技术总结
本发明一种痕量六氟化硫气体检测装置，由光声腔、激光器与其驱动控制电路、声压传感器与其驱动电路、透镜组、温度控制部分、电磁阀和空气泵、信号处理部分构成。所述的光声腔主要用于产生光声信号，光声腔的材料选用热传导系数较大的不锈钢，能使光声腔内部通过光声效应产生的热量尽快散失掉，同时，腔壁厚度为5mm，能有效避开外界噪声的干扰；本发明具有灵敏度较高，反应速度快。
技术研发人员：田荣侠
受保护的技术使用者：田荣侠
文档号码：201510871812
技术研发日：2015.12.02
技术公布日：2017.06.09