专利名称：测试系统的制作方法
技术领域：
测试系统
技术领域：
本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种测试系统。背景技术：
BC3196D是北京新润泰思特测控技术有限公司生产的一款数模混合集成电路测试 仪，其具有覆盖面宽、性能稳定、操作使用方便等特点。测试仪内置一个高精度的数字电压 表(DVM)，可差分测量，其具体技术指标如下表 其中分辨率是指测试系统理论上能够分辨的最小(电压)值，精确度是指测试系 统的测试值与真实值之间的误差。从表中可以看出，BC3196D在测试电压值为个位数的模拟集成电路时，精确度只能 达到mV数量级。然而随着半导体技术的发展，有些模拟集成电路对测试时精确度的要求已 经达到了 0. ImV。
实用新型内容为了解决传统的集成电路测试仪电压的测试精确度不够高的问题，有必要提供一 种电压测量精确度高的测试系统。—种测试系统，包括相互连接的集成电路测试仪和数据处理装置，还包括与数据 处理装置连接的电压测量模块；所述数据处理装置控制集成电路测试仪和电压测量模块对 待测器件进行测试；所述集成电路测试仪为待测器件提供测试条件，包括施加一定的电压、 电流，并测量待测器件的电流、频率以及精确度要求> 1毫伏的电压参数；所述电压测量模 块测量待测器件的测量精确度要求<1毫伏的电压参数。优选的，所述电压测量模块包括PXI接口的数字万用表以及提供PXI接口插槽的 机箱，所述数字万用表插入机箱的PXI接口插槽内；所述机箱与数据处理装置连接，交换数 据。优选的，所述数字万用表是NI PXI-4070，所述机箱是NI PXI-1033。优选的，所述电压测量模块在对待测器件进行测试时采用的是差分测量的连接方 式，电压测量模块的高电平端口与待测器件的高电平端相连接，电压测量模块的低电平端口与待测器件的低电平端相连接。优选的，所述集成电路测试仪为BC3196D。上述测试系统在传统的集成电路测试仪上外挂一个高精确度的电压测量模块，提 升了测试系统测量电压的精确度。
图1是一个实施例中测试系统的结构示意图。
具体实施方式
为了解决集成电路测试系统电压的测试精确度不够高的问题，本实用新型通过在 传统的集成电路测试仪上外挂一个高精确度的电压测量模块来满足更高的电压精确度测 量要求。图1是测试系统的结构示意图。测试系统100包括数据处理装置110、集成电路测 试仪120以及电压测量模块130。数据处理装置110与集成电路测试仪120、电压测量模块130连接，控制集成电路 测试仪120和电压测量模块130对待测器件(Device Under Test, DUT) 200进行测试。数 据处理装置110对集成电路测试仪120下达施加测试条件指令，为待测器件200施加测试 条件(一定的电压、电流、继电器控制等)。数据处理装置110还用于对集成电路测试仪120 和电压测量模块130下达开始测试指令，令集成电路测试仪120测量待测器件200的电流、 频率以及精确度要求不高(》ImV)的电压等参数；令电压测量模块130测量待测器件200 的高精确度要求(< ImV)的电压。在优选的实施例中，数据处理装置110采用个人电脑 (PersonalComputer, PC)0集成电路测试仪120与待测器件200连接，接收数据处理装置110的施加测试条 件指令，为待测器件200施加测试条件；以及开始测试指令，测量待测器件200的电流、频 率以及精确度要求不高(》ImV)的电压等参数，并将测试结果返回数据处理装置110。集 成电路测试仪120可以是北京新润泰思特测控技术有限公司生产的BC3196D，由于其采用 Visual C++编程环境，因此具有良好的可扩展性。电压测量模块130与待测器件200连接，接收数据处理装置110的开始测试指令， 测量待测器件200的高测量精确度要求(< ImV)的电压，并将测试结果返回数据处理装置 110。电压测量模块130与待测器件200的连接采用差分测量的连接方式，高电平端口与待 测器件200的高电平端相连接，低电平端口与低电平端相连接。在一个优选的实施例中，电压测量模块130采用National Instruments (Ni，美国 国家仪器)公司生产的数字万用表(digital multimeter，DMM)NI PXI-4070，并将该数字 万用表接入National Instruments (Ni)公司生产的专用机箱(chassis)NI PXI-1033内， 即将数字万用表插入机箱的PXI接口插槽内；机箱与数据处理装置110连接，交换数据。由于是在BC3196D上外挂一个高精确度的电压测量模块130，为了兼容并与 BC3196D配合工作，外挂的电压测量模块130必须要有足够快的测量速度和数据传输速度。 NI PXI-4070 是一款六位半数字万用表，采用 PXI(PCI extensionsfor Instrumentation, 面向仪器系统的PCI扩展，PCI是Peripheral ComponentInterconnect的缩写，中文意思 为外围组件互连)接口，可测量士 300V电压和士 IA电流，具有10位到23位的可调节分辨率，采样速率彡100采样点/秒，精确度为士6ppm V(ppm指parts per million，百万分 之)，也就是测量IOV的电压时精确度为士0. 06mV,能够满足精确度要求达到0. ImV级别的 集成电路测试。NI PXI-1033是一款有5个接口 PXI插槽的机箱，集成了 MXI-Express控制器，数 据传输速度可达llOMB/s。其为NI PXI-4070提供总线控制、工作电源、与数据处理装置110 的数据交换及其他支持。上述测试系统在传统的集成电路测试仪上外挂一个高精确度的电压测量模块，提 升了测试系统测量电压的精确度。采用BC3196D作为集成电路测试仪，由于其采用Visual C++编程环境，因此具有良好的可扩展性，保证了外挂的电压测量模块能与原有测试系统兼 容。采用PXI接口的数字万用表及机箱，保证了足够快的测量速度和数据传输速度。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属 于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求一种测试系统，包括相互连接的集成电路测试仪和数据处理装置，其特征在于，还包括与数据处理装置连接的电压测量模块；所述数据处理装置控制集成电路测试仪和电压测量模块对待测器件进行测试；所述集成电路测试仪为待测器件提供测试条件，包括施加一定的电压、电流，并测量待测器件的电流、频率以及精确度要求≥1毫伏的电压参数；所述电压测量模块测量待测器件的测量精确度要求＜1毫伏的电压参数。
2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述电压测量模块包括PXI接口的数 字万用表以及提供PXI接口插槽的机箱，所述数字万用表插入机箱的PXI接口插槽内；所述 机箱与数据处理装置连接，交换数据。
3.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于，所述数字万用表是OTPXI-4070，所述 机箱是 NI PXI-1033。
4.根据权利要求3所述的测试系统，其特征在于，所述电压测量模块在对待测器件进 行测试时采用的是差分测量的连接方式，电压测量模块的高电平端口与待测器件的高电平 端相连接，电压测量模块的低电平端口与待测器件的低电平端相连接。
5.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述集成电路测试仪为BC3196D。
专利摘要本实用新型涉及一种测试系统，包括相互连接的集成电路测试仪和数据处理装置，还包括与数据处理装置连接的电压测量模块；数据处理装置控制集成电路测试仪和电压测量模块对待测器件进行测试；集成电路测试仪为待测器件提供测试条件，包括施加一定的电压、电流，并测量待测器件的电流、频率以及精确度要求≥1毫伏的电压参数；电压测量模块测量待测器件的测量精确度要求＜1毫伏的电压参数。上述测试系统在传统的集成电路测试仪上外挂一个高精确度的电压测量模块，提升了测试系统测量电压的精确度。
文档编号G01R15/12GK201637817SQ201020148359
公开日2010年11月17日 申请日期2010年3月25日 优先权日2010年3月25日
发明者顾汉玉 申请人:华润赛美科微电子(深圳)有限公司