专利名称：一种太阳能硅片表面线痕测试仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种表面线痕测试仪，具体涉及ー种太阳能硅片表面线痕测试仪。
背景技术：
目前，硅棒的切割是太阳能光伏行业必不可少的一道エ序，硅片质量的好坏直接关系到后续エ序的制造和加工。线痕是影响硅片表面质量的一个比较重要因索。线痕的存在会影响电池片的生产エ艺，电池片生产过程中绒面制备需要利用腐蚀的各向异性，而线痕可能对腐蚀造成影响，从而影响绒面的制备，増加电池制备的困难，并且影响转换效率。从组件的角度讲.也影响外现，易造成破片或者功率衰减。故需要对太阳能硅片表面线痕进行测试。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种太阳能硅片表面线痕测试仪，其结构设计合理，可以方便地对太阳能硅片表面线痕进行测试。为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种太阳能硅片表面线痕测试仪，包括工作台，工作台上设有竖直的立柱，立柱轨道连接有可沿立柱竖直上下移动的驱动器，驱动器还轨道连接有可沿驱动器水平移动的水平杆，水平杆的端部固定有探针，探针端部设有距离传感器，工作台上还设置有用于放置硅片的陶瓷高精密平台，驱动器和距离传感器连接至可编程控制器。优选的，所述可编程控制器还连接有显示器。优选的，所述可编程控制器还连接有信息输入设备。优选的，所述可编程控制器还连接有报警装置。优选的，所述可编程控制器还连接有数据存储装置。驱动器和距离传感器连接至可编程控制器，距离传感器感测硅片表面的距离先设定好，可编程控制器可以根据距离传感器的感应状况来控制驱动器，驱动器可以带动距离传感器做水平和垂直方向的移动，从而对太阳能硅片表面线痕进行测试。本实用新型的优点和有益效果在于提供一种太阳能硅片表面线痕测试仪，其结构设计合理，可以方便地对太阳能硅片表面线痕进行测试。可以对制程或供应商的管理提供量化的产品线痕标准，准确、及时的实行线痕SPC控制；在双方对线痕存在异议时，可以作为第三方仲裁。
图I是本太阳能硅片表面线痕测试仪的示意图。
具体实施方式
[0012]
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。本实用新型具体实施的技术方案是一种太阳能硅片表面线痕测试仪，包括工作台3，工作台3上设有竖直的立柱5，立柱5轨道连接有可沿立柱5竖直上下移动的驱动器1，驱动器I还轨道连接有可沿驱动器I水平移动的水平杆2，水平杆2的端部固定有探针21，探针21端部设有距离传感器，工作台3上还设置有用于放置硅片6的陶瓷高精密平台7，驱动器I和距离传感器连接至可编程控制器4。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改 进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，包括工作台，工作台上设有竖直的立柱，立柱轨道连接有可沿立柱竖直上下移动的驱动器，驱动器还轨道连接有可沿驱动器水平移动的水平杆，水平杆的端部固定有探针，探针端部设有距离传感器，工作台上还设置有用于放置硅片的陶瓷高精密平台，驱动器和距离传感器连接至可编程控制器。
2.根据权利要求I所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有显示器。
3.根据权利要求I所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有信息输入设备。
4.根据权利要求I所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有报警装置。
5.根据权利要求I所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有数据存储装置。
专利摘要一种太阳能硅片表面线痕测试仪，包括工作台，工作台上设有竖直的立柱，立柱轨道连接有可沿立柱竖直上下移动的驱动器，驱动器还轨道连接有可沿驱动器水平移动的水平杆，水平杆的端部固定有探针，探针端部设有距离传感器，工作台上还设置有用于放置硅片的陶瓷高精密平台，驱动器和距离传感器连接至可编程控制器。本太阳能硅片表面线痕测试仪，其结构设计合理，可以方便地对太阳能硅片表面线痕进行测试。可以对制程或供应商的管理提供量化的产品线痕标准，准确、及时的实行线痕SPC控制；在双方对线痕存在异议时，可以作为第三方仲裁。
文档编号G01D21/00GK202661098SQ20122017680
公开日2013年1月9日 申请日期2012年4月23日 优先权日2012年4月23日
发明者沈彪, 李向清, 胡德良 申请人:江苏爱多光伏科技有限公司