分析装置的制作方法

文档序号:13674375阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供分析装置,除去附着在过滤器部件(40)上的灰尘,并可靠地清扫过滤器部件(40)。分析装置(100)具备:收容试样的试样收容部(10);从在所述试样收容部(10)内被加热了的试样产生的气体通过的过滤器部件(40);以及把通过了过滤器部件(40)的气体向分析仪引导的气体流道(L1),过滤器部件(40)呈筒状,在其一端部形成有与气体流道(L1)连接的气体导出口(40a),气体从外侧向内侧通过过滤器部件(40)的侧壁部(401)后,从气体导出口(40a)流向气体流道(L1)。

技术研发人员:谷口平八朗;黑住拓司;山田雄大;平田泰士;
受保护的技术使用者:株式会社堀场制作所;
文档号码:201510971175
技术研发日:2015.12.22
技术公布日:2016.07.06

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