放射线图像取得装置制造方法
【专利摘要】一种放射线图像取得装置，具备：出射放射线的放射线源；对应于从放射线源出射并透过了对象物的放射线的入射而产生闪烁光的平板状的波长变换构件；对从波长变换构件的放射线的入射面沿着相对于入射面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第1摄像机构；以及对从与波长变换构件的入射面相反侧的面沿着相对于相反侧的面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第2摄像机构。
【专利说明】放射线图像取得装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种放射线图像取得装置。
【背景技术】
[0002]历来，已知的有如下述专利文献I所记载的那样，将从X射线源产生而透过了摄像对象物的X射线照射到平板状的闪烁器，由层叠在闪烁器两面的固体光检测器检测在闪烁器发光的可见光(闪烁光)，使从各固体光检测器输出的图像信号重叠而取得放射线图像的装置。在该装置中，使光检测元件耦合于闪烁器的X射线的入射面及其背面，在入射面侧的光检测元件与背面侧的光检测元件的各个中检测可见光，由此提高可见光的检测效率。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开平7-27866号公报实用新型内容
[0006]实用新型所要解决的问题
[0007]如上述那样在闪烁器的两面检测闪烁光的装置中，能够在入射面侧及其背面侧取得不同能量带的放射线图像，并使所谓的双能(dual-energy)的图像取得变得可能。
[0008]然而，上述现有的装置中，透过了对象物的放射线透过入射面侧的光检测元件而到达闪烁器，因而比较低能量带的放射线被入射面侧的光检测元件吸收。例如，在对象物由轻原子形成的情况下，透过了对象物的放射线有时会被入射面侧的光检测元件吸收。如此，存在透过了对象物的放射线会受到入射面侧的光检测元件的影响这样的问题。
[0009]因此，本实用新型的目的在于，提供一种放射线图像取得装置，其能够取得不同能量带的放射线图像，而且能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。
[0010]解决技术问题的手段
[0011]本实用新型的一个方式所涉及的放射线图像取得装置，其特征在于，具备:出射放射线的放射线源；对应于从放射线源出射并透过了对象物的放射线的入射而产生闪烁光的平板状的波长变换构件；对从波长变换构件的放射线的入射面沿着相对于入射面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第I摄像机构；以及对从波长变换构件的入射面的相反侧的面沿着相对于相反侧的面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第2摄像机构。
[0012]根据本实用新型的一个方式所涉及的放射线图像取得装置，从波长变换构件的放射线的入射面及其相反侧的面出射的闪烁光分别由第I摄像机构和第2摄像机构聚光并摄像。由此，实现取得不同能量带的放射线图像的双能摄像。这里，第I摄像机构由于对从入射面出射的闪烁光进行聚光，因此配置在与波长变换构件相离的位置。因此，能够做成摄像机构不介于对象物与波长变换构件之间的结构，能够避免摄像机构对透过了对象物的放射线产生影响那样的情形。因此，能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。此外，由第I摄像机构聚光的闪烁光沿着相对于入射面的法线方向倾向的方向出射，由第2摄像机构聚光的闪烁光沿着相对于相反侧的面的法线方向倾斜的方向出射，因而由任意一种摄像机构摄像的放射线图像均产生同样的透视倾斜(perspective)。因此，入射面侧和相反侧的面侧的图像间的校正等的运算会变得容易。
[0013]另外，可选地，第I摄像机构和第2摄像机构各自具有:对从波长变换构件出射的闪烁光进行聚光的聚光透镜部、以及对被聚光的闪烁光进行摄像的摄像部。在这种情况下，以焦点对准于波长变换构件的入射面和相反侧的面的各面的方式进行聚光，由此能够取得能量区别性良好且明亮的放射线图像。[0014]这里，可选地，第I摄像机构和第2摄像机构配置成相对于波长变换构件而面对称。在这种情况下，在由第I摄像机构摄像的放射线图像、由第2摄像机构摄像的放射线图像中，会产生等量的透视倾斜。因此，在入射面侧和相反侧的面侧的图像间的运算中，不需要使图像反转来进行校正这样的运算，使运算更进一步地变得容易。
[0015]另外，可选地，由第I摄像机构聚光的闪烁光相对于入射面的法线方向的倾斜角度与由第2摄像机构聚光的闪烁光相对于相反侧的面的法线方向的倾斜角度彼此不同，还具备对由第I摄像机构摄像的图像和由第2摄像机构摄像的图像中的至少一者进行校正的校正机构。在这种情况下，由第I摄像机构摄像的图像与由第2摄像机构摄像的图像会产生彼此不同的透视倾斜。这里，通过校正机构对至少一个图像的透视倾斜进行校正而使两图像的透视倾斜情况相一致，由此实现高精度的双能摄像。
[0016]另外，可选地，对象物是半导体器件，上述放射线图像取得装置适用于以该半导体器件作为检查对象的半导体故障检查装置。在这种情况下，透过了成为检查对象的半导体器件的放射线不被摄像部(图像取得用的摄像元件)截断，因而，能够精度高地检测半导体器件的故障等。
[0017]实用新型的效果
[0018]根据本实用新型的一个方式，能够取得不同能量带的放射线图像，且能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是本实用新型的第I实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。
[0020]图2 (a)~(C)是图1的放射线图像取得装置中的投影像的说明图。
[0021]图3 (a)~(d)是图1的放射线图像取得装置中的图像的透视倾斜的说明图。
[0022]图4是本实用新型的第2实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。
[0023]图5 (a)~(C)是图4的放射线图像取得装置中的投影像的透视倾斜的说明图。
[0024]图6是本实用新型的第3实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。
[0025]图7 (a)~(d)是作为本实用新型的变形例的放射线图像取得装置中的图像的透视倾斜的说明图。
[0026]符号说明:
[0027]I, 1A, IB…放射线图像取得装置，2…放射线源，3…表面观察用检测器(第I摄像机构)，3a…聚光透镜部,3b...摄像部,4…背面观察用光检测器(第2摄像机构),4a…聚光透镜部，4b...摄像部，6…波长变换板(波长变换构件)，6a…入射面，6b...背面(相反侧的面)，8…图像处理装置(校正手段)，A…对象物，B…入射线的法线，0..背面的法线。
【具体实施方式】
[0028]以下，一边参照附图一边说明本实用新型的实施方式。再有，附图的说明中对相同或相当部分赋予相同符号，省略重复的说明。另外，各图是为了说明用而作成的，以特别强调说明的对象部位的方式描述。因此，附图中的各构件的尺寸比率不必与实际的情况一致。
[0029]如图1所示，放射线图像取得装置I是用于取得半导体器件等的电子部件或食品等的对象物A的放射线图像的装置。放射线图像取得装置I具备:朝向对象物A出射白色X射线等的放射线的放射线源2、对应于从放射线源2出射并透过了对象物A的放射线的入射而产生闪烁光的波长变换板6、对从波长变换板6的放射线的入射面6a出射的闪烁光进行聚光并摄像的表面观察用光检测器3、以及对从入射面6a相反侧的面即背面6b出射的闪烁光进行聚光并摄像的背面观察用光检测器4。这些放射线源2、波长变换板6、表面观察用光检测器3、以及背面观察用光检测器4被未图示的筐体收纳，并被固定在筐体内。
[0030]波长变换板6是平板状的波长变换构件，例如是Gd202S:Tb、Gd2O2SiPr, Cs1:T1、CdWO4、CaWO4、Gd2SiO5: Ce、Lu0 4Gd16SiO5' Bi4Ge3O12' Lu2SiO5: Ce、Y2SiO5' YAl 3:Ce、Y2O2S: Tb、YTa04:Tm等的闪烁器。波长变换板6的厚度根据在数μ m~数mm的范围所检测的放射线的能量带而设定为适当的值。
[0031]表面观察用光检测器3 (以下，称为“表面检测器3”)是从波长变换板6的入射面6a侧对投影到波长变换板6的对象物A的投影像(放射线透过像)进行摄像的间接方式的摄像机构。表面检测器3是具有对从波长变换板6的入射面6a出射的闪烁光进行聚光的聚光透镜部3a、以及对被聚光透镜部3a聚光的闪烁光进行摄像的摄像部3b的透镜耦合型的检测器。聚光透镜部3a对表面检测器视野13的闪烁光进行聚光。作为摄像部3b，可以使用例如CMOS传感器、CCD传感器等。
[0032]背面观察用光检测器4 (以下，称为“背面检测器4”)是从波长变换板6的背面6b侧对投影到波长变换板6的对象物A的投影像(放射线透过像)进行摄像的间接变换方式的摄像机构。背面检测器4是具有对从波长变换板6的背面6b出射的闪烁光进行聚光的聚光透镜部4a、以及对被聚光透镜部4a聚光的闪烁光进行摄像的摄像部4b的透镜耦合型的检测器，具有与上述的表面检测器3同样的结构。聚光透镜部4a对背面检测器视野14的闪烁光进行聚光。作为摄像部4b，可以使用例如CMOS传感器、CCD传感器等。
[0033]此外，放射线图像取得装置I具备:控制表面检测器3和背面检测器4的摄像时序的时序控制部7、输入从表面检测器3和背面检测器4输出的图像信号并基于所输入的各图像信号来执行图像处理等的规定处理的图像处理装置8、以及输入从图像处理装置8输出的图像信号并显示放射线图像的显示装置9。时序控制部7和图像处理装置8由具有CPU(Central Processing Unit)、R0M (Read Only Memory)>RAM (Random Access Memory)和输入输出接口等的计算机所构成。作为显示装置9，可以使用公知的显示器。再有，时序控制部7和图像处理装置8可以构成为由单个计算机执行的程序，也可以构成为分别设置的单元。
[0034]接着，就上述的放射线源2、波长变换板6、表面检测器3、以及背面检测器4的位置关系进行说明。如图1所示，放射线源2以放射线的光轴X与波长变换板6的入射面6a的法线B相一致的方式配置。即，放射线源2与对象物A和入射面6a相对，并且配置在入射面6a的法线B上。这里，放射线的光轴X是指，连结放射线源2的放射线出射点与波长变换板6的入射面6a上的任意的点Y的直线。在本实施方式中，以任意的点Y成为入射面6a的中心点的方式设定，在这种情况下，会比较均匀地照射放射线。另外，法线B是指，从入射面6a上的任意的点α延伸的相对于入射面6a垂直的直线。在本实施方式中，以任意的点α成为入射面6a的中心点的方式设定，放射线的光轴X与法线B相一致。当然，任意的点Y和任意的点α不必要是入射面6a的中心点。
[0035]表面检测器3以可以对从波长变换板6的入射面6a出射的闪烁光进行摄像的方式且以内含的聚光透镜部3a的光轴F相对于入射面6a的法线B成规定角度Θ:的方式配置。即，表面检测器3与入射面6a相对，并且配置在与入射面6a的法线B偏离的位置上。该聚光透镜部3a将焦点对准于入射面6a，并将从入射面6a沿着相对于法线B成角度Θ:的方向(倾斜的方向)出射的闪烁光朝向摄像部3b聚光。作为这样的聚光透镜部3a,可以使用移位透镜(shift lens)或倾斜透镜(tilt lens)。
[0036]通过上述那样做，表面检测器3与放射线源2的光轴X偏离而配置。即，表面检测器3以与来自放射线源2的放射线的出射区域(放射线束12存在的区域)相离的方式配置。由此，防止来自放射线源2的放射线所引起的表面检测器3的被曝光，并防止在表面检测器3的内部生成放射线的直接变换信号而产生噪声。
[0037]背面检测器4以可以对从波长变换板6的背面6b出射的闪烁光进行摄像的方式且以内含的聚光透镜部4a的光轴G相对于背面6b的法线C成规定角度Θ 2的方式配置。即，背面检测器4与背面6b相对，并且配置在与背面6b的法线C偏离的位置。这里，法线C是指，从背面6b上的任意的点β延伸且相对于背面6b垂直的直线。特别地，在本实施方式中，任意的点β设定在背面6b的中心点，入射面6a上的任意的点α与背面6b上的任意的点β位于同一直线上，该直线与法线B和法线C相一致。聚光透镜部4a将焦点对准于背面6b，并将从背面6b沿着相对于法线C成角度Θ 2的方向(倾斜的方向)出射的闪烁光朝向摄像部4b聚光。
[0038]这里，在放射线图像取得装置1，角度Q1与角度θ2彼此相等。另外，放射线源2的光轴X、表面检测器3的光轴F、以及背面检测器4的光轴G位于同一平面上，表面检测器3的光轴F与背面检测器4的光轴G以法线B，C为基准而位于相同侧。另外，从波长变换板6的入射面6a到表面检测器3为止的光路长与从波长变换板6的背面6b到背面检测器4为止的光路长可以做成相等。另外，表面检测器3和背面检测器4可以配置成相对于波长变换板6而面对称。
[0039]接着，就具有上述的结构的放射线图像取得装置I的动作进行说明。首先，进行利用时序控制部7的控制，以便同时进行表面检测器3和背面检测器4所得到的摄像。通过时序控制部7的摄像时序控制，可以在不同的能量带将对象物A的放射线透过像图像化。详细而言，比较低的能量带的放射线透过像被表面检测器3图像化，另外，比较高能量带的放射线透过像被背面检测器4图像化。由此，实现双能摄像。再有，在放射线图像取得装置I中，可以将表面检测器3与背面检测器4的摄像时序以各自不同的方式进行控制。另外，也可以以表面检测器3与背面检测器4的各自的曝光时间或摄影次数不同的方式控制。
[0040]关于表面检测器3和背面检测器4的功能，换言之，在入射面6a侧变换的荧光(闪烁光)比较地被表面检测器3检测。在入射面6a侧变换的荧光的检测具有荧光的模糊(blur)少而且荧光的辉度高这样的特点。这是因为，在表面观察中，能够减小在波长变换板6的内部的扩散或自身吸收的影响。另一方面，通过背面检测器4比较地检测在波长变换板6的背面6b侧变换的荧光。即使在这种情况下，也能够减小波长变换板6的内部的扩散或自身吸收的影响。
[0041]接下来，通过表面检测器3和背面检测器4的各个，与表背两面的放射线图像相对应的图像信号被输出到图像处理装置8。当从表面检测器3和背面检测器4的各个输出的图像信号被输入到图像处理装置8时，通过图像处理装置8，基于所输入的图像信号来执行差分运算或加法运算这样的图像间运算等的规定处理，图像处理后的图像信号被输出到显示装置9。然后，当从图像处理装置8输出的图像处理后的图像信号被输入到显示装置9时，对应于所输入的图像处理后的图像信号的放射线图像被显示装置9显示。
[0042]图2 (a)是表示放射线图像取得装置I的放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的立体图，图2 (b)是表示放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的正面图，图2 (c)是表示投影到波长变换板6的对象物A的投影像D的平面图。在图2中，为了容易理解，表示了对象物A是立方体形状的情况。若如图2 (a)所示，放射线源2配置在入射面6a的法线B上，放射线的光轴X与入射面6a的法线B相一致，则如图2 (c)所示，在往入射面6a上的投影像D不会产生透视倾斜。
[0043]图3 (a)是表示放射线图像取得装置I中投影到入射面6a的投影像D的平面图，图3 (b)是表示表面检测器3、背面检测器4、以及波长变换板6的位置关系的立体图，图3(c)是表示由表面检测器3取得并输入到图像处理装置8的表面侧图像Pa的图，图3 (d)是表示由背面检测器4取得并输入到图像处理装置8的背面侧图像Pb的图。
[0044]这里，就投影像D的一部分成为特征部d (在图3的例子中，与对象物A的侧面相对应的被着色的部分)的情况进行说明。如图3 (b)所示，若表面检测器3的光轴G和背面检测器4的光轴F相对于法线B，C成相等的角度Q1, θ2，则如图3 (c)，(d)所示，在表面侦_像Pa，Pb会产生同样的透视倾斜。即，表面侧图像Pa所包含的表面侧波长变换板图像20a、表面侧对象物图像Ha、以及表面侧特征部图像ha，与背面侧图像Pb所包含的背面侧波长变换板图像20b、背面侧对象物图像Hb、以及背面侧特征部图像hb有大致相等的位置、大小和形状。另外，在表面侧图像Pa和背面侧图像Pb中，特征部d产生与其他部分相比要缩小的那样的透视倾斜，与对象物A相关，透视倾斜的产生的方向也相一致。再者，这些成为彼此被反转后的图像。
[0045]在这种情况下，在利用图像处理装置8的图像间运算中，不进行表面侧图像Pa和背面侧图像Pb的透视倾斜校正地使表背两面的图像Pa，Pb匹配。再有，在利用图像处理装置8的图像间运算中，对表面侧图像Pa和背面侧图像Pb的两者的透视倾斜进行校正，也能够得到无透视倾斜的表面侧图像和背面侧图像。在这种情况下，透视倾斜的校正量在表面侧图像Pa和背面侧图像Pb相等。
[0046]根据以上说明的本实施方式的放射线图像取得装置1，从波长变换板6的入射面6a与背面6b出射的闪烁光分别被表面检测器3和背面检测器4聚光并摄像，实现取得不同能量带的放射线图像的双能摄像。这里，表面检测器3配置在与波长变换板6相离的位置，对象物A与波长变换板6之间完全不存在检测器。因此，避免了摄像机构对透过了对象物A的放射线产生影响那样的情形。因此，减小了对透过了对象物A的放射线产生的影响，很好地检测低能量带的放射线。换言之，由于检测器的影像不会映入到放射线透过像，因此，抑制了噪声成分的产生，并且由于也不会产生检测器所引起的放射线的衰减，因此抑制了信号成分的减少。作为该结果，能够增大双能摄像中的低能量带与高能量带之差，发挥高精度的能量分辨率，能够谋求高对比化。这个益处在对象物A由硅或比硅更轻的原子形成的情况下，发挥得特别显著。即，即使在对象物A由轻原子形成的情况下，由于透过了对象物A的低能量带的放射线不被吸收或衰减地变换成闪烁光，该光被表面检测器3摄像，因此，能够精度高地取得低能量带的放射线图像。再者，通过一次摄像便能够同时取得低能量图像和高能量图像，从而谋求同时性的确保、被曝光量的减少、以及像素错位(位置不正(misregistration))的消除。另外，即使在I块波长变换板6也能够实现双能化。而且,被表面检测器3聚光的闪烁光沿着相对于入射面6a的法线B方向成角度Θ I的方向出射，被背面检测器4聚光的闪烁光沿着相对于背面6b的法线C方向成角度Θ 2的方向出射，因而在放射线图像Pa，Pb产生同样的透视倾斜，由此入射面6a侧和背面6b侧的图像间的运算变得容易。此外，与将表面检测器3或背面检测器4配置在法线B，C上的情况相比，能够谋求装置全体的紧凑化。
[0047]另外，即使在使用白色X射线作为放射线的情况下，通过白色X射线的一次摄像便能够同时取得低能量图像和高能量图像，从而谋求同时性的确保、被曝光量的减少、以及像素错位(位置不正)的消除。
[0048]另外，以焦点对准于波长变换板6的入射面6a和背面6b的各面的方式，被聚光透镜部3a和聚光透镜部4a聚光，由此能够取得能量区别性良好且明亮的放射线图像。
[0049]另外，表面检测器3与背面检测器4配置成相对于波长变换板6而面对称，因而在表面侧图像Pa与背面侧图像Pb产生等量的透视倾斜，而且与对象物A相关，透视倾斜的产生方向也相一致。因此，在表面侧图像Pa和背面侧图像Pb的图像间的运算中，不需要让图像反转来进行校正这样的运算，使运算更进一步变得容易。
[0050]图4是第2实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。图4所示的放射线图像取得装置IA与图1所示的第I实施方式的放射线图像取得装置I的不同点在于，放射线源2以放射线的光轴X相对于波长变换板6的入射面6a的法线B成规定的角度Θ的方式配置。更具体而言，放射线源2以放射线的光轴X与聚光透镜部3a，4a的光轴F，G位于同一平面上的方式且以法线B，C为基准彼此位于相反侧的方式配置。再有，这里，任意的点Y和任意的点α不必要是入射面6a的中心点，也不必要是同一点。另外，在图4中，省略了时序控制部7、图像处理装置8、以及显示装置9的图示。在图6中，同样地也省略了这些结构的图示。
[0051]在放射线图像取得装置IA中，表面检测器3也以来自于放射线源2的放射线的出射区域(放射线束12存在的区域)相离的方式配置。由此，防止来自放射线源2的放射线所引起的表面检测器3的被曝光，并防止在表面检测器3的内部生成放射线的直接变换信号而产生噪声。
[0052]图5 (a)是表示放射线图像取得装置IB的放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的立体图，图5 (b)是表示放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的正面图，图5 (c)是表示投影到波长变换板6的对象物A的投影像E的平面图。在图5中，为了容易理解，表示了对象物A是立方体形状的情况。若如图5 (a)所示，放射线源2配置在与入射面6a的法线B偏离的位置，放射线的光轴X相对于入射面6a的法线B成规定的角度Θ，则如图5 (c)所示，在向入射面6a上的投影像E会产生透视倾斜。该投影像E的透视倾斜由图像处理装置8根据需要进行校正。再有，在图5 (a)中，为了便于说明，以放射线源2的主体相对于光轴X平行的方式图示，但放射线源2被配置的方向可以根据装置的布局设计(layout)来适当地设定。
[0053]根据放射线图像取得装置1A，起到与放射线图像取得装置I同样的作用和效果。
[0054]图6是第3实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。图6所示的放射线图像取得装置IB与图4所示的第2实施方式的放射线图像取得装置IA的不同点在于，背面检测器4不配置成相对于波长变换板6而与表面检测器3面对称，而是光轴F与光轴G以法线B，C为基准彼此位于相反侧。即，背面检测器4按照聚光透镜部4a的光轴G与放射线源2的光轴X以法线B，C为基准而位于相同侧的方式配置。
[0055]在放射线图像取得装置IB中，在由表面检测器3取得的表面侧图像与由背面检测器4取得的背面侧图像产生各自不同的透视倾斜。因此，在利用图像处理装置8的图像间运算中，进行表面侧图像和背面侧图像的透视倾斜校正。
[0056]根据放射线图像取得装置1B，与放射线图像取得装置1，IA同样地，减小了对透过了对象物A的放射线产生的影响，很好地检测低能量带的放射线。
[0057]以上，就本实用新型的实施方式进行了说明，但本实用新型不限于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，说明了角度Q1与角度θ2相等的情况，但如图7 (b)所示，角度Q1与角度θ2也可以彼此不同。在这种情况下，如图7 (c)、(d)所示，表面侧图像Pa与背面侧图像Pb中透视倾斜的量不同，但图像处理装置8作为校正机构起作用，对表面侧图像Pa和背面侧图像Pb中的至少一方的透视倾斜进行校正而使两图像的透视倾斜量相一致，由此实现高精度的双能摄像。例如，如图7所示，由倾斜角度更大的表面检测器3所摄像的表面侧图像Pa与背面侧图像Pb相比透视倾斜量变得更大，但在这种情况下，能够对表面侧图像Pa进行校正而得到与背面侧图像Pa相一致的表面侧图像。再有，对表面侧图像Pa和背面侧图像Pb的两者的透视倾斜进行校正，也能够得到无透视倾斜的表面侧图像和背面侦_像。
[0058]另外，放射线源2、表面检测器3、以及背面检测器4不限于光轴X、光轴F、以及光轴G同一平面状地配置的情况，能够在法线B，C的轴线周围适当地进行3维配置。
[0059]另外，在上述实施方式中，使用透镜耦合型的检测器作为检测器，但也可以具备聚光透镜部和摄像部分别作为不同体。
[0060]另外，作为以对象物A为半导体器件且以该半导体器件为检查对象的半导体故障检查装置，适用上述实施方式的放射线图像取得装置的话是有效的。在这种情况下，由于透过成为检查对象的半导体器件的放射线不被摄像部(图像取得用的摄像元件)截断，因此能够精度高地检测半导体器件的故障等。
[0061]产业上的可利用性
[0062]根据本实用新型的一个方式，能够取得不同的能量带的放射线图像，且能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。
【权利要求】
1.一种放射线图像取得装置，其特征在于，
具备: 放射线源，出射放射线； 平板状的波长变换构件，对应于从所述放射线源出射并透过了对象物的所述放射线的入射而产生闪烁光； 第I摄像机构，对从所述波长变换构件的所述放射线的入射面沿着相对于所述入射面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像；以及 第2摄像机构，对从所述波长变换构件的所述入射面的相反侧的面沿着相对于所述相反侧的面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像。
2.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述第I摄像机构和所述第2摄像机构各自具有: 聚光透镜部，对从所述波长变换构件出射的所述闪烁光进行聚光；以及 摄像部，对被聚光的所述闪烁光进行摄像。
3.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述第I摄像机构的聚光透镜部使焦点对准于所述入射面，并对从所述入射面沿着相对于所述入射面的法线倾斜的方向出射的闪烁光朝向摄像部进行聚光。
4.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述第2摄像机构的聚光透镜部使焦点对准于所述相反侧的面，并对从所述相反侧的面沿着相对于所述相反侧的面的法线倾斜的方向出射的闪烁光朝向摄像部进行聚光。
5.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 由所述第I摄像机构聚光的闪烁光相对于所述入射面的法线方向的倾斜角度，与由所述第2摄像机构聚光的闪烁光相对于所述相反侧的面的法线方向的倾斜角度，彼此相坐寸ο
6.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述第I摄像机构和所述第2摄像机构配置成，相对于所述波长变换构件而面对称。
7.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述第I摄像机构的聚光透镜部的光轴和所述第2摄像机构的聚光透镜部的光轴，以所述入射面的法线和所述相反侧的面的法线为基准，彼此位于相反侧。
8.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 由所述第I摄像机构聚光的闪烁光相对于所述入射面的法线方向的倾斜角度与由所述第2摄像机构聚光的闪烁光相对于所述相反侧的面的法线方向的倾斜角度彼此不同，还具备对由所述第I摄像机构摄像的图像和由所述第2摄像机构摄像的图像中的至少一者进行校正的校正机构。
9.如权利要求1~8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述放射线源配置在所述入射面的法线上。
10.如权利要求1~8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述放射线源以放射线的光轴相对于所述入射面的法线成规定角度的方式配置。
11.如权利要求1~8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 从所述入射面到所述第I摄像机构为止的光路长与从所述相反侧的面到所述第2摄像机构为止的光路长相等。
12.如权利要求1~8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述第I摄像机构和所述第2摄像机构以同时进行摄像的方式构成。
13.如权利要求1~8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述对象物为半导体器件， 适用于以该半导体器 件作为检查对象的半导体故障检查装置。
14.如权利要求1~8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 所述对象物是电子部件。
【文档编号】G01N23/04GK203396722SQ201190001002
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2011年10月21日 优先权日:2011年1月25日
【发明者】杉山元胤, 须山敏康 申请人:浜松光子学株式会社