宝石柱存放、测量、标识工装的制作方法
【专利摘要】宝石柱存放、测量、标识工装，主要解决现有技术不能将衬底与加热装置之间精确隔开，导致加热反应温度不易控制的技术问题。该工装采用双面分区方式，隔离不同的装载区域，能够满足多种规格宝石柱同时、独立的按照标识存放的新型结构。它包括一个双面箱体，双面箱体由上盖及下盖将主体扣合，上述主体依次设有宝石柱存放层、宝石柱测量量具存放层；上述宝石柱存放层上设有宝石柱标识。其结构紧凑合理，装置内包含多种规格的宝石柱测量量具，测量量具一端为宝石柱高度上公差，另一端为宝石柱高度下公差。通过规划不同的分区结构及分区形式，使宝石柱及宝石柱测量量具能准确、快速的进行取放，以满足使用要求。主要应用于半导体镀膜设备。
【专利说明】宝石柱存放、测量、标识工装
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种新型的宝石柱存放、测量、标识工装，通过层级分区方式，来实现多种规格宝石柱的存放及标识并可集成装载多种宝石柱测量量具，主要应用于半导体镀膜设备。
【背景技术】
[0002]半导体镀膜设备在进行沉积反应时，需要将衬底进行加热。为避免加热时衬底与加热装置之间产生摩擦影响腔室内部的颗粒度，需要支撑装置将衬底与加热装置隔开。这样一来，不易于控制加热的传导及衬底反应温度条件。
【发明内容】
[0003]本实用新型以解决上述问题为目的，主要解决现有技术不能将衬底与加热装置之间精确隔开，导致加热反应温度不易控制的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案:宝石柱存放、测量、标识工装，该工装采用双面分区方式，隔离不同的装载区域，能够满足多种规格宝石柱同时、独立的按照标识存放的新型结构。该工装包括一个双面箱体，双面箱体由上盖(I)及下盖(5)将主体扣合。上述主体依次设有宝石柱存放层(2)、宝石柱测量量具存放层(4)。上述宝石柱存放层(2)上设有宝石柱标识(3)。
[0005]本实用新型的有益效果及特点:结构紧凑合理，由于采用双面分区方式，隔离不同的装载区域，能够满足多种规格宝石柱同时、独立的按照标识存放，一个装置集合储存、测量及标识功能。装置内包含多种规格的宝石柱测量量具，测量量具一端为宝石柱高度上公差，另一端为宝石柱高度下公差。通过规划不同的分区结构及分区形式，能满足多种规格宝石柱及宝石柱测量量具的存放，使宝石柱及宝石柱测量量具能准确、快速的进行取放，以满足使用要求。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1是本实用新型的结构示意图。
[0007]图中零件标号分别代表:
[0008]1、上盖；2、宝石柱存放层；3、宝石柱标识；
[0009]4、宝石柱测量量具存放层；5、下盖。
[0010]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
【具体实施方式】
[0011]实施例1
[0012]参照图1，宝石柱存放、测量、标识工装，该工装采用双面分区方式，隔离不同的装载区域，能够满足多种规格宝石柱同时、独立的按照标识存放的新型结构。该工装包括一个双面箱体，双面箱体由上盖I及下盖5将主体扣合。上述主体依次设有宝石柱存放层2、宝石柱测量量具存放层4。上述宝石柱存放层2上设有宝石柱标识3。
[0013]使用时，如需要取用不同规格的宝石柱，只需要打开上盖按照标识取用即可。如需要使用宝石柱量具测量，则打开上盖，即可取用相应规格的宝石柱测量量具。宝石柱测量量具的使用，量具一端为宝石柱高度上公差，另一端为宝石柱高度下公差，上公差端能通过，下公差段不能通过时，宝石柱即在使用公差范围内，可正常进行使用。
【权利要求】
1.一种宝石柱存放、测量、标识工装，其特征在于:该工装采用双面分区方式，隔离不同的装载区域，该工装包括一个双面箱体，双面箱体由上盖及下盖将主体扣合，上述主体依次设有宝石柱存放层、宝石柱测量量具存放层；上述宝石柱存放层上设有宝石柱标识。
【文档编号】G01B5/02GK203976911SQ201420379260
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2014年7月10日 优先权日:2014年7月10日
【发明者】吴凤丽, 王燚 申请人:沈阳拓荆科技有限公司