1.痕量六氟化硫气体检测装置由光声腔、激光器与其驱动控制电路、声压传感器与其驱动电路、透镜组、温度控制部分、电磁阀和空气泵、信号处理部分构成。
2.根据权利要求1所述的痕量六氟化硫气体检测装置，其特征是所述的光声腔主要用于产生光声信号，光声腔的材料选用热传导系数较大的不锈钢，能使光声腔内部通过光声效应产生的热量尽快散失掉，同时，腔壁厚度为5mm，能有效避开外界噪声的干扰。
3.根据权利要求1所述的痕量六氟化硫气体检测装置，其特征是所述的传声器选择的是杭州爱华仪器有限公司生产的AWA14400电容传声器是一种精密的声学测量用声－电换能器，采用金属振膜和特种材料，并进行特殊的稳定性处理，具有频率范围宽、频率特性好、动态范围宽、动态特性好、温度和长时间稳定性好等优点；其中预极化电容传声器，由于不需要另加极化电压，驱动电路简单，使用更加广泛。
4.根据权利要求1所述的痕量六氟化硫气体检测装置，其特征是所述的激光源选择南京晨锐达激光设备有限公司的射频CO2激光器，型号为CR12，峰值波长为10.57—10.64μm，采用风冷方式；供电电流为10A，电压为30V，输出功率是15.5W；采用4台12V轴流风扇进行冷却。
5.根据权利要求1所述的痕量六氟化硫气体检测装置，其特征是所述的系统的换气功能由电磁阀、气泵和软管完成。