一种显微可视化抽运探测热反射系统的制作方法

文档序号:12267548阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,

脉冲激光器发出的线偏振激光经过第一1/2波片后由第一偏振分光棱镜分为两束,分别为激光束一和激光束二;

激光束一通过第一偏振分光棱镜沿原线偏振激光传输方向继续传输,依次经过激光倍频模块、短波通滤光片、激光调制器、短波反射镜后到达电控冷光镜;

激光束二依次经过长波反射镜、直角反射镜、第二1/2波片、第二偏振分光棱镜、1/4波片后到达电控冷光镜;

激光束一与激光束二汇合后经过物镜到达样品固定架,激光束二经过样品固定架上的样品反射后依次通过物镜、电控冷光镜、1/4波片、第二偏振分光棱镜、凸透镜后由分束镜分为两束,分别为激光束三和激光束四;

激光束三到达光电探测器,光电探测器与锁相放大器连接;激光束四到达数字摄像机,数字摄像机与计算机连接。

2.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,所述电控冷光镜,用于反射激光束一,透射激光束二,使激光束一与激光束二混合并调节混合光束通过物镜后聚焦光斑的相对位置。

3.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,信号发生器连接激光调制器,激光调制器将信号发生器的输出信号加载至激光束一。

4.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,所述计算机通过计算机视觉算法识别出数字摄像机拍摄图像中的抽运与探测光斑,控制电控冷光镜发生角度偏转,改变抽运光斑的位置,使抽运与探测光斑精确重合。

5.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,所述激光调制器为电光调制器、声光调制器或斩波器光强调制设备。

6.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,所述直角反射镜的反射平行度优于5arc sec。

7.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,所述电控冷光镜的角度调节精度优于1微弧度。

8.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,所述分束镜的分光比例为50∶50。

9.根据权利要求1所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,数字摄像机的感光元件位于凸透镜的焦平面位置,物镜与凸透镜构成光学共轭关系,物镜、凸透镜、数字摄像机及计算机共同构成显微可视化子系统。

10.根据权利要求4所述的显微可视化抽运探测热反射系统,其特征在于,通过锁相放大器采集的数据计算样品热导率。

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