1.一种碳化硅品质检验装置,包括电源、存储器、MCU处理器和计算机控制装置,其特征在于:所述电源和存储器均与MCU处理器电性连接,所述计算机控制装置通过数据采集与处理装置和MCU处理器信号连接,所述MCU处理器电性连接有电子显微镜、LED显示屏和控制按钮,所述MCU处理器还电性连接有CCD扫描装置。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅品质检验装置,其特征在于:所述MCU处理器还电性连接有CMOSC摄像装置,且CMOS摄像装置内设有CMOSC传感器。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅品质检验装置,其特征在于:所述MCU处理器通过A/D转换器连接有前置放大器,所述前置放大器通过光电滤波器连接有光电耦合器。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅品质检验装置,其特征在于:所述MCU处理器还电性连接有超声波检测仪,所述超声波检测仪信号连接有超声激励电源。