一种电子辐照剂量的测量方法与流程

技术特征：

1.一种电子辐照剂量的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

将多片载玻片重叠放置，以形成样品；

测量所述样品的本底吸光度值A₀；

将所述样品置于四周密封的容器内；

对所述样品进行辐照；

测量辐照后的所述样品的吸光度值A；

根据所述本底吸光度值A₀和所述吸光度值A通过预设公式计算所述样品的辐照剂量值

2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述测量所述样品的本底吸光度值A₀的具体步骤包括：

将所述样品放置于紫外线可见分光光度计；

在单色光条件下测量所述样品的本底吸光度值A₀。

3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述测量辐照后的所述样品的吸光度值A的具体步骤包括：

将辐照后的所述样品放置于紫外线可见分光光度计；

测量辐照后的所述样品的吸光度值A。

4.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述根据所述本底吸光度值A₀和所述吸光度值A通过预设公式计算所述样品的辐照剂量值的步骤具体包括：

根据预设公式计算样品的辐照剂量值，其中K为比例系数；或

根据预设公式计算样品的辐照剂量值，其中K₁和K₂分别为第一系数和第二系数。

5.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述根据所述本底吸光度值A₀和所述吸光度值A通过预设公式计算所述样品的辐照剂量值的步骤之后包括：

判断所述样品的辐照剂量值与芯片的实际辐照剂量值之间的差值是否满足小于等于所述实际辐照剂量值的5％的范围，若是，则所述芯片符合要求。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的测量方法，其特征在于，所述将多片载玻片重叠放置，以形成样品的步骤具体包括：

将数量为25～35片尺寸相同的载玻片轴线呈竖直连线重叠放置，以形成样品。

7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，所述载玻片的长度范围在75mm～77mm之间，宽度在24mm～26mm之间，厚度在0.8mm～1.2mm之间。

8.根据权利要求1至5任意一项所述的测量方法，其特征在于，所述对所述样品进行辐照的步骤具体为：

对所述样品辐照的辐照剂量在160Gy～640Gy范围之内。

9.根据权利要求1至5任意一项所述的测量方法，其特征在于，所述将所述样品置于四周密封的容器内的步骤具体为：

将所述样品置于四周密封的铅盒内。

10.根据权利要求9所述的测量方法，其特征在于，所述铅盒的壁厚大于等于5mm。