振片转换并通 过该透明基板的外侧的直线偏振光、和由上述第一偏振片转换并在该 透明基板的内部传播且从该透明基板的端部侧面射出的射出光。
根据上述结构，因为透明基板具有光学各向同性，所以，由第一 偏振片转换后的来自光源的直线偏振光即使透过透明基板，其光波的 振动方向也不会改变。因此，透过透明基板的端部的直线偏振光、和 通过透明基板的外侧的直线偏振光被具有与第一偏振片的偏光轴正交 的偏光轴的第二偏振片遮断，因此，在受光部中，分别作为暗部被检 测出来。另外，在透明基板的内部传播并从端部侧面射出的射出光， 其直线偏光性己不存在，因此，不会被第二偏振片遮断，在受光部中， 作为明部被检测出来。由此，在受光部中，在由透过透明基板的端部 的直线偏振光产生的暗部与由通过透明基板的外侧的直线偏振光产生 的暗部之间，与透明基板的端部一致的明部被检测出来，因此，具有 光学各向同性的透明基板的端部被准确地检测出来。
可以在上述受光部和上述第二偏振片之间，设置有用于将上述透 明基板的端部放大观察的显微镜。
根据上述结构，利用显微镜将透明基板的端部放大观察，因此， 具有光学各向同性的透明基板的端部被更准确地检测出来。
上述受光部可以是至少一维的受光元件或者用于检测二维图像的 摄像机。
根据上述结构，受光部由例如一维(二维)图像传感器或CCD (charge-coupled device:电荷耦合器件)摄像机等构成，具体地起到本发明的作用效果。
另外，本发明的处理装置，是利用辊对辊方式对具有光学各向同 性的透明基板进行输送和处理的处理装置，其特征在于，包括在上 述透明基板的端部的背面侧设置的光源；设置在上述透明基板和上述 光源之间，用于将来自该光源的光转换成直线偏振光的第一偏振片； 在上述透明基板的端部的表面侧设置的受光部；和设置在上述透明基 板和上述受光部之间，并具有与上述第一偏振片的偏光轴正交的偏光 轴的第二偏振片，上述受光部通过上述第二偏振片观察由上述第一偏 振片转换并透过上述透明基板的端部的直线偏振光、由上述第一偏振 片转换并通过该透明基板的外侧的直线偏振光、和由上述第一偏振片 转换并在该透明基板的内部传播且从该透明基板的端部的侧面射出的 射出光，由此检测出被输送的上述透明基板的端部。
根据上述结构，因为透明基板具有光学各向同性，所以，由第一 偏振片转换后的来自光源的直线偏振光即使透过透明基板，其光波的 振动方向也不会改变。因此，透过透明基板的端部的直线偏振光、和 通过透明基板的外侧的直线偏振光被具有与第一偏振片的偏光轴正交 的偏光轴的第二偏振片遮断，因此，在受光部中，分别作为暗部被检 测出来。另外，在透明基板的内部传播并从端部侧面射出的射出光， 其直线偏光性已不存在，因此，不会被第二偏振片遮断，在受光部中， 作为明部被检测出来。由此，在受光部中，在由透过透明基板的端部 的直线偏振光产生的暗部与由通过透明基板的外侧的直线偏振光产生 的暗部之间，与透明基板的端部一致的明部被检测出来，因此，具有 光学各向同性的透明基板的端部被准确地检测出来。因为在处理装置 内输送的透明基板的位置能由受光部准确地检测出来，所以，能对该 透明基板准确地进行例如曝光、成膜、洗净、蚀刻、检査等处理。
上述处理装置还可以包括用于对由上述受光部检测出端部的透明 基板进行曝光处理的曝光部。
根据上述结构，在处理装置内包括曝光部，因此，能对在处理装 置内输送的透明基板准确地进行曝光处理。
上述处理装置还可以包括用于对由上述受光部检测出端部的透明 基板进行成膜处理的成膜部。
7根据上述结构，在处理装置内包括成膜部，因此，能对在处理装 置内输送的透明基板准确地进行成膜处理。
上述处理装置还可以包括用于对由上述受光部检测出端部的透明 基板的蛇行进行修正的蛇行修正部。
根据上述结构，在处理装置内包括蛇行修正部，因此，即使在处 理装置内输送的透明基板的端部从规定位置偏移，透明基板发生蛇行， 也能利用蛇行修正部，使透明基板的端部返回到规定位置，修正透明 基板的蛇行。
发明效果
根据本发明，将由第一偏振片转换后的来自光源的直线偏振光向 透明基板的端部照射，通过具有与第一偏振片的偏光轴正交的偏光轴 的第二偏振片观察透过透明基板的端部的直线偏振光、通过透明基板 的外侧的直线偏振光、和在透明基板的内部传播并从透明基板的端部 侧面射出的射出光，因此，能够准确地检测出具有光学各向同性的透 明基板的端部。
图1是实施方式1的处理装置50a的立体图。 图2是表示构成处理装置50a的CCD摄像机15a的视野像I的示 意图。
图3是由处理装置50a输送的膜基板IO通常时的俯视图。 图4是由处理装置50a输送的膜基板10蛇行时的俯视图。 图5是表示一维图像传感器的传感器输出例子的图。 图6是由包括一维图像传感器15b的处理装置输送的膜基板10通 常时的俯视图。
图7是由包括一维图像传感器15b的处理装置输送的膜基板10蛇 行时的俯视图。
图8是实施方式2的处理装置50b的立体图。
图9是由处理装置50b输送的膜基板10通常时的俯视图。
图10是由处理装置50b输送的膜基板10弯曲时的俯视图。
8图11是由处理装置50b输送的膜基板10在宽度方向上偏移时的 俯视图。
图12是由处理装置50b输送的膜基板10沿输送方向倾斜地偏移 时的俯视图。
图13是实施方式3的处理装置50c的立体图。 图14是实施方式4的处理装置50d的立体图。
符号说明
Pa、Pb偏光轴
10膜基板(透明基板)
12光源
13第一偏光滤光片(第一偏振片)
14第二偏光滤光片(第二偏振片)
15aCCD摄像机(受光部)
15b一维图像传感器(受光部、受光元件)
16显微镜
20端部检测装置
25a-、25d蛇行修正部
30曝光部
35成膜部
50a-、50d处理装置
具体实施例方式
以下，根据附图对本发明的实施方式详细地进行说明。此外，本 发明并不限定于以下的各实施方式。 《发明的实施方式l》
图1 图7表示本发明的透明基板的端部检测方法和端部检测装 置以及处理装置的实施方式l。
图1是本实施方式的处理装置50a的立体图。
如图1所示，处理装置50a构成为从巻出辊ll巻出的膜基板lO 在从右侧输送至左侧的期间被处理，然后被巻取在巻取辊18上。在巻出辊11的左侧，如图1所示，设置有构成为将被巻出后的膜
基板10的两端部夹住的一对蛇行修正部25a和25b。
在巻取辊18的右侧，如图1所示，设置有构成为将被巻取前的膜 基板10的两端部夹住的一对蛇行修正部25c和25d。
各蛇行修正部25a 25d，如图1所示，包括设置成能够沿着膜 基板10的宽度方向平行移动的基底部21;设置成垂直地竖立在基底部 21上的支柱部22;和设置成在支柱部22的上部向侧方突出并且能够 旋转的一对夹持辊23a和23b。
蛇行修正部25a和25b (25c和25d)，如图1所示，构成为将膜 基板10的两端部夹在上侧的夹持辊23a的周壁与下侧的夹持辊23b的 周壁之间，在施加一定的张力使得在膜基板10的宽度方向上不弯曲的 状态下，沿着膜基板10的宽度方向适当地平行移动，由此，对膜基板 10的蛇行进行修正。
在蛇行修正部25b的左侧和蛇行修正部25d的右侧，如图1所示， 分别配置有端部检测装置20，该端部检测装置20包括在膜基板10 的端部的背面侧设置的光源12;在膜基板10和光源12之间作为第一 偏振片设置的第一偏光滤光片13;在膜基板10的端部的表面侧作为受 光部设置的CCD摄像机15a;在膜基板10和CCD摄像机15a之间作 为第二偏振片设置的第二偏光滤光片14;和在CCD摄像机15a的第二 偏光滤光片14 一侧设置的倍率为10倍左右的显微镜16。此外，第二 偏光滤光片14的偏光轴Pb与第一偏光滤光片13的偏光轴Pa大致正 父。
膜基板10是利用例如上述专利文献2和3中公开的制造方法制造 的宽度500mm、长度60m、厚度100pm左右的具有光学各向同性的透 明基板。
接着，使用图1和图2,对利用上述结构的处理装置50a检测膜基 板10的端部的方法进行说明。在此，图2是表示CCD摄像机15a的 视野像I的示意图。在此，图2的视野像I的大小，例如为直径5mm 左右。此外，图2中的箭头T表示膜基板10的输送方向。
由第一偏光滤光片13将来自光源12的光转换成直线偏振光，将 该转换后的直线偏振光向膜基板10的背面端部(参照图1中的照射区域A)照射。由CCD摄像机15a通过第二偏光滤光片14拍摄膜基板 IO的照射区域A。此时，因为膜基板10具有光学各向同性，所以，由 第一偏光滤光片13转换后的来自光源12的直线偏振光即使透过膜基 板10，其光波的振动方向也不会改变。因此，透过膜基板10的端部的 直线偏振光、和通过膜基板10的外侧的直线偏振光被第二偏光滤光片 14遮断，因此，在CCD摄像机15a中，分别作为暗部被检测出来。另 外，在膜基板10的内部传播并从膜基板10的端部侧面射出的射出光， 其直线偏光性己不存在，因此，不会被第二偏光滤光片14遮断，在 CCD摄像机15a中，作为线状的明部被检测出来。因此，在CCD摄像 机15a中，如图2的视野像I所示，在由透过膜基板10的端部的直线 偏振光产生的暗部(参照有膜部Fp)与由通过膜基板10的外侧的直线 偏振光产生的暗部(参照无膜部Fa)之间，与膜基板10的端部一致的 线状的明部E被检测出来。
图3是由处理装置50a输送的膜基板10通常时的俯视图，图4是 其蛇行时的俯视图。
在此，在膜基板10没有发生蛇行地被输送的情况下，如图3所示， 在各视野像Id和Ib中，与膜基板10的端部一致的线状的明部E位于 中央。
处理装置50a中的各端部检测装置20的位置是一定的，因此，当 膜基板10在输送过程中发生蛇行的情况下，如图4所示，在各视野像 Id和Ib中，线状的明部E分别向下侧(朝向基板输送方向看时的左侧) 和上侧(朝向基板输送方向看时的右侧)偏移。在该情况下，使蛇行 修正部25a和25b向朝向基板输送方向看时的左侧移动，并且，使蛇 行修正部25c和25d向朝向基板输送方向看时的右侧移动，由此，膜 基板10的蛇行被修正。
如以上所述，能够检测出膜基板10的端部，并且能够修正膜基板 10的蛇行。
另外，在使用一维图像传感器取代上述CCD摄像机15a的情况下， 通过使多个受光元件沿着膜基板10的宽度方向排列成1歹U，可得到图 5所示的传感器输出。
在图5中，横轴表示膜基板10的宽度方向上的位置W，纵轴表示
ii传感器输出P。在此，横轴的WC是传感器(排列成1列的多个受光元 件)的中央位置，纵轴的Pt是用于判定为膜基板10的端部的阈值。与
上述CCD摄像机15a同样，透过膜基板10的端部的直线偏振光、和 通过膜基板10的外侧的直线偏振光被第二偏光滤光片14遮断，因此， 由一维图像传感器在相对低的输出作为暗部(有膜部Fp和无膜部Fa) 检测出来。另外，在膜基板10的内部传播并从膜基板10的端部侧面 射出的射出光，其直线偏光性己不存在，因此，不会被第二偏光滤光 片14遮断，由一维图像传感器在相对高的输出作为明部E检测出来。
图6是由包括一维图像传感器15b的处理装置输送的膜基板10通 常时的俯视图，图7是其蛇行时的俯视图。
在此，在膜基板10没有发生蛇行而被输送的情况下，如图6所示， 表示膜基板10的端部的明部E与传感器的中央位置Wc —致。
处理装置50a中的各端部检测装置20 (—维图像传感器15b)的 位置是一定的，因此，当膜基板10在输送过程中发生蛇行的情况下， 如图7所示，表示膜基板10的端部的明部E与传感器的中央位置Wc 分离。
如以上说明的那样，根据本实施方式的膜基板10的端部检测方法 和端部检测装置20以及处理装置(50a)，因为膜基板10具有光学各 向同性，所以，由第一偏光滤光片13转换后的来自光源12的直线偏 振光即使透过膜基板10，其光波的振动方向也不会改变。因此，透过 膜基板10的端部的直线偏振光、和通过膜基板10的外侧的直线偏振 光，被具有与第一偏光滤光片13的偏光轴Pa正交的偏光轴Pb的第二 偏光滤光片14遮断，因此，在CCD摄像机15a或一维图像传感器15b 中，分别作为暗部被检测出来。另外，在膜基板10的内部传播并从端 部侧面射出的射出光，其直线偏光性已不存在，因此，不会被第二偏 光滤光片14遮断，在CCD摄像机15a或一维图像传感器15b中，作 为明部被检测出来。由此，在CCD摄像机15a或一维图像传感器15b 中，在由透过膜基板10的端部的直线偏振光产生的暗部(有膜部Fp) 与由通过膜基板10的外侧的直线偏振光产生的暗部(无膜部Fa)之间， 与膜基板10的端部一致的线状的明部E被检测出来，因此，能够准确 地检测出具有光学各向同性的膜基板10的端部。另外，根据本实施方式的端部检测装置20，在作为受光部设置的 CCD摄像机15a或一维图像传感器15b与第二偏光滤光片14之间设置 有用于将膜基板10的端部放大观察的显微镜16,因此，膜基板10的 端部由该显微镜16放大观察，能够更准确地检测出膜基板10的端部。《发明的实施方式2》图8是本实施方式的处理装置50b的立体图。此外，在以下的各 实施方式中，对于与图1 图7相同的部分，标注相同的符号，并省略 其详细说明。在上述实施方式1的处理装置50a中，端部检测装置20配置在被 输送的膜基板10的一个端部，但是，在本实施方式的处理装置50b中， 对各蛇行修正部25a 25d设置有端部检测装置20，在膜基板10的两 端部配置有端部检测装置20。图9是由处理装置50b输送的膜基板10通常时的俯视图，图10 是该膜基板10弯曲时的俯视图。图11是由处理装置50b输送的膜基 板10在宽度方向上偏移时的俯视图，图12是该膜基板10沿输送方向 倾斜地偏移时的俯视图。此外，在图9 图12中，各图(b)是示意性 地表示被输送的膜基板10的状态的俯视图，图中虚线表示标准位置的 膜基板10的轮廓。在此，在膜基板10没有发生蛇行而被输送的情况下，如图9所示， 在各视野像Ia Id中，与膜基板10的端部一致的线状的明部E位于中 央。处理装置50b中的各端部检测装置20的位置是一定的，因此，当 膜基板10在输送过程中弯曲的情况下，如图10所示，在视野像Id中， 线状的明部E向下侧(朝向基板输送方向看时的左侧)偏移。另外，当膜基板10在输送过程中在宽度方向上偏移的情况下，如 图11所示，在各视野像Ia Id中，与膜基板10的端部一致的线状的 明部E向上侧偏移。另外，当膜基板10在输送过程中沿输送方向倾斜地偏移的情况下， 如图11所示，在视野像Ic和Id中，与膜基板10的端部一致的线状的 明部E向上侧偏移，并且，在视野像Ia和Ib中，与膜基板10的端部13一致的线状的明部E向下侧偏移。根据本实施方式的处理装置50b，能够与上述实施方式1的处理装 置50a同样准确地检测出具有光学各向同性的膜基板10的端部，并且 能够更详细地检测出膜基板10的蛇行。《发明的实施方式3》图13是本实施方式的处理装置50c的立体图。 处理装置50c为在上述实施方式1的处理装置50a中追加有曝光 部30的结构。曝光部30，如图13所示，例如包括利用真空卡盘从背面吸附膜 基板10的吸附台26;和用于对在被吸附台26吸附的膜基板10上设置 的感光性树脂膜进行曝光的光源27。吸附台26设置成能够向沿着膜基板10的输送方向的前后左右移 动、并且能够在水平面中旋转。在被吸附台26吸附的膜基板10与光源27之间，设置有用于将膜 基板10上的感光性树脂膜曝光成规定形状的光掩模(未图示)。在此，说明使用上述结构的处理装置50c，对在膜基板10上设置 的感光性树脂膜进行曝光的方法。首先，利用各端部检测装置20检测出膜基板10的端部，确认膜 基板10和吸附台26的位置关系。接着，通过使吸附台26适当移动和旋转，以膜基板10的侧边与 吸附台26的侧边平行的方式，使膜基板10吸附在吸附台26上。然后，通过使吸附有膜基板10的吸附台26适当移动和旋转，将 膜基板10配置在光源27下方的规定位置。进一步，将来自光源27的光通过光掩模供给膜基板10，由此，使 被配置在规定位置的膜基板10上的感光性树脂膜曝光。最后，在将吸附台26的吸附解除之后，利用巻出辊11和巻取辊 12，将膜基板10以1个处理单位进行步进输送。通过像以上那样，能够对在膜基板10上设置的感光性树脂膜进行根据本实施方式的处理装置50c,由各CCD摄像机15a准确地检测出装置内的膜基板10的位置，并且，由各蛇行修正部25a 25d修 正膜基板10的蛇行，因此，能够对在该膜基板10上设置的感光性树 脂膜准确地进行曝光。《发明的实施方式4》图14是本实施方式的处理装置50d的立体图。 处理装置50d为在上述实施方式1的处理装置50a中追加有成膜 部35的结构。成膜部35，如图14所示，包括以相互相对的方式配置的上部电极 31和下部电极32。在上部电极31的下表面设置有用于喷出原料气体的多个气体喷出 口 (未图示)。另外，上部电极31与高频电源(未图示)连接，被施加来自高频 电源的高频电力。被步进输送的膜基板10载置在下部电极32的上表面上。另外，在下部电极32的内部内置有加热器，下部电极32的表面 的温度能够控制，并且下部电极32被电接地。在此，说明使用上述结构的处理装置50d，在膜基板10上形成非 晶硅膜的方法。首先，利用各端部检测装置20检测出膜基板10的端部，以确认 在构成成膜部35的上部电极31和下部电极32之间，膜基板10被配 置在规定位置。此外，在膜基板10未被配置在规定位置的情况下，通 过使各蛇行修正部25a 25d、巻出辊11和巻取辊18等适当动作，将 膜基板10配置在规定位置。接着，向包括成膜部35的处理室(未图示)的内部供给甲硅烷等 原料气体，同时对处理室内进行减压。进一步，通过向上部电极31施加高频电力，在上部电极31和下 部电极32之间产生原料气体的等离子体，在该等离子体中生成自由基。 通过使该自由基在膜基板10的表面堆积，在膜基板10上形成非晶硅 膜。最后，在停止施加高频电力，并停止向处理室供给原料气体之后，15利用巻出辊11和巻取辊12，将膜基板10以1个处理单位进行步进输 送。通过像以上那样，能够在膜基板10上形成非晶硅膜。根据本实施方式的处理装置50d，由CCD摄像机15a准确地检测 出装置内的膜基板10的位置，因此，能够在该膜基板10的规定位置 准确地形成非晶硅膜。在本实施方式中，作为成膜部，例示了 CVD (chemical vapor deposition:化学气象沉积)装置，但也可以是溅射装置。另外，在上述各实施方式中，作为处理装置，例示了分别包括蛇 行修正部、曝光部和成膜部的装置，但是，本发明也能够应用于洗净 装置、蚀刻装置、检査装置、贴合装置等各种制造装置。另外，在上述各实施方式中，例示了从背面侧向膜基板IO的端部 照射直线偏振光，从表面侧观察该直线偏振光的方法，但是，本发明 也可以从表面侧向膜基板10的端部照射直线偏振光，从背面侧观察该 直线偏振光。产业上的可利用性如以上说明的那样，本发明能够准确地检测出具有光学各向同性 的膜基板的端部，因此，对于利用辊对辊方式制造液晶显示面板是有 用的。
权利要求
1.一种透明基板的端部检测方法，其为检测具有光学各向同性的透明基板的端部的方法，其特征在于将由第一偏振片转换后的来自光源的直线偏振光向所述透明基板的背面端部照射，通过具有与所述第一偏振片的偏光轴正交的偏光轴的第二偏振片从所述透明基板的表面侧观察透过该透明基板的端部的直线偏振光、通过该透明基板的外侧的直线偏振光、和在该透明基板的内部传播并从该透明基板的端部侧面射出的射出光。
2. —种透明基板的端部检测装置，其为检测具有光学各向同性的 透明基板的端部的装置，其特征在于，包括在所述透明基板的端部的背面侧设置的光源；设置在所述透明基板和所述光源之间，用于将来自该光源的光转 换成直线偏振光的第一偏振片；在所述透明基板的端部的表面侧设置的受光部；和设置在所述透明基板和所述受光部之间，并具有与所述第一偏振 片的偏光轴正交的偏光轴的第二偏振片，所述受光部通过所述第二偏振片观察由所述第一偏振片转换并透 过所述透明基板的端部的直线偏振光、由所述第一偏振片转换并通过 该透明基板的外侧的直线偏振光、和由所述第一偏振片转换并在该透 明基板的内部传播且从该透明基板的端部侧面射出的射出光。
3. 根据权利要求2所述的透明基板的端部检测装置，其特征在于 在所述受光部和所述第二偏振片之间，设置有用于将所述透明基板的端部放大观察的显微镜。
4. 根据权利要求2所述的透明基板的端部检测装置，其特征在于 所述受光部是至少一维的受光元件或者用于检测二维图像的摄像机。
5. —种处理装置，其为利用辊对辊方式对具有光学各向同性的透明基板进行输送和处理的处理装置，其特征在于，包括 在所述透明基板的端部的背面侧设置的光源；设置在所述透明基板和所述光源之间，用于将来自该光源的光转 换成直线偏振光的第一偏振片；在所述透明基板的端部的表面侧设置的受光部；和设置在所述透明基板和所述受光部之间，并具有与所述第一偏振 片的偏光轴正交的偏光轴的第二偏振片，所述受光部通过所述第二偏振片观察由所述第一偏振片转换并透 过所述透明基板的端部的直线偏振光、由所述第一偏振片转换并通过 该透明基板的外侧的直线偏振光、和由所述第一偏振片转换并在该透 明基板的内部传播且从该透明基板的端部的侧面射出的射出光，由此 检测出被输送的所述透明基板的端部。
6. 根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于 包括用于对由所述受光部检测出端部的透明基板进行曝光处理的曝光部。
7. 根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于 包括用于对由所述受光部检测出端部的透明基板进行成膜处理的成膜部。
8. 根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于 包括用于对由所述受光部检测出端部的透明基板的蛇行进行修正的蛇行修正部。
全文摘要
本发明提供透明基板的端部检测方法和端部检测装置以及处理装置。本发明的透明基板的端部检测装置包括在透明基板(10)的端部的背面侧设置的光源(12)；设置在透明基板(10)和光源(12)之间，用于将来自光源(12)的光转换成直线偏振光的第一偏振片(13)；在透明基板(10)的端部的表面侧设置的受光部(15a)；和设置在透明基板(10)和受光部(15a)之间，并具有与第一偏振片(13)的偏光轴(Pa)正交的偏光轴(Pb)的第二偏振片(14)，受光部(15a)通过第二偏振片(14)观察由第一偏振片(13)转换并透过透明基板(10)的端部的直线偏振光、由第一偏振片(13)转换并通过透明基板(10)的外侧的直线偏振光、和由第一偏振片(13)转换并在透明基板(10)的内部传播且从透明基板(10)的端部侧面射出的射出光。
文档编号G01B11/00GK101657696SQ20088001049
公开日2010年2月24日 申请日期2008年2月12日 优先权日2007年7月17日
发明者铃木正彦 申请人:夏普株式会社