技术特征：
1.一种基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，其特征在于，包括以下具体特征：a、制作硬微针，利用半导体微加工技术，将半导体材料加工成长度及直径极其微小的硬微针，在其表面镀金并用金属导体导出；b、制作微流体腔，利用微加工技术，将半导体材料加工成内径极其微小的微流体腔，微流体腔的内径小于200um；c、放入待测水体，将半导体的硬微针1装入微流体腔2内，将待测水体流入微流体腔2，使待测水体与硬微针1充分接触；d、通电，通过外部电源经由测量导出集成电路3向微流体腔2内的硬微针1供电后，相邻的硬微针1会吸引离子流动，从而在微流体腔2内形成微电流；e、测量电流，在外部的测量导出集成电路3上制作电流计4，测量得到微流体腔2内为电流的大小；f、测量离子浓度，根据电流的物理定义，得出通过单位面积的电量的大小，电流的大小与离子浓度成正比，从而达到待测水体内离子浓度的目的。2.根据权利要求1所述的基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，其特征在于，所述的半导体材料采用单晶硅或硅化物。3.根据权利要求1所述的基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，其特征在于，所述的硬微针呈阵列状排列的结构。4.根据权利要求3所述的基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，其特征在于，所述的单个硬微针长度在50至200um之间，单个硬微针的针尖直径小于10um，单个硬微针的针柱直径小于20um。5.根据权利要求1所述的基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，其特征在于，所述的微流体腔的数量为单个或多个。6.根据权利要求5所述的基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，其特征在于，当微流体腔的数量为多个时，多个微流体腔制作成阵列状，即蜂窝状微流体腔阵列。